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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种用于UV擦除设备的晶圆承载装置-CN202021828425.9有效
发明人：吴俊;钟梓樑 -专利权人：珠海市中芯集成电路有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： G01R31/311 文献下载
摘要：本实用新型涉及芯片测试设备技术领域，尤其涉及一种用于UV擦除设备的晶圆承载装置，本实用新型的晶圆承载装置安装在UV擦除设备的工作台上，主体上设置有同心的三个承载槽，该三个承载槽的槽深和大小不一，能够适用于不同规格的晶圆，如6寸、8寸、12寸等，使得UV擦除设备能够对不同规格型号的晶圆进行擦除操作，提升该设备的适用性，并且主体上还设置有可移动的承载板，在使用时可以将承载板从主体内伸出，进而能够同时对放置在承载槽和承载板上的两片晶圆进行擦除操作，提高生产测试效率，在不使用时可以将承载板收纳于主体内，不占用空间，避免与UV擦除设备的其他移动部件发生干涉。
一种用于 uv 擦除设备承载装置

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