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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]叠置误差的测量标记-CN202211303661.2在审
  • 马士元 - 南亚科技股份有限公司
  • 2022-10-24 - 2023-07-14 - H01L23/544
  • 本公开提供一种叠置误差的测量标记。测量标记包括一第一图案和一第二图案。第一图案设置在一基底上，并位于一第一水平高度上。第一图案包括多个第一次图案和多个第二次图案。第一次图案沿一第一方向延伸并沿不同于第一方向的一第二方向排列。第二次图案沿第二方向排列，其中多个第一次图案中的每一个的轮廓与多个第二次图案中的每一个的轮廓不同。第二图案设置在与第一水平高度不同的一第二水高度上。
  • 误差测量标记
  • [发明专利]叠置误差的校正方法-CN202211677207.3在审
  • 马士元 - 南亚科技股份有限公司
  • 2022-12-26 - 2023-07-07 - G03F9/00
  • 本公开提供一种叠置误差的校正方法。该校正方法包括：根据一晶圆的一下层图案和一上层图案得到一叠置误差，其中该下层图案由该晶圆经过的一第一制造设备获得，而该上层图案由一曝光设备获得；根据该叠置误差和在该第一制造设备之后、该曝光设备之前对该晶圆执行的一工艺，产生一校正叠置误差；以及根据该校正叠置误差调整该曝光设备。
  • 误差校正方法
  •  1 
  • 共 5 条
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