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- [发明专利]一种晶圆缺陷自动检测设备-CN202310731625.4在审
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顾卫民;吴卓鸿
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无锡芯启博科技有限公司
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2023-06-20
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2023-09-15
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G01N21/95
- 本发明公开了一种晶圆缺陷自动检测设备,包括台体,所述台体的顶部外壁固定连接有第一固定架,所述第一固定架的顶部固定连接有支撑架,所述支撑架的顶部和一侧分别设置有显示屏和控制面板,所述台体的顶部设置有晶圆盒,所述晶圆盒的内部设置有晶圆本体,所述台体的顶部外壁固定连接有安装架,所述安装架的顶部内壁固定连接有图像采集器。本发明中的图像采集器包括了多组激光发射器和一组LED灯组,实现了对灯源和激光的综合,既保证了对晶圆本体缺陷的全面检测,也保证了对特定种类的缺陷的检测能力,同时激光发射器数目为多组,且多组激光发射器的波长均不同,从而提高了激光发射器的波长与晶圆本体缺陷之间的匹配度,提高了检测能力。
- 一种缺陷自动检测设备
- [发明专利]一种集成电路检测装置及检测方法-CN202310046345.X在审
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顾卫民
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无锡芯启博电子有限公司
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2023-01-31
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2023-06-13
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G01R31/28
- 本发明涉及集成电路检测设备技术领域,尤其是一种集成电路检测装置及检测方法,包括检测仪,还包括:连接板,连接板与检测仪前侧固定相连;放置板,放置板与连接板之间通过合页进行连接;放置台,放置台与放置板之间通过螺纹可拆卸连接;电路板,电路板位于放置台上侧并且电路板四角设有连接孔;四个导向柱,放置台上侧设有若干定位孔,两个检测针,检测针位于电路板左右两侧和放置板上侧,检测针通过导线连接检测仪;检测端口,检测端口通过导线与检测仪进行连接。设备整体不用时可以将放置板上物品拆卸下来后,可以进行折叠后,使得设备更加方便移动,同时更加方便更换位置直接使用,使得设备使用更加方便以及便捷。
- 一种集成电路检测装置方法
- [实用新型]一种晶圆缺陷检测机台-CN202223078538.3有效
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许金戈;顾卫民;李雅奇;张梅
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无锡芯启博科技有限公司
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2022-11-21
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2023-05-23
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H01L21/687
- 本实用新型公开了一种晶圆缺陷检测机台,涉及到晶圆检测机台技术领域,包括工作台,工作台上表面的左右两侧均固定连接有竖块,两个竖块的上表面共同固定连接有顶板,顶板下表面的左右两侧均固定连接有固定块,两个固定块下表面的左右两侧均固定连接有安装板,相对应一组安装板的相对一侧表面均共同转动连接有第一转轴,两个第一转轴的相对一端均贯穿相对应安装板的相反一侧表面并延伸至其另一侧表面。本实用新型可以通过旋转机构内的两个弧形夹板将晶圆固定,而后通过两个电机带动旋转块进行旋转,进而对晶圆进行翻面,就不需要人工对晶圆进行反面,省时省力,从而也就不需要停止设备,提高了设备的使用效率。
- 一种缺陷检测机台
- [发明专利]一种晶圆检测设备及晶圆检测方法-CN202211439266.7在审
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顾卫民;张梅;吴熙文;周桃平
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无锡芯启博科技有限公司
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2022-11-17
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2023-03-21
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B07C5/344
- 本发明提供一种晶圆检测设备及晶圆检测方法,涉及晶圆检测领域。一种晶圆检测设备,包括操作台,所述操作台的上侧表面固定连接有防护罩,所述操作台上侧表面的右侧固定连接有支架,所述操作台上侧表面左侧的前后两方均固定连接有支撑板,后侧的所述支撑板的右侧表面转动连接有两个丝杆,两个所述丝杆的杆壁均螺纹连接有移动板,上侧的所述移动板的下侧表面固定连接有喷气壳。本发明通过设置喷气壳和吸气壳,在晶圆进行检测的时候,喷气壳将晶圆表面的灰尘吹下,而吸气壳接着将吹出的灰尘进行吸收,从而避免灰尘会再次落在晶圆的表面或者操作台上,干扰检测结果,保持防护罩内部环境的洁净。
- 一种检测设备方法
- [实用新型]一种集成电路高效散热装置-CN202122200245.7有效
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王佳;顾卫民;吴卓鸿;曹必红
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无锡芯启博电子有限公司
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2021-09-13
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2022-04-15
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H01L23/367
- 本实用新型公开了一种集成电路高效散热装置,包括底座,所述底座的底面四角固定连接有支撑垫脚,所述底座的内部固定安装有散热风扇,所述底座的顶面固定连接有排气罩,且排气罩位于散热风扇的正上方,所述底座的两侧面均固定连接有连接板,两个所述连接板之间固定连接有散热板,所述散热板的顶面设置有导热层。通过散热风扇、排气罩、散热板、导热层和固定垫等结构的相互配合,实现了对集成电路板进行散热的过程,与利用集成电路板自身的散热能力进行散热的方式相比,通过将热量传导,提高了散热面积和散热效率,实现了便于高效散热的目标,散热性较好,达到了提高集成电路板使用寿命的效果,满足了使用需求。
- 一种集成电路高效散热装置
- [实用新型]一种集成电路芯片拾取装置-CN202122334314.3有效
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王佳;顾卫民;吴卓鸿;曹必红
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无锡芯启博电子有限公司
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2021-09-26
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2022-03-15
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H01L21/683
- 本实用新型公开了一种集成电路芯片拾取装置,包括连接柱,所述连接柱的下方设置有底台,所述底台的顶面开设有连接孔,所述连接柱的底面固定安装有第一电动推杆,所述第一电动推杆外侧壁与连接孔的内侧壁活动套接,所述第一电动推杆的外侧壁设置有固定底台的固定机构,所述底台的下方设置有托板,所述托板的一侧设置有带动托板移动的转动机构,通过握杆将装置拿取在手上,通过吸盘将镜片进行拾起,启动第一电动推杆,第一电动推杆会带动吸盘进行移动,方便拾起芯片,当芯片拾起时,通过启动第二电动推杆,第二电动推杆会通过转动机构带动两侧托板进行转动,两个托板将芯片托举,避免芯片在拾起后掉落,增强了装置的实用性。
- 一种集成电路芯片拾取装置
- [实用新型]一种便于检修的晶圆测试仪-CN202121621561.5有效
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顾卫民;吴卓鸿;张梅;吴熙文
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无锡芯启博科技有限公司
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2021-07-16
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2022-02-11
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G01R27/02
- 本实用新型公开了一种便于检修的晶圆测试仪,包括保护壳体,所述保护壳体的内腔滑动设有安装板,所述保护壳体的上端安装有插接组件且所述插接组件与安装板插接,所述安装板的底部和保护壳体内腔底部均安装有横板且两组所述横板上均安装有弹性磁条,所述保护壳体的内腔壁上固定有顶起弹簧,所述安装板的下端呈对称设有移动组件。本实用新型所述的一种便于检修的晶圆测试仪,本晶圆测试仪将各电气元件安装在安装板上,且安装板滑动设置在保护壳体的内腔,可通过插接组件与安装板的插接可将其固定在保护壳体的内腔,当接触插接组件与安装板的插接时,通过顶起弹簧的弹力作用可使得安装板做移动保护壳体的运动,便于对晶圆测试仪的拆卸检修。
- 一种便于检修测试仪
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