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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于处理基板的装置和用于处理基板的方法-CN202111628174.9在审
  • 金周援;徐准浩;朴崠云;尹相弼 - 细美事有限公司
  • 2021-12-28 - 2022-07-01 - H01L21/67
  • 本发明构思提供了一种基板处理装置。根据本发明构思，基板处理装置通过在旋转基板上供应处理液来处理所述基板。排出内部空间的气氛的排气单元包括：引入所述内部空间的气氛的第一排气口；设置为在第一方向上排出通过所述第一排气口引入的气氛的第一排气管线以及引入所述内部空间的气氛的第二排气口；以及设置为在第二方向上排出通过所述第二排气口引入的气氛的第二排气管线。控制器控制支撑单元使得所述第一排气管线和所述第二排气管线内部的排气方向成为相对于所述基板的旋转方向的正向方向。
  • 用于处理装置方法
  • [发明专利]用于处理基板的装置-CN202111651064.4在审
  • 金周援;柳杨烈;安熙满;徐准浩;朴崠云;尹相弼 - 细美事有限公司
  • 2021-12-30 - 2022-07-01 - H01L21/67
  • 提供了一种用于处理基板的装置。该装置包括：第一处理单元，其被配置为具有第一处理容器和第一支承单元并被配置为处理基板；第二处理单元，其被配置为具有第二处理容器和第二支承单元并被配置为处理基板；和排放单元，其被配置为将第一处理容器的第一内部空间和第二处理容器的第二内部空间进行排放，其中第一处理单元和第二处理单元布置成一行，其中排放单元包括集成管道、第一排放管和第二排放管，其中集成管道包括被配置为分隔集成管道中的排放路径的第一壁构件，第一壁构件在第一位置与第二位置之间起始并沿着排放路径的排放方向延伸，并且其中第一壁构件分隔设置为与第一排放管流通的第一排放路径和设置为与第二排放管流通的第二排放路径。
  • 用于处理装置
  •  1 
  • 共 5 条
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