“陆陈华”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果12个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]半导体设备-CN202210340521.6在审
发明人： 陆陈华;刁建华;杨宏超;贾照伟;王坚;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B05B9/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体设备，包括喷淋装置和多个工作腔体，喷淋装置包括供液管路、增压装置和压力控制装置，供液管路包括主管路和多个支管路，多个支管路包括第一管路和第二管路，主管路连接第一管路的第一端和第二管路的第一端；增压装置设置于主管路，增压装置根据第一预设压力值对通入主管路中的喷淋液加压，加压后的喷淋液分别进入第一管路和第二管路，第一管路的第二端的喷淋液具有第一预设压力值；压力控制装置根据第二预设压力值调节第二管路内的喷淋液压力，使得第二管路的第二端的喷淋液具有第二预设压力值；其中，多个工作腔体连接第一管路的第二端和第二管路的第二端。本发明具有能够同时对不同液压需求的产品进行处理的优点。
半导体设备

[发明专利]一种电镀腔漏镀预警方法及系统-CN202111529263.8在审
发明人：吴勐;贾照伟;陆陈华;秦岭;操全;杨宏超;王坚;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： G01V8/10 文献下载
摘要：本发明提出了一种电镀腔漏镀预警方法及系统，方法包括如下步骤：将电镀完成的晶圆定位在检测位置的工装上；设定晶圆的目标检测区域；操作图像传感器以检测所述晶圆的目标检测区域，判断晶圆的目标检测区域内是否存在不需要的金属沉积物；若判断结果为晶圆的目标检测区域内存在不需要的金属沉积物，表示加工该晶圆的电镀腔内发生漏镀现象，则发出警报指令；若判断结果为晶圆的目标检测区域内不存在不需要的金属沉积物，表示加工该晶圆的电镀腔内未发生漏镀现象，则不发出警报指令。本发明通过利用检测装置自动对晶圆进行漏镀检测，能够代替人工对晶圆的电镀情况进行检查，及时发现晶圆漏镀的问题，并发出警报，便于工作人员对电镀腔进行处理。
一种电镀腔漏镀预警方法系统

[发明专利]电镀装置-CN202111073167.7在审
发明人：王坚;王辰;杨宏超;陆陈华;李佳奇;贾照伟;秦岭;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2021-09-14 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种电镀装置，包括工艺腔室、桨叶板和驱动机构，驱动机构用于驱动桨叶板往返运动，使得基板电镀时桨叶板对工艺腔室内的电镀液进行搅拌，电镀装置还包括清洗组件和连接支架，清洗组件用于向电镀后的基板喷洒清洗液；连接支架的一端连接桨叶板，连接支架的另一端连接驱动机构，驱动机构通过连接支架驱动桨叶板往返运动；其中，连接支架开设有镂空区，喷洒至基板上的清洗液穿过镂空区后被收集。因此，本发明具有避免电镀液被稀释的优点。
电镀装置

[发明专利]基板处理方法-CN202111050183.4在审
发明人：吴勐;陆陈华;贾照伟;操全;王坚;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2021-09-08 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： H01L21/288 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板处理方法，包括以下步骤：S1：将已镀有第一金属层的基板从第一电镀腔室向第二电镀腔室进行传输；S2：将基板传输至第二电镀腔室后，在基板的正面形成水膜层；S3：在第一金属层之上电镀第二金属层。本发明通过在电镀腔室内进行电镀前形成水膜层的步骤，具有避免两金属层之间发生分层，解决产品凹陷异常的优点。
处理方法

[发明专利]电镀装置及电镀方法-CN202110154928.5在审
发明人：王晖;王坚;贾照伟;杨宏超;蔡军;陆陈华;李佳奇;吴勐 -专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2021-02-04 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明的一个实施例揭示了一种电镀装置和电镀方法，该电镀装置包括多个平行排列的桨叶，桨叶平行于基板而移动，对电镀液进行搅拌，一个周期内，桨叶以设定的行程进行往复运动，往复运动的折返点与桨叶的宽度以及相邻桨叶之间的间隙的最窄宽度有关。本发明通过设计桨叶的尺寸和运动方式，使基板上对应的每个点累计被桨叶遮挡的时间相等，从而接收到的电量相等，进而提高了电镀高度的一致性。
电镀装置方法

[发明专利]电镀装置-CN201780094345.X有效
发明人：贾照伟;杨宏超;陆陈华;王坚;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2017-08-30 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： C25D5/08 文献下载
摘要：本发明揭示了一种用于在基板上沉积金属的电镀装置。该电镀装置包括膜架(14)、阴极电解液进液管(30)和中心帽(40)。膜架(14)具有穿过膜架(14)中心的中心通道(144)。阴极电解液进液管(30)与膜架(14)的中心通道(144)相连接。中心帽(40)固定在膜架(14)的中心且覆盖膜架(14)的中心通道(144)。中心帽(40)的顶部设有多个第一孔(42)。阴极电解液进液管(30)通过膜架(14)的中心通道(144)向中心帽(40)供应阴极电解液，阴极电解液通过中心帽(40)的第一孔(42)供应到基板的中心区域。
电镀装置

[发明专利]前撑式注浆钢管桩的极限承载力检测装置及方法-CN202110352890.2在审
发明人： 陆陈华;张军烈;刘欣;方思倩;孙坚 -专利权人：上海建工七建集团有限公司
申请日： 2021-04-01 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： E02D33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种前撑式注浆钢管桩的极限承载力检测装置及方法，该方法包括在SMW工法桩施工地下连续墙的相邻H型钢之间设置反力支撑机构；在前撑式注浆钢管桩的端部焊接封头钢板；在封头钢板与反力支撑机构之间设置液压千斤顶；将液压千斤顶连接在桩基静载荷测试分析系统上，通过桩基静载荷测试分析系统输出载荷通过液压千斤顶的升降加载到前撑式注浆钢管桩上，以对前撑式注浆钢管桩的极限承载力进行检测。本发明适用于斜撑体系的前撑式注浆钢管桩的极限承载力检测，能够提供较好的反向承载力，能够通过桩基静载荷测试分析系统输出载荷通过液压千斤顶的升降加载到前撑式注浆钢管桩上，以对前撑式注浆钢管桩的极限承载力进行慢速加载检测。
前撑式注浆钢管极限承载力检测装置方法

[发明专利]电镀液回流装置及电镀装置-CN201911357170.4在审
发明人：王坚;贾照伟;杨宏超;陆陈华;秦岭;王晖 -专利权人：盛美半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： C25D21/18 文献下载
摘要：本发明提供一种电镀液回流装置及电镀装置，该回流装置包括：子电镀液回流装置及储液槽；其中，子电镀液回流装置包括：溢流槽，密封集液漏斗，液位计，回流管路，阀门；溢流槽设置于电镀工艺腔中的主反应槽的外围，主反应槽中的电镀液溢流至所述溢流槽内；溢流槽的底部设有回流口，并通过回流口与密封集液漏斗连通；液位计用于测量溢流槽的液位，液位计中设置有两个液位点；回流管路设置于密封集液漏斗与储液槽之间，且其上设置有控制回流管路开度的阀门，并通过回流管路的开度将溢流槽的液位控制在两个液位点之间。采用本电镀液回流装置可有效降低电镀装置在电镀工艺的电镀液回流过程中产生气泡，从而提高电镀工艺的效率及工艺稳定性。
电镀回流装置

[发明专利]离子交换膜固定装置及电镀装置-CN201911242550.3在审
发明人：余齐兴;杨宏超;金一诺;陆陈华;王坚;王晖 -专利权人：盛美半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2019-12-06 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明提供一种离子交换膜固定装置及电镀装置，离子交换膜固定装置包括：离子膜骨架，其上形成有凹槽结构；第一垫片，设置于凹槽结构底部；第二垫片，设置于凹槽结构中且位于第一垫片上方；离子交换膜包括待固定区域，待固定区域至少位于第一垫片与第二垫片之间，第一垫片、第二垫片及离子交换膜的厚度之和等于凹槽结构的深度；至少一个固定组件，至少设置于离子膜骨架上，以将离子交换膜固定在离子膜骨架上。本发明的离子交换膜固定装置，设置凹槽结构的深度等于第一垫片、第二垫片以及离子交换膜的厚度之和，可以有效地将所述离子交换膜固定，减小离子交换膜由于固定发生损坏的问题。
离子交换固定装置电镀

[实用新型]用于地下室结构的加固构件-CN201822198262.X有效
发明人：顾滨海;陆秋平;陆陈华;方思倩;周述平 -专利权人：上海建工七建集团有限公司
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： E04B1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于地下室结构的加固构件。所述加固构件包括支撑柱、第一端板和第二端板。支撑柱包括相对设置的第一端和第二端；第一端板位于支撑柱的第一端，并与支撑柱连接，支撑柱在第一端板的投影位于第一端板内，第一端板开设有固定孔；第二端板位于支撑柱的第二端，并与支撑柱连接，支撑柱在第二端板的投影位于第二端板内。上述加固构件采用支撑柱作为支撑，第一端板和第二端板作为传力端板，可以对地下室结构进行临时加固，占用空间小，基本不影响后续施工；并且，该加固构件与结构一同浇筑，质量可靠，保证了地下室结构的安全性。
支撑柱第一端端板加固构件地下室投影本实用新型临时加固相对设置占用空间固定孔传力浇筑支撑施工保证

[发明专利]用于地下室结构的加固构件及其应用施工方法-CN201811596711.4在审
发明人：顾滨海;陆秋平;陆陈华;方思倩;周述平 -专利权人：上海建工七建集团有限公司
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： E04B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于地下室结构的加固构件及其应用施工方法。所述加固构件包括支撑柱、第一端板和第二端板。支撑柱包括相对设置的第一端和第二端；第一端板位于支撑柱的第一端，并与支撑柱连接，支撑柱在第一端板的投影位于第一端板内，第一端板开设有固定孔；第二端板位于支撑柱的第二端，并与支撑柱连接，支撑柱在第二端板的投影位于第二端板内。上述加固构件采用支撑柱作为支撑，第一端板和第二端板作为传力端板，可以对地下室结构进行临时加固，占用空间小，基本不影响后续施工；并且，该加固构件与结构一同浇筑，质量可靠，保证了地下室结构的安全性。此外，上述用于地下室结构的加固构件的应用施工方法工艺简单、施工速度快，适于推广应用。
支撑柱第一端加固构件端板地下室施工投影应用施工方法工艺临时加固相对设置占用空间固定孔传力浇筑支撑保证

[实用新型]地下室结构与中隔墙间的传力结构-CN201520104305.7有效
发明人：袁亦琦;吴杏弟;陆陈华;葛宏亮;周吉 -专利权人：上海建工七建集团有限公司
申请日： 2015-02-13 - 公布日： 2015-08-26 - 主分类号： E02D29/045 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种地下室结构与中隔墙间的传力结构，所述中隔墙将基坑划分为小块，所述地下室结构包括底板与中楼板，所述中隔墙与所述底板以及所述中隔墙与所述中楼板之间间隔设置若干传力块。本实用新型结构简单、性能可靠，通过增设的传力块，使地下室结构与围护结构紧密连接，形成整体，并能有效控制围护变形。此外，本实用新型的传力块可以现场制作，连接原理简单，工人施工方便、快捷。
地下室结构隔墙

1
共 12 条