“B.I.贝卡德”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果3个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]用于在涂层设备中制备过程气体的装置-CN201780013619.8有效
发明人： B.I.贝卡德;A.波奎;J.迈耶 -专利权人：艾克斯特朗欧洲公司
申请日： 2017-01-10 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在涂层设备中制备过程气体的装置，所述装置具有壳体(1)和布置在所述壳体(1)中的、包含用于液态或固态的起始材料的蒸发装置(3、3＇、3″)的源壳体(2)，具有通入所述源壳体(2)以产生穿过源壳体(2)的第一气流(5)的第一气体输入管道(4)，具有将第一气流(5)从所述源壳体(2)排出到输送管道(7)中的第一排气通道(6)，具有通入所述壳体(1)以产生在所述源壳体(2)外穿过壳体(1)的第二气流(9)的第二气体输入管道(8)，并且具有将第二气流(9)从所述壳体(1)排出到所述输送管道(7)中的第二排气通道(10)，第二排气通道(10)包围第一排气通道(6)，并且在第二排气通道(10)中布置有反向扩散屏障(11)。按照本发明，所述反向扩散屏障(11)构造为，能够实现所述排气通道(6)的两个尤其相对置的壁段彼此相对的位置改变。
用于涂层设备制备过程气体装置

[发明专利]借助振动体传感器确定蒸气浓度的设备和方法-CN201580015035.5有效
发明人： B.I.贝卡德;C.克里默;K-H.特林本;M.朗;A.艾克勒;N.艾哈迈德 -专利权人：艾克斯特朗欧洲公司
申请日： 2015-02-23 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种设备和方法，用于确定体积空间(2)内的蒸气的浓度或分压、尤其确定或调控由运载气输送经过体积空间(2)的蒸气的质量流量，其中，体积空间(2)借助加热器(8)能被加热到蒸气的冷凝温度之上，具有传感器(1)，提供取决于蒸气浓度或蒸气分压的传感器信号。为了在这种设备或方法、尤其用于沉积OLED层的方法中提供用于确定蒸气浓度的传感器，其传感器信号不受运载气影响或至少略受运载气影响，在此规定，传感器(1)具有置于振荡中的振动体，其振荡频率受到在振动体的表面上由冷凝的蒸气形成的物质累积的影响，其中，振动体具有温度控制装置，借此能够使振动体处在蒸气的冷凝温度之下的温度，其中，分析装置根据振荡频率的随时间的变化得出浓度或分压。
借助振动传感器确定蒸气浓度设备方法

[发明专利]用于为CVD或者PVD装置产生蒸气的设备和方法-CN201580035081.1有效
发明人： M.朗;B.I.贝卡德;C.克里默;K-H.特林本;A.艾克勒;A.波奎 -专利权人：艾克斯特朗欧洲公司
申请日： 2015-06-17 - 公布日： 2019-09-03 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在CVD或者PVD装置中产生蒸气的设备和方法，其中，在固体的或者液体的颗粒上通过与单级或者多级蒸发装置(1、2)的、升至蒸发温度的第一热传导面的接触传递蒸发热，并且载体气沿其流动方向将由颗粒的蒸发产生的蒸气从蒸发装置(1、2)输送出。根据本发明蒸气由载体气运输穿过沿流动方向布置在蒸发装置(1、2)之后的单级或者多级的具有第二热传导面的调制装置(3、4)，该第二热传导面在蒸汽供应阶段被温度控制为第一调制温度，在第一调制温度下蒸气穿过调制装置(3、4)而不冷凝在第二热传导面上，并且所述第二热传导面中断阶段中被温度控制到第二调制温度，在第二调制温度下蒸气的至少一部分冷凝在第二热传导面上。冷却通过冷却气进行。
用于 cvd 或者 pvd 装置产生蒸气设备方法