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[发明专利]一种浮动缓冲运动平台-CN202310694484.3在审
发明人：许亚威;黄华;万磊;邹洪强 -专利权人： 雅科贝思精密机电（上海）有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： F16F15/02 文献下载
摘要：本发明提供一种浮动缓冲运动平台，包括：设有缓冲滑轨的机台；浮动缓冲机构，浮动缓冲机包括浮动板、第一检测器、至少一个阻尼器以及多个磁铁，其中，浮动板设有多个缓冲滑块，浮动板通过多个缓冲滑块沿多个缓冲滑轨移动，多个磁铁连接浮动板，且随之同步移动，第一检测器设置于浮动板一端，以检测浮动板与机台之间的实际相对位置变化，多个阻尼器分别设置于机台与浮动板之间；线圈电机组件，线圈电机组件包括线圈电机，线圈电机连接浮动缓冲机构，且沿多个磁铁排列的方向移动。本浮动缓冲运动平台采用浮动缓冲机构最大程度地缓冲线圈电机组件与机台之间的相对冲击力，从而保证了使机台的稳定，减少了产品精度下降、良品率低等情况的发生。
一种浮动缓冲运动平台

[实用新型]一种龙门动力平台-CN202320263102.7有效
发明人：虞正浩;周朝渊;黄华;戚保安 -专利权人： 雅科贝思精密机电（上海）有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B23Q1/01 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种龙门动力平台，包括：底座、第一动子、第二动子、两个立柱以及横梁；两个立柱设置在底座的两侧，立柱在Y方向延伸；横梁在X方向延伸，X方向与Y方向垂直，横梁位于两个立柱之间，且横梁的两端分别与两个立柱滑动连接，横梁的两侧分别滑动连接第一动子和第二动子；横梁包括横梁底座、支撑梁和横梁顶板，支撑梁连接在横梁底座和横梁顶板之间，支撑梁中设有多个支撑通孔，支撑通孔中设有沿其对角线布设的第一X型支撑筋板。本实用新型在保证横梁的刚性、强度和稳定性前提下，降低横梁的制造成本和运输成本。
一种龙门动力平台

[实用新型]磁浮重力补偿器及光刻装置-CN202320355421.0有效
发明人：姚艺华;印欣;时磊;石佳蒙;王善明 -专利权人： 雅科贝思精密机电（上海）有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： F16F6/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁浮重力补偿器及光刻装置，涉及集成电路装备制造技术领域。该磁浮重力补偿器包括磁浮单元，磁浮单元包括定子组件和动子组件，定子组件设于磁浮单元的外圈，包括定子磁环和线圈环，定子磁环和线圈环沿磁浮单元的轴线方向排布，定子磁环的充磁方向为径向充磁，线圈环周向设有冷却单元。动子组件设于磁浮单元的内圈，包括动子磁环，动子磁环包括第一动子磁环和第二动子磁环，第一动子磁环和第二动子磁环沿磁浮单元的轴线方向排布，第一动子磁环的充磁方向为径向充磁，第二动子磁环的充磁方向为轴向充磁。该磁浮重力补偿器能够产生被动悬浮力和主动悬浮力，主动悬浮力的大小可调。
重力补偿光刻装置

[实用新型]直线电机-CN202320764177.3有效
发明人：陈琦凯;周万里;石佳蒙;印欣 -专利权人： 雅科贝思精密机电（上海）有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H02K9/02 文献下载
摘要：本实用新型属于电机技术领域，公开了一种直线电机，包括磁轨和本体，磁轨包括相对间隔设置的第一永磁体及第二永磁体，本体包括线圈部及顶盖，线圈部间隔设置于第一永磁体和第二永磁体之间，顶盖的底部连接于线圈部的顶部，顶盖内部开设有气流通道，气流通道内间隔设置有若干鳍片，且若干鳍片能够将顶盖的热量传递至气流通道中，压缩气体进入气流通道后带走顶盖内壁及鳍片上的热量，之后流向线圈部及磁轨中，对其进行进一步冷却。通过在顶盖内部设置气流通道且在气流通道中设置若干鳍片，在直线电机整体体积不变的前提下提高了顶盖的换热面积，从而提高了顶盖的散热效率，提高了直线电机整体的散热效率，进而使得直线电机获得了更高的推力密度。
直线电机

[发明专利]一种反力抵消装置及运动台-CN202310197097.9在审
发明人：张思伟;纪俊洋;杜碧;黄华 -专利权人： 雅科贝思精密机电（上海）有限公司
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： F16F15/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种反力抵消装置和运动台，反力抵消装置包括第一架体、Y向反力滑块和X向反力滑块，Y向反力滑块可移动地连接在第一架体上，Y向反力滑块由第一直线电机驱动沿Y轴方向移动；X向反力滑块可移动地连接在Y向反力滑块上,X向反力滑块由第二直线电机驱动沿Y轴方向移动；其中，Y轴方向和X轴方向相垂直。本发明还公开了一种包括上述反力抵消装置的运动台。本发明结构简单，便于安装和使用，不仅能实现单轴电机反力抵消，也可以实现双轴电机反力同时等比例抵消，调节方便、适用范围较广。
一种抵消装置运动

[实用新型]一种大中孔超薄电机-CN202320113350.3有效
发明人：唐守杰;韩佳慧;印欣;林浩元 -专利权人： 雅科贝思精密机电（上海）有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H02K5/04 文献下载
摘要：本实用新型属于电机设备技术领域，公开了一种大中孔超薄电机；其中包括定子组件和动子组件，定子组件包括外壳和线圈绕组，外壳呈环形，外壳一侧形成有第一表面，第一表面凹陷形成第一凹槽，线圈绕组套接在第一凹槽内，外壳中段形成有凸起部，凸起部上连接有固定环，凸起部与固定环之间卡接有轴承，轴承内侧套接有动子组件，动子组件包括第一固定件、第二固定件和永磁体，第一固定件与第二固定件对接并且内部围成有中孔，第一固定件外壁安装有永磁体；解决现有技术下电机结构较厚，占用空间的问题。
一种大中孔超薄电机

[发明专利]磁浮重力补偿器-CN202310185752.9在审
发明人：姚艺华;印欣;时磊;石佳蒙;王善明 -专利权人： 雅科贝思精密机电（上海）有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H02N15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁浮重力补偿器，涉及精密元器件制造技术领域。该磁浮重力补偿器包括至少一个磁浮单元，磁浮单元包括定子组件和悬浮组件，定子组件设于磁浮单元的外圈，包括壳体、定子磁环和线圈环，定子磁环和线圈环沿磁浮单元的轴线方向排布，定子磁环的充磁方向为径向充磁，线圈环位于壳体内，壳体内设有冷却液流道，冷却液流道设于线圈环的周向。悬浮组件设于磁浮单元的内圈，包括动子磁环，动子磁环包括第一动子磁环和第二动子磁环，第一动子磁环和第二动子磁环沿磁浮单元的轴线方向排布，第一动子磁环的充磁方向为径向充磁，第二动子磁环的充磁方向为轴向充磁。该磁浮重力补偿器能够产生被动悬浮力和主动悬浮力，主动悬浮力的大小可调。
重力补偿

[发明专利]一种平板音圈电机-CN202310370672.0在审
发明人：姚艺华;印欣;时磊;王善明;石佳蒙 -专利权人： 雅科贝思精密机电（上海）有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H02K41/035 文献下载
摘要：本发明涉及半导体设备技术领域，具体公开了一种平板音圈电机，其线圈组件包括至少一个线圈和至少一个导磁块，线圈整体为环形，线圈环绕设置在导磁块的周向，磁轨组件包括背铁和磁铁阵列，磁铁阵列固定在背铁上，线圈组件设置在磁铁阵列沿Z轴方向的中心，当线圈通电时，磁轨组件和导磁块形成的磁场共同对线圈施加安培力，通过导磁块增加了平板音圈电机在其输出方向的受力，从而在相同的铜耗下实现推力密度的提升，同时保证平板音圈电机整个运行过程平稳，出力均匀。并且对于平板音圈电机的结构改动较小，无需对现有的生产工艺进行较大改动，适用性良好，方便工业生产。
一种平板电机

[发明专利]直线电机-CN202310063383.6在审
发明人：王建设;印欣;张新密 -专利权人： 雅科贝思精密机电（上海）有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H02K9/19 文献下载
摘要：本发明属于直线电机技术领域，公开了一种直线电机。该直线电机包括电机铁芯、绕组线圈和冷却管路，电机铁芯的齿部插设于绕组线圈内，冷却管路环绕并抵接齿部设置，冷却管路内设置有供冷却液流通的冷却通道，冷却管路与齿部之间夹设有绝缘件；电机铁芯的安装面上至少开设有一个沿第一方向设置的第一导风槽，第一方向为直线电机的运动方向。该直线电机不仅散热结构简单、冷却效率更高以及散热效果更好，能够显著降低因绕组线圈发热所产生的热量聚集，防止由于温度过高导致直线电机发生损坏，提高了直线电机的可靠性和使用寿命，还能降低了散发至磁轨的热量，降低磁轨的磁铁牌号，从而降低生产成本。
直线电机

[实用新型]一种基于直线电机的开关门装置-CN202223233249.6有效
发明人：孙雪琛;万磊;黄华;龚政 -专利权人： 雅科贝思精密机电（上海）有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： E05F15/60 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基于直线电机的开关门装置，包括机架、同步带轮传动组件、主动组件和从动组件，同步带轮传动组件包括传动轮和连接传动轮的同步带；主动组件包括驱动器控制器、直线电机定子、直线电机动子、主动门移动基板和主动门同步带连接板，直线电机定子设于机架的一侧，直线电机动子安装于主动门移动基板上，主动门移动基板上安装有主动门同步带连接板；从动组件包括从动门移动基板和从动门同步带连接板，从动门移动基板上安装有从动门同步带连接板，主动门同步带连接板和从动门同步带连接板连接同步带的两侧。本实用新型实现了将直线电机作为动力源驱动的开关门装置，灵敏度高，结构集成度高，易于推广。
一种基于直线电机开关装置

[实用新型]电机-CN202320054730.4有效
发明人：王建设;印欣;张新密 -专利权人： 雅科贝思精密机电（上海）有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H02K3/50 文献下载
摘要：本实用新型属于电机技术领域，公开了电机，电机包括定子、动子、PCB和电缆，动子包括设置于定子的铁芯以及围绕铁芯设置的绕组，绕组设置有多个出线接头，多个出线接头均连接于PCB，PCB内的电路经过合理排布，即可实现各个接线之间的连接，通过引入PCB能够简化绕组的排线、接线过程，PCB开设有多个相线接口，电缆包括多个相线，多个相线一一对应地插接于多个相线接口，且多个相线均与PCB电连接，从而通过PCB简化电缆的相线的排线、接线过程，且多个相线一一对应地插接于多个相线接口，便于相线的定位和安装，且连接稳定。
电机

[实用新型]直线电机-CN202320056239.5有效
发明人：周万里;石佳蒙;印欣;林浩元 -专利权人： 雅科贝思精密机电（上海）有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H02K9/02 文献下载
摘要：本实用新型属于电机技术领域，公开了一种直线电机。该直线电机包括底座和动子组件。底座具有沿第一方向延伸的滑槽，动子组件与滑槽滑动连接，底座还包括底板、第一散热板和第二散热板。其中，底板设置在滑槽的底部，底板内设有沿第一方向延伸的第一气道，底板靠近滑槽的一侧上设有与第一气道连通的若干第一出气孔；第一散热板设置在底板的一端，第一散热板内设有第二气道；第二散热板设置在底板的另一端，第二散热板内设有第三气道；第一散热板和第二散热板均与底板垂直。上述直线电机的散热效率较高，能够有效控制线圈和直线电机的温升，提高了直线电机的精度。
直线电机

[实用新型]线性马达模组-CN202320114878.2有效
发明人：王建设;印欣;张新密;石佳蒙 -专利权人： 雅科贝思精密机电（上海）有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H02K41/02 文献下载
摘要：本实用新型属于电机控制模组技术领域，公开了线性马达模组。其中包括框架，框架上安装有磁轨，磁轨上安装有马达构件，马达构件沿磁轨长度方向滑动，线性马达模组还包括磁性弹簧，磁性弹簧包括定子端和动子端，定子端固定在框架上，动子端与线性构件连接，定子端与动子端上的磁极相反，定子端与动子端相互吸引；解决现有技术下气缸在断电的时候会使动子端与负载发生自由落体，导致线性马达模组损坏的问题。
线性马达模组

[实用新型]一种基于音圈电机的支撑调平机构-CN202221631293.X有效
发明人：王松;黄华;戚保安;虞正浩;蒋成;曾维昌;顾绍成 -专利权人： 雅科贝思精密机电（上海）有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： H02K7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基于音圈电机的支撑调平机构，包括主体板和负载板，主体板上连接有主支撑，主支撑的周向依次布置有第一音圈电机、第二音圈电机和第三音圈电机，第一音圈电机通过第一微调支撑和负载板相连接，第二音圈电机通过第二微调支撑和负载板相连接，第三音圈电机通过第三微调支撑和负载板相连接，第一微调支撑由第一音圈电机驱动升降，第二微调支撑由第二音圈电机驱动升降，第三微调支撑由第三音圈电机驱动升降。本实用新型具有较好的调节灵敏度，调平效果较好。
一种基于电机支撑机构

[实用新型]半导体晶圆的吸附载盘及吸附旋转的气路机构-CN202222070454.9有效
发明人：孙雪琛;万磊;黄华;龚政 -专利权人： 雅科贝思精密机电（上海）有限公司
申请日： 2022-08-08 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体晶圆的吸附载盘及吸附旋转的气路机构，吸附载盘包括吸盘体A和吸盘体B，吸盘体A与吸盘体B分体设置并且可拆卸式接合在一起，吸盘体A设有多条环形导气槽和多条导气通道A；吸盘体B设有多条导气通道B；吸盘体A设有密封槽A和/或吸盘体B设有密封槽B，吸盘体A与吸盘体B接合后，多条导气通道A与多条导气通道B一一对应的接通以形成多条吸盘导气通道，每条吸盘导气通道设有压紧在吸盘体A与吸盘体B之间并且嵌入密封槽A和/或密封槽B中的O型密封圈。吸盘体A与吸盘体B之间拆卸容易，无需再插拔气管、缠绕或去除生胶带、涂抹或去除AB胶，吸盘导气通道的密封性更好。方便操作，节省时间，提高了效率。
半导体吸附旋转机构

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