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[发明专利]基板处理装置以及盖环组件-CN202310269159.2在审
发明人： 高桥政志;千叶淳 -专利权人：拉碧斯半导体株式会社
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种盖环组件，能够抑制发尘源，减少颗粒在基板上的附着。暴露于内部空间的处理粒子来处理基板的基板处理装置用的盖环组件具有：环状平板，其具有与在基板的外侧面终止的外周下表面接触的内周上表面和位于内周上表面的周围的外周上表面；以及环状的盖环，其具有下部表面，该下部表面具有与环状平板的外周上表面接触的抵接面。在盖环，除了抵接面之外还设置有覆盖暴露于处理粒子的表面的热涂膜。
处理装置以及组件

[发明专利]流化床型造粒装置或流化床/射流床型造粒装置-CN202180018957.7在审
发明人：佐能启史;西川彦士;春田公仁;家合克典;高桥政志;若嶋勇一郎;间濑惠二;石桥正三;川部哲哉 -专利权人：东洋工程株式会社
申请日： 2021-02-08 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B01J2/04 文献下载
摘要：一种流化床型或流化床/射流床型造粒装置，其是用于将尿素的种粒、尿素水溶液、空气导入而生成平均粒径1 mm以上的尿素粒子的流化床型或流化床/射流床型造粒装置，造粒装置具有由底板、顶面部、侧面部构成的箱型的造粒室，造粒室的内壁面由金属板材形成，在侧面部的上方或顶面部具有排气口，在侧面部或顶面部具有尿素的种粒的导入口，在侧面部具有尿素粒子的回收口，尿素水溶液从底板或侧面部导入，空气从底板或从底板和侧面部导入，造粒室的内壁面的至少一部分被进行粗糙面加工，粗糙面加工面的凹凸的算术平均粗糙度(Ra)(JIS B 0601：1994)是0.35‑5.0μm，凹凸的局部峰顶的平均间隔(S)(JIS B 0601：1994)是2‑300μm。
流化床型造粒装置射流床型造粒

[发明专利]尿素的制造方法-CN201980025641.3在审
发明人：长岛英纪;高桥政志 -专利权人：东洋工程株式会社
申请日： 2019-04-03 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： C07C273/04 文献下载
摘要：本发明提供抑制尿素设备的腐蚀并提高反应收率的尿素的制造方法。尿素的制造方法，其是在尿素制造设备中由包含NH3和CO2的制造原料制造尿素的方法，其中，尿素制造设备具有包括反应器、汽提塔和冷凝器的处理装置和多根管线，多个处理装置和多根管线的内壁面由不锈钢构成，多根管线中的至少一部分由奥氏体系不锈钢构成，在尿素制造方法中，通过在作为制造原料的CO2中加入氧后进行供给，使在多个处理装置和多根管线的内壁面形成钝化膜，同时连续地测定由奥氏体系不锈钢构成的管线的壁厚，根据壁厚的测定值调整氧的供给量，从而控制腐蚀速率和尿素的反应收率。
尿素制造方法

[发明专利]尿素合成方法-CN201480030855.7有效
发明人： 高桥政志;长岛英纪 -专利权人：东洋工程株式会社
申请日： 2014-05-28 - 公布日： 2018-06-12 - 主分类号： C07C273/04 文献下载
摘要：本发明提供不使用特殊的二相系不锈钢而将作为耐腐蚀剂的氧气的使用量设为最低限并且可靠性和生产率优异的尿素合成方法。在具有合成塔、汽提塔以及冷凝器的尿素合成装置中，在与具有腐蚀性的流体接触的位置中至少一部分位置，将通用奥氏体‑铁素体双相不锈钢作为尿素合成装置材料，将相对于二氧化碳的供氧浓度设为100～2000ppm，所述通用奥氏体‑铁素体双相不锈钢为Cr含量：21～26wt％、Ni含量：4.5～7.5wt％、Mo含量：2.5～3.5wt％、N含量：0.08～0.30wt％、C含量：0.03wt％以下、Si含量：1.0wt％以下、Mn含量：2.0wt％以下、P含量：0.04wt％以下、S含量：0.03wt％。
尿素合成装置双相不锈钢尿素合成奥氏体铁素体流体接触耐腐蚀剂通用合成塔冷凝器汽提塔二氧化碳供氧不锈钢氧气