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[发明专利]基于非晶氧化镓薄膜的日盲紫外探测器及其制备方法-CN201910732617.5有效
发明人：张彦芳;程东;叶建东;巩贺贺;陈选虎;任芳芳;朱顺明;顾书林 -专利权人：南京大学;南京大学深圳研究院;中电科技德清华莹电子有限公司
申请日： 2019-08-09 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： H01L31/032 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于非晶氧化镓薄膜的柔性日盲紫外探测器，探测器以高分子(如PET、聚酰亚胺)薄膜或织物为柔性衬底，使用超宽禁带半导体氧化镓(Ga2O3)(半导体层)为光探测材料，使用金属或氮化钛(TiN)半导体作为电极材料，通过光刻、刻蚀和薄膜沉积等半导体工艺制备肖特基接触电极层，形成金属电极‑半导体层‑金属电极(MSM)结构探测器，可实现对波长小于280nm的日盲紫外光的有效探测。
基于氧化薄膜紫外探测器及其制备方法

[发明专利]一种高质量κ相氧化镓外延薄膜的制备方法-CN201911009760.8有效
发明人：叶建东;龚义清;郝景刚;陈选虎;任芳芳;顾书林 -专利权人：南京大学;南京大学深圳研究院
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： C30B25/02 文献下载
摘要：一种采用卤化物气相外延生长κ‑Ga2O3薄膜的方法，使用两温区管式炉作为反应设备，高纯金属Ga和混合载气的HCl在第一温区反应区加热下发生反应，生成气态的GaCl和GaCl3，之后在载气的推动下，第一温区反应区反应生成物进入第二温区生长区与混合载气的O2反应，在衬底上生长κ‑Ga2O3薄膜；第一温区反应区采用较高温度使得金属Ga源和气态HCl反应，第一温区使用的温度在800℃至1050℃，而第二温区生长区采用较低温度使第一温区输送过来的生成物与O2反应，第二温区使用的温度在500℃至650℃。本发明方法的生长速度较快，成本低、所需反应物毒性低，可大规模制备κ‑Ga2O3薄膜。
一种质量氧化外延薄膜制备方法

[发明专利]一种日盲紫外探测器及其制备方法-CN202010298336.6在审
发明人：叶建东;张崇德;任芳芳;徐阳;陈选虎;巩贺贺;朱顺明;顾书林 -专利权人：南京大学
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本发明公开了日盲紫外探测器及其制备方法。探测元件由上至下包括由金属和氧化物的多周期滤波结构(或称滤波层)，紫外吸收体、叉指电极层、衬底层；多周期滤波结构顶部，底部均为电解质隔离层；由金属薄膜和电介质薄膜交替的多周期滤波结构生长在探测器的电介质隔离层上。多周期滤波结构尤其是交替生长氧化铝和铝。探测器结构采用背电极MSM结构，金属叉指电极制备在紫外吸收体与衬底之间，光信号从器件正面经过滤波结构射入紫外吸收体中，以避免叉指电极的阻挡，有效提高吸收效率。可实现日盲紫外波段的高效探测，同时对可见光、红外波段具有高抑制作用。
一种紫外探测器及其制备方法

[发明专利]一种光致电流瞬态谱自动化分析方法与系统-CN202010093124.4在审
发明人：叶建东;程东;陈选虎;巩贺贺;徐阳;任芳芳;顾书林 -专利权人：南京大学;南京大学深圳研究院
申请日： 2020-02-14 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： G01R31/265 文献下载
摘要：光致电流瞬态谱自动化分析方法，采用波长270nm的激光器，通过斩波器的调制形成100±50HZ的方波激发光源，照射在被测样品表面，通过被测样品材料价带至导带间的光吸收，在导带形成过剩载流子，并在空间电荷区驱动至外部电路，形成光致电流；激发光源为方波形式，即前半周期样品处于光激发状态，而后半周期则无光激发；当在光照激发条件下，光吸收形成的过剩载流子会被半导体样品中的深能级陷阱缺陷俘获；而无光照时，深能级陷阱缺陷将释放出过剩载流子，这些载流子则是无光照条件下形成的过剩载流子，同样也会被外部电路收集形成电流，通过这一电流强度及电流随时间的变化关系，获得深能级缺陷的能级位置及陷阱密度信息。
一种致电瞬态自动化分析方法系统

[发明专利]一种基于氧化镓偏振选择特性的带通日盲紫外探测器及其制备方法-CN201810399948.7有效
发明人：叶建东;陈选虎;徐阳;马同川;张彦芳;任芳芳;朱顺明;顾书林;张荣;郑有炓 -专利权人：南京大学
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：基于氧化镓偏振选择特性的带通日盲紫外探测器，包括β相的氧化镓衬底、金属(Au)叉指状电极、绝缘介质钝化层和另一同晶体取向的β相氧化镓单晶滤光片，在(100)、(001)或(010)β相的单晶衬底上沉积金属得到叉指状电极阵列，然后覆盖绝缘介质钝化层，所述绝缘介质钝化层漏出金属(Au)叉指状电极；氧化镓单晶滤光片是位于Au叉指状电极器件的上方2‑5mm处放置，氧化镓单晶滤光片的晶体取向与衬底相同，面积稍大于衬底，氧化镓单晶滤光片面内晶体取向垂直于氧化镓衬底。上述器件具有封装结构，可以实现阵列化信号输出。本探测器能实现有效的滤除杂波，增强对短波的抑制作用，实现窄带的日盲紫外探测器；探测器结构简单，成本较低，抑制较高，有利于推广使用。
氧化镓衬底单晶叉指状电极紫外探测器晶体取向绝缘介质钝化层滤光片日盲偏振选择带通金属探测器结构沉积金属封装结构信号输出阵列化探测器短波漏出滤除滤光杂波窄带制备垂直覆盖

[发明专利]一种超声辅助雾相输运化学气相沉积生长氧化镓的系统-CN201811030854.9在审
发明人：叶建东;马同川;陈选虎;徐阳;任芳芳;朱顺明;顾书林 -专利权人：南京大学
申请日： 2018-09-05 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： C30B29/16 文献下载
摘要：一种超声辅助雾相输运化学气相沉积生长氧化镓的系统。一种超声辅助雾相输运化学气相沉积方法，采用水溶性的镓盐超声雾化源作为原料，在反应腔室中进行；利用反应腔室内有气流的收束装置部位作为生长区，反应腔室整体为卧式结构；镓源的水溶液由超声雾化器雾化之后由隋性气体(氮气)作为载气输运，与稀释气体混合后进入反应腔室，反应腔室内部具有气流收束结构，反应腔室后端输出位置时用水吸收反应产物和未反应的原料，输出位置并设有防倒吸结构；反应后的尾气由尾气处理装置处理。
反应腔室输运化学气相沉积超声辅助输出位置反应腔氧化镓氮气尾气处理装置吸收反应产物超声雾化器超声雾化收束结构收束装置隋性气体卧式结构稀释气体生长防倒吸生长区室内部雾化载气镓盐镓源尾气室内统一

[发明专利]一种用于高效可见光催化水分解的锌镉氧合金单晶薄膜及其制备-CN201610192710.8有效
发明人：叶建东;陈选虎;任芳芳;朱顺明;汤琨;顾书林;郑有炓 -专利权人：南京大学
申请日： 2016-03-30 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： C30B29/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于高效可见光催化水分解的锌镉氧合金单晶薄膜，所述的ZnCdO合金单晶薄膜的禁带宽度在2.1‑3.3eV范围内可调，覆盖大部分太阳光谱，将ZnCdO合金单晶薄膜与铟金属形成欧姆接触。本发明利用有机金属化学气相沉积(MOCVD)方法在蓝宝石或石英等透明衬底上低温制备不同Cd/Zn组分配比的ZnCdO合金单晶薄膜。薄膜的禁带宽度覆盖绝大部分太阳光谱，非常适合用于可见光催化分解水。本发明制备方法适合大规模产业化，制备的ZnCdO薄膜在高效光催化水分解和光伏电池等领域有应用前景。
一种用于高效可见光催化水分锌镉氧合金薄膜及其制备

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