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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种远程等离子发生器及等离子清洗设备-CN202221427941.X有效
发明人： 闫占奎;石娟 -专利权人：汇束显微技术（上海）有限公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H05H1/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种远程等离子发生器及等离子清洗设备，属于等离子清洗技术领域。远程等离子发生器包括电磁阀、气体传输底座、等离子矩管、螺旋电磁线圈、等离子传输法兰、匹配电路网络和射频电源；等离子清洗设备包括上述的等离子发生器和真空腔。本实用新型集成了多路精密减压阀、压力变送器和MFC，可以调节清洗气体的压力，同时实时检测气体压力数值，不仅保证MFC对气体流量的调节精度，避免过强气体流速损伤清洗样品，而且也可实现多路混合气体组分调节。
一种远程等离子发生器清洗设备

[发明专利]一种远程等离子发生器及等离子清洗设备-CN202210646323.2在审
发明人： 闫占奎;石娟 -专利权人：汇束显微技术（上海）有限公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H05H1/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种远程等离子发生器及等离子清洗设备，属于等离子清洗技术领域。远程等离子发生器包括电磁阀、气体传输底座、等离子矩管、螺旋电磁线圈、等离子传输法兰、匹配电路网络和射频电源；等离子清洗设备包括上述的等离子发生器和真空腔。本发明集成了多路精密减压阀、压力变送器和MFC，可以调节清洗气体的压力，同时实时检测气体压力数值，不仅保证MFC对气体流量的调节精度，避免过强气体流速损伤清洗样品，而且也可实现多路混合气体组分调节。
一种远程等离子发生器清洗设备

[发明专利]一种利用原子层沉积包覆纳米淀粉微球的方法-CN202010231957.2有效
发明人：陈蓉;闫占奎;刘潇;单斌 -专利权人：华中科技大学无锡研究院
申请日： 2020-03-27 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明属于纳米淀粉微球改性技术领域，具体涉及一种利用原子层沉积包覆纳米淀粉微球的方法。本发明通过将纳米淀粉微球置于超声垂直流化原子层沉积设备中，开启超声振动，在适当的反应温度和压力下，选择合适活性与蒸汽压的前驱体交替通入，在纳米淀粉微球表面通过活性官能团的交换形成单层化学吸附并完成自限制化学半反应，生成致密的薄膜，对表面的各个部位进行厚度均匀一致的薄膜包覆。本发明采用原子层沉积技术生成的纳米薄膜包覆均匀性较高，尤其对于颗粒较小的纳米淀粉微球可实现其均匀包覆，形成的纳米薄膜结构致密，具有均匀的厚度、优异的一致性，由于其反应机理的特点，可实现对不同粒径纳米淀粉微球的包覆。
一种利用原子沉积纳米淀粉方法

[外观设计]原子层沉积设备-CN202030175345.7有效
发明人：陈蓉;闫占奎;刘潇;单斌 -专利权人：华中科技大学无锡研究院
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：原子层沉积设备。2.本外观设计产品的用途：用于对纳米粉末颗粒的表面进行原子层沉积，实现纳米粉末材料的修饰和改性。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
原子沉积设备

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