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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]升降销组件-CN202280020626.1在审
  • A·苏莱曼;A·侯赛因;T·J·富兰克林;C·黄;常雪杨 - 应用材料公司
  • 2022-03-08 - 2023-10-27 - H01L21/687
  • 提供了用于基板处理腔室的升降销组件的方法和设备。在一些实施例中，升降销组件包括：升降销，所述升降销包括轴、头部和耦接端，所述头部被配置成抵靠在静电吸盘上；上引导件，所述上引导件包括顶端、底端和第一开口，所述第一开口从顶端延伸到底端，其中所述轴被设置并且可轴向移动穿过第一开口；下引导件，所述下引导件包括顶端、底端、第二开口和第三开口，第二开口和第三开口从顶端延伸至底端，其中第三开口大于第二开口，并且其中轴被设置并且可轴向移动穿过第二开口和第三开口；以及偏置机构，所述偏置机构耦接到轴并且被配置成将升降销偏置朝向静电吸盘。
  • 升降组件
  • [发明专利]升降杆机构-CN202280008136.X在审
  • A·苏莱曼;C·黄;R·丁德萨;T·J·富兰克林;S·巴巴扬;A·侯赛因;J·H·罗杰斯;常雪杨 - 应用材料公司
  • 2022-03-08 - 2023-09-05 - H01L21/683
  • 本文提供了用于基板处理腔室的升降杆机构的方法和设备。在一些实施例中，升降杆机构包括升降杆，所述升降杆包括轴，所述轴具有顶端、底端和在底端处的耦接端；波纹管组件设置在轴周围。波纹管组件包括：上波纹管凸缘，所述上波纹管凸缘具有开口以用于轴的轴向移动；波纹管，所述波纹管具有第一端，所述第一端耦接到上波纹管凸缘的下表面，使得轴延伸到由波纹管围绕的中心空间中；以及波纹管引导组件，所述波纹管引导组件耦接到波纹管的第二端以密封中心空间。轴在耦接端处耦接到波纹管引导组件。波纹管引导组件可轴向移动以相对于上波纹管凸缘移动升降杆。
  • 升降机构
  • [发明专利]基板支撑件中的升降销接口-CN202180049385.9在审
  • A·苏莱曼 - 应用材料公司
  • 2021-07-20 - 2023-03-14 - H01L21/687
  • 本文提供了用于静电吸盘的用于升降销接口的方法和设备。在一些实施例中，在静电吸盘中的升降销接口包括：介电板，该介电板具有用于基板的支撑表面；导电板，该导电板设置于该介电板下方且具有穿过该导电板形成的开口，其中该介电板包括延伸进入该导电板中的该开口的突出部；及升降销引导件，该升降销引导件设置于该开口中，其中该升降销引导件包括从该升降销引导件的上表面延伸且与该介电板的该突出部重叠的一个或更多个特征。
  • 支撑中的升降接口
  •  1 
  • 共 4 条
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