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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]金属-氧化物-金属电容器的制作方法-CN202110520984.6在审
发明人： 陈书基;封晶;蒋晓宏;戴锦华 -专利权人：联华电子股份有限公司
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H01L23/522 文献下载
摘要：本发明公开一种金属‑氧化物‑金属电容器(Metal‑Oxide‑Metal capacitor，MOMCAP)的制作方法，包括下述步骤:首先，根据第N层预期电容值，在基材上方形成第N层金属层；再计算第N层金属层的第N层实际电容值与第N层预期电容值之间的第N层电容误差值。根据第N层电容误差值调整第N+1层金属层的第N+1层预期电容值。以及根据调整后的第N+1层预期电容值，在第N层金属层的上方形成具有第N+1层实际电容值的第N+1层金属层，且使第N层实际电容值和第N+1层实际电容值的加总等于第N层预期电容值和第N+1层预期电容值的加总。其中，N为大于1的整数。
金属氧化物电容器制作方法

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