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[发明专利]多维位置传感器-CN200880104668.3有效
发明人： M·霍泽克;C·霍夫梅斯特;A·克鲁皮谢夫;J·F·策特勒;S·瑟索夫;K·A·马查克 -专利权人：布鲁克斯自动化公司
申请日： 2008-06-27 - 公布日： 2011-04-06 - 主分类号： G01B7/14 文献下载
摘要：一种装置，所述装置包括控制器、与控制器相连并具有可运动部分或运送路径的工件运送工具以及包括至少一个附接到可运动部分的场生成压板和至少一个沿运送路径定位并与控制器相连的传感器组的多维位置测量设备，场生成压板被配置成用于位置测量和推动可运动部分，至少一个传感器组中的每一传感器被配置为提供仅一个沿单个轴的对应于所感测的由至少一个场生成压板生成的场的输出信号，控制器被配置成基于至少一个传感器组中的至少一个传感器的仅一个输出信号计算可运动部分的多维位置，多维位置包括平面位置和间隙测量。
多维位置传感器

[发明专利]电磁推进与导向系统的换向-CN200880104667.9有效
发明人： M·霍泽克;J·T·穆拉;C·霍夫梅斯特 -专利权人：布鲁克斯自动化公司
申请日： 2008-06-25 - 公布日： 2011-02-09 - 主分类号： H01R39/04 文献下载
摘要：一种电机换向方法，该方法包括计算调节电角度，并在常用换向方程组中利用调节电角度，以使该常用换向方程组能够在电机中产生一维和二维力。
电磁推进导向系统换向

[发明专利]具备集成到室壁上的电动机的基片加工装置-CN200880108254.8有效
发明人： A·库尔皮谢夫;C·霍夫梅斯特 -专利权人：布鲁克斯自动化公司
申请日： 2008-07-17 - 公布日： 2010-08-11 - 主分类号： B65G1/00 文献下载
摘要：一种基片运输装置，包括：具有内表面的外周壁，限定了能够保持隔离环境的基片运输室；至少一个大致环形的电动机，具有至少一个定子模块和至少一个转子，该定子模块位于外周壁中，位于外周壁的内表面和邻近的外表面之间，该转子大致不接触地悬挂在运输室内，使得被环形的电动机包围的外周壁的表面配置成将预定的设备附接到其上；以及至少一个基片运输臂，连接于至少一个转子，并具有至少一个配置成保持至少一个基片的末端执行器。
具备集成壁上电动机加工装置

[发明专利]降低复杂性的自轴承无刷直流电机-CN200880104666.4有效
发明人： M·霍泽克;J·T·穆拉;C·霍夫梅斯特 -专利权人：布鲁克斯自动化公司
申请日： 2008-06-25 - 公布日： 2010-07-28 - 主分类号： H02K13/04 文献下载
摘要：一种电机换向方法包括工作中对接电机的受激励部件和定子；相对于受激励部件布置至少两个绕组组；及独立控制该至少两个绕组组，从而使用该至少两个绕组组来驱动和定心该受激励部件。
降低复杂性轴承直流电机

[发明专利]容量减少的载物台,传送,装载端口,缓冲系统-CN200780039010.4有效
发明人： M·L·巴法诺;U·吉尔克里斯特;W·富斯奈特;C·霍夫梅斯特;D·巴布斯;R·C·梅 -专利权人：布鲁克斯自动化公司
申请日： 2007-08-13 - 公布日： 2009-11-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：依照本发明的实施方案中的一种半导体工件加工系统具有至少一件用于加工半导体工件的加工工具，一种用于承载至少一件加工工具的容器，容器中的半导体工件可以在至少一种加工工具之间往返传送，以及一种延长的初级传送单元，该单元界定了运动方向。此初级传送单元具有与容器相接口的部件，初级传送单元支撑容器并沿着此运动方向在至少一件加工工具之间往返传送容器。当这个容器由此初级传送单元支撑的时候，这个容器沿着此运动方向以基本恒定的速度被基本连续得传送。一种与至少一件加工工具相连接的次级传送单元，该次级单元在至少一件加工工具之间往返传送容器。
容量减少载物台传送装载端口缓冲系统

[发明专利]减小容量的载运器,输送工具,装载端口和缓冲器系统-CN200680050581.3有效
发明人： M·L·布法诺;U·吉尔克里斯特;W·福斯奈特;C·霍夫梅斯特 -专利权人：布鲁克斯自动化公司
申请日： 2006-11-07 - 公布日： 2009-01-28 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种半导体工件处理系统，其具有用于处理工件的至少一个处理装置、主输送系统、辅输送系统以及主输送系统和辅输送系统之间的一个或多个界面。主输送系统和辅输送系统各自具有一个或多个大致恒速的段以及与恒速段连通的排队段。
减小容量载运输送工具装载端口缓冲器系统

[发明专利]具有自动化对准的衬底输送设备-CN200680032452.1有效
发明人： C·霍夫梅斯特;M·候塞克;S·比尔 -专利权人：布鲁克斯自动化公司
申请日： 2006-07-11 - 公布日： 2008-11-12 - 主分类号： G03B27/58 文献下载
摘要：一种衬底处理设备设有衬底输送设备。该输送设备用于该处理设备的自动化对准。在一个方面，输送设备上的直通波束传感器被用于调平处理设备的部件。在另一个方面，输送设备上的直通波束传感器被用于确定衬底台站在平面内的位置和角度方位。在另一个方面，输送设备通过重复地将衬底放置在对准器上、记录位置数据、构建价值函数并通过使用数值技术降低价值函数而确定对准器的位置，从而自我教导衬底对准器的精确位置。
具有自动化对准衬底输送设备

[发明专利]可伸缩运动控制系统-CN200680029377.3有效
发明人： M·候塞克;S·比尔;R·博杰夫;M·科迪;C·霍夫梅斯特;M·艾夫斯;J·穆拉;R·卡夫尼 -专利权人：布鲁克斯自动化公司
申请日： 2006-06-05 - 公布日： 2008-10-29 - 主分类号： G05B19/18 文献下载
摘要：一种控制系统包括：群集体系结构，其具有主控制器；中央控制部分，其包括处在该主控制器的直接控制下的一个或多个第一遥控器；以及分布式控制部分，其包括由该主控制器控制的群集控制器。该群集控制器控制一个或多个第二遥控器的活动。所述各第一和第二遥控器当中的每一个被利用来驱动一个或多个轴。
伸缩运动控制系统

[发明专利]衬底传送装置-CN200680032500.7有效
发明人： U·吉尔克里斯特;C·霍夫梅斯特 -专利权人：布鲁克斯自动化公司
申请日： 2006-07-07 - 公布日： 2008-09-03 - 主分类号： B25J9/06 文献下载
摘要：一种衬底传送装置，其具有框架、驱动部分和铰接式臂。驱动部分具有至少一个电动机模块，其可以从一些不同的可互换的电动机模块中选择，用于放置在驱动部分中。每一电动机模块都具有不同的预定特征。铰接式臂具有铰接关节。该臂连接到驱动部分上以用于铰接。臂具有可选的结构，其可从每个都具有预定构造特征的一些不同的臂结构中选择。对臂结构的选择通过对用于放置在驱动部分中的至少一个电动机模块的选择而实现。
衬底传送装置

[发明专利]自动化的材料处置系统-CN200480039070.2有效
发明人： R·P·萨利文;C·哈里斯;M·布法诺;G·弗里德曼;C·霍夫梅斯特 -专利权人：布鲁克斯自动化公司
申请日： 2004-08-10 - 公布日： 2008-05-07 - 主分类号： B65G49/07 文献下载
摘要：一种半导体工件处理系统，包括至少一个处理工具、容器(151)、第一传输分段(12)和第二传输分段(14)。第一传输分段具有可沿着第一轨道(16)移动而移动储盒的运载工具(200)。第二传输分段不是基于运载工具的分段，并且具有第二轨道(18)。第一轨道和第二轨道设置成彼此邻近，以允许在一次操作中，容器在它们之间一体地移动。
自动化材料处置系统

[发明专利]衬底处理装置-CN200580041738.1有效
发明人： C·霍夫梅斯特;R·T·卡维尼 -专利权人：布鲁克斯自动化公司
申请日： 2005-10-11 - 公布日： 2007-12-19 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：衬底处理装置具有腔室、大致线性的处理模块阵列、衬底输送装置和驱动系统。所述腔室能够与外部气氛隔离开。各个处理模块阵列可连通地连接在腔室上，以容许在腔室和处理模块之间传递衬底。衬底输送装置定位在腔室中，并可移动地受到腔室的支撑。输送装置能够沿着由腔室限定的线性路径移动，用于在处理模块之间输送衬底。驱动系统连接在所述腔室上，用于驱动输送装置，并使其沿着所述线性路径移动。腔室包括可选数量的腔室模块，其顺序地对接在一起，以便限定腔室。各模块具有驱动系统的组成部分。
衬底处理装置

[发明专利]基于升降机的工具装载和缓冲系统-CN200580036308.0无效
发明人： G·乌利塞斯;M·L·巴法诺;F·威廉;C·霍夫梅斯特;G·M·弗里德曼 -专利权人：布鲁克斯自动化公司
申请日： 2005-08-23 - 公布日： 2007-10-03 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：提供了基片处理装备。该装备具有壳体、下部口接口和运载器保持站。壳体在其内部具有用于处理基片的处理设备。装载口接口连接到壳体以将基片装载到处理设备内。运载器保持站连接到壳体。运载器保持站适用于在装载口接口处保持至少一个基片传送运载器。运载器保持站设置为提供用于从运载器保持站替换基片传送运载器的快速交换区段。
基于升降机工具装载缓冲系统

[发明专利]输送系统-CN200580036470.2无效
发明人： U·吉尔克里斯特;M·L·巴法诺;W·福斯奈特;C·霍夫梅斯特;G·M·弗里德曼 -专利权人：布鲁克斯自动化公司
申请日： 2005-08-24 - 公布日： 2007-10-03 - 主分类号： B60L13/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基底输送系统示例实施例。该系统有引导通路和至少一个输送车辆。输送车辆适合于保持至少一个基底，并能够由引导通路支承和沿该引导通路运动。引导通路包括用于车辆的至少一个运行车道以及至少一个进入车道，该至少一个进入车道偏离运行车道，以便允许车辆选择性地进入和离开运行车道。
输送系统

[发明专利]容量减小的运载器和使用方法-CN200580035790.6有效
发明人： G·乌利塞斯;M·L·布法诺;W·福斯奈特;C·霍夫梅斯特;G·M·弗里德曼 -专利权人：布鲁克斯自动化公司
申请日： 2005-08-19 - 公布日： 2007-09-26 - 主分类号： B65G49/07 文献下载
摘要：提供了基片传送设备(10)。该设备具有壳体(11)和门(13)。壳体适合在其中形成受控的环境。壳体在其中具有用于在壳体内保持至少一个基片的支撑件(12，14)。壳体限定了基片传递开口，基片传送系统通过基片传递开口存取壳体内的基片。用于关闭壳体内的基片传递开口的门连接到壳体。壳体具有形成允许在不缩回基片传送系统并且与壳体内的基片装载无关的情况下用另一个基片从设备替换基片的快速交换元件。
容量减小运载使用方法

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