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[发明专利]等离子体处理装置-CN202210794723.8在审
发明人：大木敬介;长田厚 -专利权人：北京芯士联半导体科技有限公司
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种能够以简单的结构防止设置面积大型化、且等离子体密度高、等离子体的均匀性良好的等离子体处理装置。等离子体处理装置（10）包括：等离子体处理室（12）；圆筒状的电感室（14），其与等离子体处理室（12）邻接设置；多个线圈（26A、26B、26C），其沿着电感室（14）的长度方向邻接配置，并生成高频感应电场；罩部件（22），其设置在电感室（14）的径向外侧；以及保持部件（24），其配置在罩部件的内周面与电感室的外周面之间，且与罩部件的内周面接触，保持多个所述线圈，各线圈的一端与高频电源（32）相连接另一端为自由端，各线圈的长度方向的中央位置是接地端，各线圈由保持部件保持，从而线圈沿着长度方向及径向被同时定位。
等离子体处理装置

[发明专利]半导体晶圆输送用机械手-CN201010143344.X有效
发明人：小林敏夫;长田厚;秋山收司 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2010-03-19 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： B25J9/08 文献下载
摘要：提供半导体晶圆输送用机械手，能进行晶圆的凹槽的对位且即使在输送直径不同的晶圆时也能够相对于晶圆处理装置进行晶圆的中心位置的对位。该半导体晶圆输送用机械手从容器取出晶圆并输送到处理晶圆的处理装置，具有：机械手部件本体；能相对于机械手部件本体移动的机械手部件；能相对于机械手部件移动的保持部件；与晶圆接触的第一旋转部件；与第一旋转部件一起使晶圆旋转的第二旋转部件；使第一旋转部件和第二旋转部件沿着彼此离开或彼此接近的方向移动相同距离的移动机构；以及检测晶圆的凹槽的凹槽检测机构。
半导体输送机械手

[发明专利]薄板保持容器以及薄板保持容器用处理装置-CN200680032623.0有效
发明人：兵部行远;长田厚 -专利权人：未来儿株式会社
申请日： 2006-09-20 - 公布日： 2008-09-03 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种薄板保持容器，可以灵活支承任意数量的半导体晶片的上下任何一侧，用于在搬运、保管、处理等时保持多个半导体晶片。该薄板保持容器包括：多个处理托盘，以个别保持至少一片半导体晶片的状态被层积；以及结合机构，在该多个处理托盘被层积的状态下，将这些处理托盘结合成一体，同时在任意位置进行分离。处理托盘在其一个侧面具有保持至少一片半导体晶片的一侧固定保持部，同时在另一侧面具有另一侧固定保持部，该另一侧固定保持部通过与另一处理托盘的上述一侧固定保持部相互嵌合，形成与外部环境隔开并用于固定保持上述薄板的收纳空间。从而，构成了层积有数量对应于半导体晶片数量的处理托盘的薄板保持容器。
薄板保持容器以及用处装置

[发明专利]玻璃基板容纳箱、玻璃基板调换装置、玻璃基板管理装置、玻璃基板流通方法、密封部件及使用该密封部件的密封构造-CN200580022343.7无效
发明人：梅田俊哉;长田厚;川岛英显;吉田勉 -专利权人：日本华而卡工业株式会社;伯东株式会社;维恩斯株式会社
申请日： 2005-09-09 - 公布日： 2007-06-13 - 主分类号： B65D85/86 文献下载
摘要：提供一种可防止玻璃基板的质量恶化的玻璃基板容纳箱、可自动将玻璃基板从玻璃基板容纳箱调换到其他箱体中的玻璃基板调换装置、分别管理玻璃基板的玻璃基板管理装置、将玻璃基板容纳在专用的玻璃基板容纳箱中进行交换的玻璃基板流通方法、提高密封效果的密封部件、及使用了该密封部件的密封构造。所述玻璃基板容纳箱具有：放置中间掩模R的底部件12；盖部件20，以覆盖放置在底部件12上的中间掩模R的方式与底部件12配合，在其与底部件12之间形成空间部；密封部件18，设置在底部件12或/及盖部件20上，在盖部件20与底部件12配合的状态下使空间部气密；和挂钩部件24，设置在盖部件20上，与底部件12勾挂，维持盖部件20与底部件12配合的状态。
玻璃容纳调换装置管理流通方法密封部件使用构造