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[发明专利]一种电子级TFT光阻剥离液的制备工艺-CN202010862764.7有效
发明人：陈重佑;陈少骏;邱建铭;吴俊贤;骆彦成;吴全贵;林德荣;任建业 -专利权人：福建天甫电子材料有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明属于薄膜晶体管加工技术领域，提供了一种电子级TFT光阻剥离液的制备工艺。该电子级TFT光阻剥离液的制备工艺包括将剥离液的原料混合后过滤即得；原料包括：有机胺、二甲基亚砜、二乙二醇单丁醚、N‑甲基吡咯烷酮、二甲基乙酰胺、四甲基氢氧化铵以及羟胺。由该制备工艺制备得到的光阻剥离液质量稳定，对各种芯片具有良好的光刻胶剥离和溶解能力，能够完全去除光刻胶，无残留。
一种电子 tft 剥离制备工艺

[发明专利]一种电子级TFT显影液的制备工艺-CN202010879439.1有效
发明人：陈重佑;陈少骏;邱建铭;吴俊贤;骆彦成;吴全贵;任建业;林德荣;刘奕丰 -专利权人：福建天甫电子材料有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G03F7/32 文献下载
摘要：本发明属于薄膜晶体管加工技术领域，提供了一种电子级TFT显影液的制备工艺。该电子级TFT显影液的制备工艺，包括：(1)将第一超纯水溶解于溶解槽；(2)接着向溶解槽中加入碳酸钠晶体和碳酸氢钠晶体，搅拌后送至混配槽；(3)接着依次向混配槽中加入表面活性剂和第二超纯水，搅拌；(4)过滤即得显影液。由该制备工艺制备得到的显影液具有优异的综合性能，膜渣残留少、显像图形清晰度高、分散稳定性好。
一种电子 tft 显影液制备工艺

[发明专利]一种用于电子级二氧化硅蚀刻液的制备装置及制备工艺-CN202010862765.1有效
发明人：陈重佑;任建业;刘奕丰;邱建铭;陈少骏;郑义达;李文斌;骆彦成 -专利权人：福建天甫电子材料有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： B01F25/50 文献下载
摘要：一种用于电子级二氧化硅蚀刻液的制备装置及制备工艺，涉及光感化学技术领域。制备装置包括用于储备原料氢氟酸的第一储槽、用于储备原料氟化铵的第二储槽、用于储备原料表面活性剂的第三储槽、用于储备原料超纯水的第四储槽、混配槽、以及精密过滤器。第一储槽、第二储槽、第三储槽和第四储槽均同混配槽选择性地连通，混配槽的出口同精密过滤器的进口连通。其结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程并降低了操作难度，对于提高生产效率具有积极意义。制备工艺操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。
一种用于电子二氧化硅蚀刻制备装置工艺

[发明专利]电子级氢氟酸的制备方法-CN202010916637.0有效
发明人： 骆彦成;刘奕丰;任建业;胡侃中;吴全贵;艾合买提艾尔肯;陈国明;赖廷恩 -专利权人：福建天甫电子材料有限公司
申请日： 2020-09-03 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： C01B7/19 文献下载
摘要：本发明提供了一种电子级氢氟酸的制备方法，包括以下步骤：S1，将无水氢氟酸输送到缓冲槽中待用；S2，从所述缓冲槽中输送一定量的无水氢氟酸到投料槽中，再通过重力作用使所述无水氢氟酸流经缓冲塔进入到计量槽中准确计量；S3，将所述计量槽中的无水氢氟酸以预定速率流经初级过滤器后进入塔釜；S4，在塔釜中通入50～60℃的热水，采用低温蒸发，得到高纯度无水氢氟酸气体；S5，将所述高纯度无水氢氟酸气体通入纯化塔中，并通入氧化气体与所述高纯度无水氢氟酸气体反应得到超纯无水氢氟酸气体，从所述纯化塔顶部排出，其中所述氧化气体为氟气和氮气的混合物；S6，将所述超纯无水氢氟酸气体经冷凝器冷凝后，进入调配槽中调整浓度。
电子氢氟酸制备方法

[发明专利]一种用于电子级铜蚀刻液的制备装置及制备工艺-CN202010862761.3有效
发明人：陈重佑;吴全贵;赖延恩;陈国民;艾合买提艾尔肯;李文斌;郑义达;骆彦成;任建业;刘奕丰 -专利权人：福建天甫电子材料有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： B01F27/90 文献下载
摘要：一种用于电子级铜蚀刻液的制备装置及制备工艺，涉及感光化学技术领域。制备装置包括用于储备原料磷酸的第一储槽、用于储备原料双氧水的第二储槽、用于储备原料超纯水的第三储槽、用于储备原料表面活性剂的第四储槽、混配槽、以及精密过滤器。第一储槽、第二储槽、第三储槽和第四储槽均同混配槽选择性地连通，混配槽的出口同精密过滤器的进口连通。其结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程并降低了操作难度，对于提高生产效率具有积极意义。制备工艺，其依托于至本装置，操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。
一种用于电子蚀刻制备装置工艺

[发明专利]一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺-CN202010864572.X有效
发明人：陈重佑;吴全贵;赖延恩;陈国民;艾合买提艾尔肯;李文斌;郑义达;骆彦成;任建业;刘奕丰 -专利权人：福建天甫电子材料有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： C23F1/20 文献下载
摘要：一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺，涉及感光化学技术领域。制备装置包括用于储备原料硝酸的第一储槽、用于储备原料磷酸的第二储槽、用于储备原料冰醋酸的第三储槽、用于储备原料超纯水的第四储槽、混配槽、以及精密过滤器。第一储槽、第二储槽、第三储槽和第四储槽均同混配槽选择性地连通，混配槽的出口同精密过滤器的进口连通。其结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程并降低了操作难度，对于提高生产效率具有积极意义。制备工艺基于制备装置来实现，操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。
一种用于电子蚀刻制备装置工艺

[发明专利]一种电子级氨水的制备系统及工艺-CN202010862232.3有效
发明人：胡侃中;任建业;刘奕丰;邱建铭;李文斌;陈少骏;骆彦成 -专利权人：福建天甫电子材料有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： C01C1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子级氨水的制备系统，包括蒸发器、混合器、混合槽和成品槽，蒸发器连接有液氨储槽，混合器通过过滤管与蒸发器连接，且混合器与混合槽之间连接有循环管组，成品槽与混合槽连接。该系统组成简单，实现了化繁为简，能够实现电子级氨水生产过程的系统化，有助于企业在相对经济的条件下实现量化生产；本发明还公开了一种电子级氨水的制备工艺，该工艺在基于上述制备系统的基础上能够实现电子级氨水系统化的生产，成本相对经济且生产效率较高。
一种电子氨水制备系统工艺

[发明专利]一种电子级氟化氨的制备系统及工艺-CN202010862228.7有效
发明人：吴全贵;郑义达;李文斌;吴俊贤;陈国民;骆彦成;赖延恩 -专利权人：福建天甫电子材料有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子级氟化氨的制备系统即工艺，制备系统主要包括混合槽、蒸发器、混合器和成品槽，混合槽一侧连接有氢氟酸中间槽，蒸发器一侧连接有液氨储槽，混合器通过过滤管与蒸发器连接，且混合器与混合槽之间连接有循环管组，成品槽与混合器连接。本发明提供的制备系统结构组成简单，将复杂的工序有序且简洁地进行了实体化，实现了化繁为简，实现了电子级氟化铵生产过程的系统化，有助于企业在相对经济的条件下实现量化生产；且本发明提供的制备工艺在采用上述主要结构主体的基础支撑上进行操作，使整个过程有序化、明了化，并且能够批量制得电子级氟化铵成品，可以达到成本相对经济且生产效率较高的优势。
一种电子氟化制备系统工艺

[发明专利]一种用于电子级硝酸的制备装置及制备工艺-CN202010867406.5有效
发明人：胡侃中;任建业;刘奕丰;吴俊贤;骆彦成;邱建铭;郑义达 -专利权人：福建天甫电子材料有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： C01B21/46 文献下载
摘要：一种用于电子级硝酸的制备装置及制备工艺，涉及硝酸制备领域，包括：用于稀释原料硝酸的混合槽、用于纯化原料硝酸的再沸器、用于除去原料硝酸中杂质的曝气塔、用于储备成品硝酸的成品槽；以及精密过滤器；混合槽的出口同再沸器的进口连通，再沸器的出口同曝气塔的进口连通，曝气塔的出口通成品槽的进口连通，成品槽的出口同精密过滤器的进口连通。其结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程，降低了成产成本，对于提高生产效率具有积极意义。制备工艺基于制备装置来实现，其操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。
一种用于电子硝酸制备装置工艺

[发明专利]一种用于电子级氢氟酸的制备装置及制备工艺-CN202010861870.3有效
发明人：吴全贵;郑义达;吴俊贤;赖延恩;艾合买提艾尔肯;陈国民;李文斌;骆彦成 -专利权人：福建天甫电子材料有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： C01B7/19 文献下载
摘要：一种用于电子级氢氟酸的制备装置，包括：用于储备无水氟化氢的投料槽；用于得到无水氟化氢气体的塔釜；用于液化无水氟化氢气体的冷凝器；用于调配无水氟化氢液体的调配槽；及用于储备氢氟酸的成品槽；投料槽的出口通塔釜的进口连通，塔釜的出口同冷凝器的进口连通，冷凝器的出口同调配槽的进口连通，调配槽的出口同成品槽的进口连通。其结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程，降低了成产成本，对于提高生产效率具有积极意义。制备工艺基于制备装置来实现，其操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。
一种用于电子氢氟酸制备装置工艺

[实用新型]一种新型管廊架-CN202021103366.9有效
发明人： 骆彦成;刘奕丰;胡侃中;吴全贵;邱建铭 -专利权人：福建天甫电子材料有限公司
申请日： 2020-06-15 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： E04B1/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种新型管廊架，包括框架柱、框架梁、层间水平支撑、层间竖向支撑、管道层、多层猫道以及防护板；框架柱平行布置于管廊架的两侧；框架梁从底层到顶层依次布置，且框架梁两端分别锚固在框架柱上；层间水平支撑从二层到顶层依次布置，且一端锚固在框架柱上，另一端锚固在层间竖向支撑上；层间竖向支撑从二层到顶层依次布置，且两端分别锚固在相邻上下层的框架梁上；管道层设置于框架梁和层间水平支撑上，且从二层往上依次布置；多层猫道从二层往上依次布置在框架柱一侧；防护板布置在管廊架的两侧，从二层往上依次布置，且连接在框架柱和框架梁上。
一种新型管廊架

[实用新型]一种用于盐酸生产电子级废滤活性炭吸附装置-CN202021102882.X有效
发明人：吴全贵;陈少骏;赖延恩;陈国民;骆彦成;邱建铭 -专利权人：福建天甫电子材料有限公司
申请日： 2020-06-15 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： C02F1/28 文献下载
摘要：本实用新型涉及盐酸生产技术领域，尤其为一种用于盐酸生产电子级废滤活性炭吸附装置，包括吸附塔和便捷升降装置，所述吸附塔的底端固定连接有便捷升降装置，所述便捷升降装置包括第一固定块、固定板、第一转动块、第二转动块、第一固定杆、转筒、第二固定杆、第一转动杆、连接块、第二固定块和第二转动杆，所述吸附塔的底端固定连接有第一固定块，所述吸附塔的外侧固定连接有报警装置，所述报警装置包括气体浓度传感器、报警器和控制器，所述吸附塔的左端固定连接有气体浓度传感器，所述固定板的底端固定连接有万向轮，本实用新型中转动转筒通过第一固定杆的旋入或旋出实现第二转动杆的转动，实现吸附塔的竖直升降，增加装置的实用性。
一种用于盐酸生产电子级废滤活性炭吸附装置

[实用新型]无水氢氟酸尾气处理装置-CN202021387647.1有效
发明人： 骆彦成;刘奕丰;任建业;胡侃中;吴全贵 -专利权人：福建天甫电子材料有限公司
申请日： 2020-07-15 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： B01D53/18 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种无水氢氟酸尾气处理装置，包括：常压尾气收集管；喷射器，其进气端与所述常压尾气收集管连接；带压尾气收集管；石墨降膜吸收器，其进气端分别与所述带压尾气收集管以及所述喷射器的出气端连接，所述石墨降膜吸收器还包括一与废气处理单元连接的出气口；设置于所述石墨降膜吸收器外部的冷却循环管路；增浓槽，其顶部的进液口与所述石墨降膜吸收器的出液口相连接，其底部的出液口与回收管路连接。
无水氢氟酸尾气处理装置

[实用新型]一种无水氢氟酸灌装的气压调整装置-CN202021449591.8有效
发明人： 骆彦成;李文斌;郑义达;任建业;刘奕丰;胡侃中;吴全贵 -专利权人：福建天甫电子材料有限公司
申请日： 2020-07-21 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： B67C3/22 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种无水氢氟酸灌装的气压调整装置，包括：气源盘面；泄压端，其连接有第一阀门；增压端，所述增压端是增压进入灌装槽车的罐体内；第二阀门；第一组合阀门；第二组合阀门；第三组合阀门；所述第二阀门、第一组合阀门、第二组合阀门、第三组合阀门是并联关系；所述第一阀门和第二阀门是串联关系；输压端，所述输压端是气压输入端；通过操作所述气源盘面从而控制所述第一阀门、所述第二阀门、所述第一组合阀门、所述第二组合阀门和所述第三组合阀门。上述无水氢氟酸的气压调整装置操作简单方便，易于学习，大大提高无水氢氟酸的灌装效率和灌装安全性。
一种无水氢氟酸灌装气压调整装置

[实用新型]一种高效三氧化硫尾气吸收塔-CN202021116923.0有效
发明人：刘奕丰;胡侃中;吴俊贤;李文斌;郑义达;骆彦成 -专利权人：福建天甫电子材料有限公司
申请日： 2020-06-16 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效三氧化硫尾气吸收塔，包括安装底座，所述安装底座上表面固定安装有吸收塔身，所述吸收塔身一侧表面固定安装有进气口，所述吸收塔身上表面固定安装有出气口，所述出气口内固定安装有过滤机构，所述吸收塔身下表面固定安装有出液口，所述出液口上固定安装有出液阀门，所述吸收塔身上固定安装有冷凝机构，所述安装底座下表面位于四角位置均固定安装有固定支脚，所述冷凝机构包括冷却水阀门、水泵和冷凝管，所述冷凝管固定安装于吸收塔身上，所述冷凝管一端连接有水泵，所述水泵上连接有冷却水阀门。本实用新型所述的一种高效三氧化硫尾气吸收塔，能够对尾气中含有的三氧化硫进行回收。
一种高效三氧化硫尾气吸收塔

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