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专利名称

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申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于带电粒子显微镜的方法及系统-CN202010097548.8有效
发明人： D·马斯纳盖蒂;G·托特;D·特雷斯;R·博特罗;G·H·陈;R·克尼彭迈耶 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-03-24 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本申请实施例是关于用于带电粒子显微镜的方法及系统。本申请的一实施例揭示一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。所述系统包含经配置以产生电子束的电子束源及将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上的一组电光元件。所述系统包含发射率分析器组合件。所述系统包含经配置以将由所述样本的表面发射的至少一部分次级电子及/或反向散射电子引导到所述发射率分析器组合件的分光器元件。所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子及/或所述反向散射电子中的至少一者进行成像。
用于带电粒子显微镜方法系统

[发明专利]用于晶片边缘检验及复检的方法及系统-CN202010668841.5有效
发明人：姜辛容;C·西尔斯;H·辛哈;D·特雷斯;叶伟;D·卡兹 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-08-10 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： H01J37/153 文献下载
摘要：本申请实施例是关于用于晶片边缘检验及复检的方法及系统。一种用于检验或复检样本的边缘部分的电子光学系统包含：电子束源，其经配置以产生一或多个电子束；样本载台，其经配置以固定所述样本；及电子光学柱，其包含经配置以将所述一或多个电子束的至少一部分引导到所述样本的边缘部分上的一组电子光学元件。所述系统还包含：样本位置参考装置，其围绕所述样本而安置；及保护环装置，其安置于所述样本的所述边缘与所述样本位置参考装置之间以补偿一或多个边际场。所述保护环装置的一或多个特性是可调整的。所述系统还包含检测器组合件，所述检测器组合件经配置以检测从所述样本的表面发出的电子。
用于晶片边缘检验复检方法系统

[发明专利]用于晶片边缘检验及复检的方法及系统-CN201680045818.2有效
发明人：姜辛容;C·西尔斯;H·辛哈;D·特雷斯;叶伟;D·卡兹 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-08-10 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： H01J37/153 文献下载
摘要：一种用于检验或复检样本的边缘部分的电子光学系统包含：电子束源，其经配置以产生一或多个电子束；样本载台，其经配置以固定所述样本；及电子光学柱，其包含经配置以将所述一或多个电子束的至少一部分引导到所述样本的边缘部分上的一组电子光学元件。所述系统还包含：样本位置参考装置，其围绕所述样本而安置；及保护环装置，其安置于所述样本的所述边缘与所述样本位置参考装置之间以补偿一或多个边际场。所述保护环装置的一或多个特性是可调整的。所述系统还包含检测器组合件，所述检测器组合件经配置以检测从所述样本的表面发出的电子。
用于晶片边缘检验复检方法系统

[发明专利]用于具有改进的图像束稳定性及询问的带电粒子显微镜的方法及系统-CN201680013667.2有效
发明人： D·马斯纳盖蒂;G·托特;D·特雷斯;R·博特罗;G·H·陈;R·克尼彭迈耶 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-03-24 - 公布日： 2020-03-13 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本发明揭示一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。所述系统包含经配置以产生电子束的电子束源及将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上的一组电光元件。所述系统包含发射率分析器组合件。所述系统包含经配置以将由所述样本的表面发射的至少一部分次级电子及/或反向散射电子引导到所述发射率分析器组合件的分光器元件。所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子及/或所述反向散射电子中的至少一者进行成像。
用于具有改进图像稳定性询问带电粒子显微镜方法系统

[实用新型]增强复合材料制成的半成品及模压成型件-CN201320853718.6有效
发明人： E·于默尔;D·布瓦松;D·特雷斯 -专利权人：全耐塑料公司
申请日： 2013-12-23 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： B32B27/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及增强复合材料制成的半成品及模压成型件。所述半成品包括由以热固性树脂为基体的增强复合材料构成的主体，其特征在于，在所述主体的至少一个外表面上覆盖有与传送设备及成型设备都不粘的单独的干纤维层。根据本实用新型，由于在增强复合材料构成的主体外表面上覆盖有单独的干纤维层，增强复合材料的热固性树脂基体就不会与传送设备和成型设备直接接触，因此避免了粘连设备和污染基体。并且，在后续的成型过程中，由于增强复合材料受热软化，树脂基体将浸渍所述干纤维层，由此将其融合到主体中，与主体形成一个整体，而不需要再将其除去。
增强复合材料制成半成品模压成型

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