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[发明专利]腐蚀粉在整形铂金探针的应用和铂金探针的整形方法-CN202110234659.3有效
发明人：张秀超;赵怀菊;骈文胜;闻国涛;关姜维 -专利权人：上海伟测半导体科技股份有限公司
申请日： 2021-03-03 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C25F3/14 文献下载
摘要：本申请公开腐蚀粉在整形铂金探针的应用和铂金探针的整形方法，其中所述包括铂金探针的整形方法包括如下步骤：(S1)分别接通正极腐蚀毛刷和负极导通棒，以在所述正极和负极之间形成预定大小的电压以及在所述正极和负极之间的电路上形成预定大小的电流；(S2)将待腐蚀的铂金探针的一端电导通于所述负极导通棒；(S3)通过正极腐蚀毛刷均匀地涂布所述电解液于待腐蚀的铂金探针需要整形的端部。
腐蚀整形铂金探针应用方法

[发明专利]一种93K测试机与待测产品的匹配性检测系统及其检测方法-CN202110234625.4在审
发明人：傅郁晓;杨恭亁;骈文胜;路峰;关姜维 -专利权人：上海伟测半导体科技股份有限公司
申请日： 2021-03-03 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：一种93K测试机与待测产品的匹配性检测系统及其检测方法，其中所述检测方法包括：(S1)分别被设置能够采集93K测试机的配制信息和待测晶圆的测试项有关信息；(S2)自动地接收经由采集而获取的所述93K测试机的配制信息，并将所述配制信息转录于晶圆生产厂商记载晶圆测试项有关的模板所定义的一比对模板；(S3)比对所述待测晶圆的测试项有关信息和转录于所述比对模板中的信息；和(S4)输出所述比对结果。
一种 93 测试产品匹配检测系统及其方法

[发明专利]一种超薄晶圆的检测方法和类普通晶圆-CN202110234639.6在审
发明人：傅郁晓;骈文胜;闻国涛;吴庆;李志成 -专利权人：上海伟测半导体科技股份有限公司
申请日： 2021-03-03 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本申请公开一种超薄晶圆的检测方法和类普通晶圆，其中所述超薄晶圆的检测方法包括以下步骤(S1)提供一可导电的硬质载体，用以承载待检测的超薄晶圆(S2)可电导通地贴合所述超薄晶圆于所述可导电的硬质载体所形成的承载面，以使所述可导电的硬质载体和所述超薄晶圆形成晶圆检测设备可直接检测的类普通晶圆，其中所述类普通晶圆的尺寸与普通晶圆的尺寸相同(S3)通过晶圆检测设备检测转送至所述晶圆检测设备的所述类普通晶圆。
一种超薄检测方法普通

[发明专利]一种晶圆MAP图的转换系统和转换方法-CN202110234648.5在审
发明人：杨恭亁;骈文胜;路峰;关姜维;高大会 -专利权人：上海伟测半导体科技股份有限公司
申请日： 2021-03-03 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： G06F40/151 文献下载
摘要：本申请公开一种晶圆MAP图的转换系统和转换方法，其中所述晶圆MAP图的转换方法包括(S1)采集与待检测晶圆有关的格式文件中的数据，其中与待检测晶圆有关的格式文件中的数据被定义为待测晶圆数据，记载所述待测晶圆数据的文件格式被定位为待测数据格式；(S2)匹配所述待测数据格式的所述待测晶圆数据于一标准MAP格式，以确定与所述标准数据相对应的相对的所述待测晶圆数据在所述待测数据格式的相关参数，并确定是否需要转换，所述标准MAP格式所记载的数据为晶圆检测设备能够直接读取的标准数据；(S3)转录所述待测晶圆数据于所述标准MAP格式中所述标准数据；(S4)输出所述标准数据。
一种 map 转换系统方法

[发明专利]晶圆区域性问题的分析系统及方法-CN202110310750.9有效
发明人：杨恭乾;路峰;高大会;闻国涛;骈文胜 -专利权人：上海伟测半导体科技股份有限公司
申请日： 2021-03-24 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明揭示了一种晶圆区域性问题的分析系统及方法。本发明提供的晶圆区域性问题的分析系统包括失效抓取模块，抓取每个测试点的失效情况；失效模型模块，具有设定的失效模型；失效模型匹配模块，根据所抓取的每个测试点的失效情况，与所述失效模型进行匹配，当获得匹配时，输出对应的多个测试点的位置和失效代码；待处理模块，根据所述多个测试点的位置，获得在所述多个测试点周围区域测试通过的点的位置，列为有风险的测试点。本发明使得测试通过的点更稳定，避免功能性分析滞后，提高了良率。
区域性问题分析系统方法

[发明专利]一种Wafer ID烧写防呆的系统-CN202011523844.6有效
发明人： 骈文胜;傅郁晓 -专利权人：上海伟测半导体科技股份有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： G06F8/61 文献下载
摘要：本发明提供了一种Wafer ID烧写防呆的系统，该系统以现有的MES系统为基础，在该系统内部至少开发订单录入模块、测试访问模块和数据比对模块；其中，订单录入模块用于自动读取并录入客户下单时实物Wafer ID的原始数据信息；测试访问模块用于与测试机实现连通，获取测试机中实时录入的Wafer ID的测试数据：数据比对模块用于将订单录入模块录入的原始数据与测试机中获取的测试数据进行比对，并分析比对结果。本技术方案在测试开始前将输入错误的信息及时比对，并反馈出来改正，避免了录入错误的信息未被发现时，出现烧写入芯片内的Wafer ID错误情况，以及由此引起的晶圆测试数据异常和晶圆损失等质量事故的出现，对芯片测试效率的提升有着深远的意义。
一种 wafer id 烧写防呆系统

[发明专利]一种测试机匹配检测系统及其方法-CN202011533224.0有效
发明人：傅郁晓;吴庆;骈文胜;闻国涛;杨恭乾 -专利权人：上海伟测半导体科技股份有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：一种测试机匹配检测系统及其方法，其中所述测试机匹配检测方法包括：（S1）分别被设置能够采集测试机的配置信息和待测晶圆的测试项有关信息；（S2）自动地接收经由采集而获取的所述测试机的配置信息，并将所述配置信息转录于晶圆生产厂商记载晶圆测试项有关的模板所定义的一比对模板；（S3）比对所述待测晶圆的测试项有关信息和转录于所述比对模板中的信息；和（S4）输出所述比对结果；通过上述测试机匹配检测系统，操作人员能够及时地使用对应推荐的测试机检测待测晶圆。
一种测试匹配检测系统及其方法

[发明专利]扩展ATE数字通道数量的方法及装置-CN202011378905.4在审
发明人：袁常乐;关姜维;左上勇;骈文胜 -专利权人：上海伟测半导体科技股份有限公司
申请日： 2020-12-01 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明揭示了一种扩展ATE数字通道数量的方法及装置。包括：根据产品的测试需要选取需要扇出的信号引脚，由输入信号扇出模块实现测试机的数字通道平行的扇出；根据对测试机的数字通道平行的扇出设计外围硬件电路，由所述测试机控制特定工位是否需要加载驱动信号；根据所述外围硬件电路的设计进行测试程序的开发和调试；以及进行测试验证。本发明能够提升测试效率。
扩展 ate 数字通道数量方法装置

[发明专利]测试机移动和装载的装置及方法-CN202011264749.9在审
发明人：傅郁晓;李志成;吴庆;骈文胜 -专利权人：上海伟测半导体科技股份有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： G01R1/02 文献下载
摘要：本发明揭示了一种测试机移动和装载的装置。本发明提供的测试机移动和装载的装置包括底座，X方向调整装置，Y方向调整装置，Z方向调整装置和测试头夹持装置，X/Y/Z方向两两垂直；所述X方向调整装置和所述Y方向调整装置层叠设置在所述底座上；所述测试头夹持装置设置在所述X方向调整装置和Y方向调整装置上方；所述X方向调整装置调整所述测试头夹持装置在X方向的位置，所述Y方向调整装置调整所述测试头夹持装置在Y方向的位置；所述Z方向调整装置分布在所述底座周边并贯穿所述底座设置，以调整所述底座的高度和倾斜度。本发明的装置，结构稳固，灵活性高，便于移动和搬运，省去了配重箱及其关联部件，安全可靠。
测试移动装载装置方法

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