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[发明专利]微机械传感器和用于制造微机械传感器的方法-CN201410418229.7有效
发明人： G-N-C·乌尔希里;A·奥尔托 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2014-08-22 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明提出一种微机械传感器，其包括具有主延伸平面的衬底和通过扭转单元与衬底连接的摆杆结构，扭转单元主要沿扭转轴线延伸，扭转轴线基本上平行于衬底的主延伸平面地设置，摆杆结构由静止位置绕扭转轴线可摆动到偏转位置中并且相对于扭转轴线具有非对称的质量分布，微机械传感器具有阻尼结构，阻尼结构配置用于阻尼摆杆结构沿与衬底的主延伸平面基本上平行的X方向的平移运动，和/或扭转单元具有第一扭转元件和与第一扭转元件连接的第二扭转元件，微机械传感器如此配置，使得摆杆结构绕扭转轴线的扭转模式的第一共振频率小于摆杆结构的振动模式的第二共振频率，振动模式包括摆杆结构沿与主延伸平面基本上平行的振动平面的振动运动。
微机传感器用于制造方法

[发明专利]用于微机械Z传感器的摆杆装置-CN201510224116.8在审
发明人： A·朔伊尔勒;G-N-C·乌尔希里;M·海茨;A·奥尔托 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-02-15 - 公布日： 2015-08-19 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：一种用于微机械Z传感器(200)的摆杆装置(100)，所述摆杆装置：具有两个能够围绕扭转轴线(10)支承的、皿状构造的摆杆臂(20，21)，其中，所述摆杆装置(100)相对于所述扭转轴线(10)非对称地构造；对于每个摆杆臂(20，21)具有一个止挡区域，所述止挡区域具有至少一个第一止挡元件(30)，其中，在每一个摆杆臂(20，21)上所述止挡区域相对于所述摆杆装置(100)的传感区域(SB)限定地增高地构造。
用于微机传感器装置