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- [发明专利]芯片、其制备方法及电子设备-CN202210391100.6在审
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黄伟川;陈东奇;谢雨思;林军
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华为技术有限公司
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2022-04-14
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2023-10-27
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H01L23/532
- 本申请公开了一种芯片、其制备方法及电子设备。在金属填充层和第一金属层之间插入第二金属层,可以简化选择性生长金属填充层之前的预处理工艺,在形成通孔后且未选择性生长金属填充层前仅需进行氧气等离子体处理,去除通孔内壁在刻蚀过程中产生的悬挂键和刻蚀副产物,针对第二金属层在氧气等离子体处理过程中被氧化的连接区,通过选择性生长金属填充层时预先在高温下通入的反应气体,可以还原第二金属层被氧化的连接区,替代现有的在选择性生长金属填充层前的氢气等离子体处理,减少了氧气等离子体处理和氢气等离子体处理之间平衡的问题,提高了选择性生长金属填充层在第二金属层和第二介质层之间的选择性,提升了金属填充层的选择性生长品质。
- 芯片制备方法电子设备
- [发明专利]管道空化清洗效果检测系统-CN201710791306.7有效
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马文琦;孙红镱;陈东奇
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大连海事大学;哈尔滨学院
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2017-09-05
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2019-06-28
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B08B9/032
- 本发明公开了一种管道空化清洗效果检测系统,包括动力单元、控制单元、执行单元和空化检测装置;所述的空化检测装置包括高速摄像机、亚甲基蓝分光光度计和应力应变片,高速摄像机和亚甲基蓝分光光度计用来测量空化产生位置和空化量,应力应变片用来测量空化清洗效果。本发明利用高速摄影技术,能够有效的观测到空化清洗器空化的发生和发展,能够获得区域性检测空化效果。本发明采用应力应变测试法,能够检测空泡在产生和溃灭时管壁的应变值,通过应变跟应力的转换得到空化效果,对空化效果进行定量分析。本发明采用亚甲基蓝分光光度计测量法,通过亚甲基蓝被氧化前后吸光度的变化检测羟基自由基的量,从而表征空化的强度。
- 管道清洗效果检测系统
- [实用新型]一种激光热辅助硬脆材料高效磨削实验台-CN201720245627.2有效
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陈东奇;张涛;安久贺;卞希帅;于天彪;赵继
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东北大学
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2017-03-14
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2017-10-13
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B24B27/00
- 本实用新型公开了一种激光热辅助硬脆材料高效磨削实验台,包括基体,砂轮支撑装置,卡具支撑装置和激光加热装置;砂轮支撑装置包括电机和竖直进给装置,电机的输出端通过联轴器Ⅰ与一水平轴连接,水平轴上套接有砂轮,水平轴的另一端通过轴座与固定在基体上的竖直杆连接,轴座可沿竖直杆的轴向滑动,竖直进给装置与基体固定连接。本实用新型将激光热辅助运用于磨削,提高了磨削效率与磨削质量;采用电机联轴器直接驱动砂轮,带动砂轮磨削工件,减少了传动环节的传动误差与传动累积误差,提高电机功率的利用率,保证砂轮转速;采用了龙门式机构支撑水平轴(砂轮轴),可以保证水平轴的刚度、有效减少轴端的颤振,进而可以相应地提高磨削的精度。
- 一种激光辅助材料高效磨削实验
- [发明专利]用于管道除垢的复合型空化清洗器-CN201710334512.5在审
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孙红镱;马文琦;陈东奇
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哈尔滨学院;大连海事大学
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2017-05-12
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2017-07-21
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B08B9/032
- 本发明公开了一种用于管道除垢的复合型空化清洗器,包括叶片清洗结构和喷嘴,所述的叶片清洗结构和喷嘴通过自锁螺纹连接为一体;所述的叶片清洗结构包括内层叶片和外层叶片两组叶片,所述的内层叶片和外层叶片交错叠放在一起;所述的喷嘴由入口腔、空化谐振腔和射流小孔组成。由于本发明采用了空化机理对管道进行清洗,远远超过传统清洗手段的清洗效率。且采用叶片空化清洗器和空化喷嘴两级复合,提高了单级空化清洗器的空化效果。由于本发明采用复合型空化清洗器,所需驱动压力低于10MPa,比传统的高压水射流清洗技术危险性降低。由于本发明采用的空化清洗器,设备简单,造价较低,比传统的PIG清洗技术所需成本降低。
- 用于管道除垢复合型清洗
- [实用新型]一种五轴三维超声抛光机床-CN201621445738.X有效
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安久贺;张涛;卞希帅;杨晓喆;陈东奇;于天彪;赵继
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东北大学
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2016-12-27
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2017-07-11
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B24B13/00
- 一种五轴三维超声抛光机床的,在现有由机架、X向移动机构、Y向移动机构、Z向移动机构、超声振动抛光装置、旋转工作台、抛光液超声雾化施液装置和工件在线检测装置组成的五轴二维超声抛光机床的基础上加以改进,将其超声振动抛光装置由原来采用一维超声振动变为采用二维超声振动,二维超声振动由安装在立式旋转台上、通过工位调节孔可调节其夹角的两个超声装置和与超声装置的变幅杆相接的抛光头基座完成,抛光头固定在基座上。该超声抛光机床在抛光头上施加二维超声振动,通过二维超声耦合不仅可提高抛光功率,而且使抛光头的运动轨迹以曲线往复绕行形式均匀覆盖加工区域,使抛光效率明显提高。
- 一种三维超声抛光机床
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