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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]支撑光学元件-CN202080034662.4在审
  • C.科尔纳;C.米勒;E.安塞尔姆 - 卡尔蔡司SMT有限责任公司
  • 2020-05-08 - 2021-12-17 - G03F7/20
  • 本发明关于一种特别用于使用极紫外线(EUV)范围中的光的微光刻成像装置的布置，其包含固持装置(110)，用于固持固持光学元件(109)，其中该光学元件(109)包含光学表面(109.1)并限定主延伸平面，其中该光学元件(109)限定径向方向和圆周方向。固持装置(110)包含基座单元(110.1)和三个以上分开的固持单元(110.2)，其中该基座单元(110.1)包含多个支撑界面单元(110.3)，其在该圆周方向上彼此间隔开，用于将固持装置(110)连接到支撑结构(102.1)。固持单元(110.2)连接到基座单元(110.1)，并以沿着圆周方向分布且彼此间隔开的方式配置。固持单元(110.2)构成相对于基座单元(110.1)固持光学元件(109)。基座单元包含至少一个支撑薄膜元件(110.4)，其中该至少一个支撑薄膜元件(110.4)主要沿着圆周方向且沿着径向方向延伸，其中该至少一个支撑薄膜元件(110.4)具有横向于该圆周方向和径向方向的厚度尺寸。固持单元(110.2)配置在面向光学元件(109)的至少一个支撑薄膜元件(110.4)的前侧上。
  • 支撑光学元件
  •  1 
  • 共 1 条
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