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专利名称

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申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于带电粒子显微镜的方法及系统-CN202010097548.8有效
发明人： D·马斯纳盖蒂;G·托特;D·特雷斯;R·博特罗;G·H·陈;R·克尼彭迈耶 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-03-24 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本申请实施例是关于用于带电粒子显微镜的方法及系统。本申请的一实施例揭示一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。所述系统包含经配置以产生电子束的电子束源及将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上的一组电光元件。所述系统包含发射率分析器组合件。所述系统包含经配置以将由所述样本的表面发射的至少一部分次级电子及/或反向散射电子引导到所述发射率分析器组合件的分光器元件。所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子及/或所述反向散射电子中的至少一者进行成像。
用于带电粒子显微镜方法系统

[发明专利]使用多射束工具的反向散射电子(BSE)成像-CN201680051709.1有效
发明人： M·麦科德;R·西蒙斯;D·马斯纳盖蒂;R·克尼彭迈耶 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-09-21 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明揭示多射束扫描电子显微镜检验系统。多射束扫描电子显微镜检验系统可包含电子源及小射束控制机构。所述小射束控制机构可经配置以利用由所述电子源提供的电子而产生多个小射束且在某个时刻朝向目标递送所述多个小射束中的一者。所述多射束扫描电子显微镜检验系统还可包含检测器，其经配置以至少部分基于反向散射出所述目标的电子而产生所述目标的图像。
使用多射束工具反向散射电子 bse 成像

[发明专利]多射束暗场成像-CN201680051258.1有效
发明人： D·马斯纳盖蒂;M·麦科德;R·西蒙斯;R·克尼彭迈耶 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-09-19 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： G02B21/22 文献下载
摘要：本发明揭示具有暗场成像能力的多射束扫描电子显微镜SEM检验系统。SEM检验系统可包含电子源及至少一个光学装置。所述至少一个光学装置可经配置以利用由所述电子源提供的电子而产生多个初级子射束且朝向目标递送所述多个初级子射束。设备还可包含检测器阵列，所述检测器阵列经配置以接收由所述目标响应于所述多个初级子射束而发射的多个图像子射束且产生所述目标的至少一个暗场图像。
多射束暗场成像

[发明专利]多束扫描电子显微镜系统中噪声减少的方法及系统-CN201680052161.2有效
发明人： M·A·麦科德;R·克尼彭迈耶;D·马斯纳盖蒂;R·R·西蒙斯 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-09-19 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： G02B21/22 文献下载
摘要：本发明揭示一种扫描电子显微镜系统。所述系统包含多束扫描电子显微镜SEM子系统。所述SEM子系统包含：多束电子束源，其经配置以产生多个电子束；样本载台，其经配置以固定样本；电子光学组合件；及检测器组合件，其经配置以检测从所述样本的表面发出的多个电子信号束以形成多个图像，每一图像与所述多个电子束中的电子束相关联。所述系统包含控制器，其经配置以：从所述检测器组合件接收所述图像；比较所述图像中的两个或更多个图像以识别在所述两个或更多个图像中存在的共同噪声分量；及从所述多个图像中的一或多个图像移除所述经识别的共同噪声分量。
扫描电子显微镜系统噪声减少方法

[发明专利]用于多波束扫描式电子显微系统的聚焦调整的方法及系统-CN201680052662.0有效
发明人： M·A·麦科德;R·克尼彭迈耶;D·马斯纳盖蒂;R·R·西蒙斯;S·A·永 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-09-23 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： G02B21/20 文献下载
摘要：本发明揭示一种扫描式电子显微系统。所述系统包含多波束扫描式电子显微SEM子系统。所述SEM子系统包含：多波束电子源，其经配置以形成多个电子束；样品载物台，其经配置以固定样品；电子光学组合件，其将所述电子束引导到所述样品的部分上；及检测器组合件，其经配置以同时获取所述样品的表面的多个图像。所述系统包含控制器，所述控制器经配置以：从所述检测器组合件接收所述图像；通过分析图像的一或多个图像质量参数而识别所述图像的最好聚焦图像；及基于对应于所述经识别的最好聚焦图像的电子束的聚焦来引导所述多透镜阵列以调整一或多个电子束的聚焦。
用于波束扫描电子显微系统聚焦调整方法

[发明专利]用于具有改进的图像束稳定性及询问的带电粒子显微镜的方法及系统-CN201680013667.2有效
发明人： D·马斯纳盖蒂;G·托特;D·特雷斯;R·博特罗;G·H·陈;R·克尼彭迈耶 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-03-24 - 公布日： 2020-03-13 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本发明揭示一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。所述系统包含经配置以产生电子束的电子束源及将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上的一组电光元件。所述系统包含发射率分析器组合件。所述系统包含经配置以将由所述样本的表面发射的至少一部分次级电子及/或反向散射电子引导到所述发射率分析器组合件的分光器元件。所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子及/或所述反向散射电子中的至少一者进行成像。
用于具有改进图像稳定性询问带电粒子显微镜方法系统

[发明专利]检验位点准备-CN201580038621.1有效
发明人： R·西蒙斯;D·马斯纳盖蒂;M·麦科德;F·施坦克;S·杨;C·西尔斯 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2015-10-09 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：本发明的实施例涉及一种电子束成像/检验设备，其具有电子源装置以紧接在图像获取或检验之前将泛射电子引导于样本上。所述设备包括经配置以在第一模式中对样本进行充电的第一装置，其中所述第一装置包含电子源，所述电子源经配置以将带电粒子的泛射束提供到所述样本的第一区域。所述设备还包括第二装置，所述第二装置经配置以在第二模式中产生初级电子束且表征所述初级束与所述第一区域内所述样本的第二区域之间的相互作用。所述设备经配置成以少于1秒从所述第一模式切换到所述第二模式。
检验准备

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