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[发明专利]金属配线修复方法-CN201680070902.X有效
发明人：金贤泰;朴勋;金仙株;朴在雄 -专利权人：株式会社考恩斯特
申请日： 2016-03-28 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明是涉及一种金属配线修复方法，使短路的金属配线具有均匀和优秀的电性特性，其步骤包括：第一步骤，将损伤的金属配线之间，由第一排出单元形成第一绝缘膜；第二步骤，在所述第一绝缘膜的上部形成由第二排出单元连接所述损伤的金属配线的修复金属层；第三步骤，由所述第一排出单元在所述修复金属层上部形成第二绝缘膜。
金属修复方法

[发明专利]低辐射玻璃退火装置-CN201880016398.4有效
发明人： 金仙株;河载均;朴在雄;卢俊亨 -专利权人：株式会社考恩斯特
申请日： 2018-09-06 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： C03C23/00 文献下载
摘要：本发明公开一种低辐射玻璃退火装置。该装置包括：输送装置，输送形成有镀膜的玻璃基板；激光模组，设置在所述输送装置的路径上的一个位置，向所述玻璃基板以与所述玻璃基板一定的角度照射激光束；及一对反射镜，向激光束照射方向在所述玻璃基板与激光束相遇的地点的前侧玻璃基板的上、下位置设置，使得激光束反射光或激光束透射光反射，并使得反射面相对地设置。根据本发明通过激光模组的玻璃基板加热，制造低辐射镀膜的同时抑制因热冲击的损伤，并提高能源效率。
辐射玻璃退火装置

[发明专利]添加旋转运动的喷墨喷嘴模块及包括其的基板的修复装置-CN202010930942.5在审
发明人：朴勋;朴在雄;徐辅仁;金仙株;卢俊亨;金甫谦 -专利权人：株式会社考恩斯特
申请日： 2020-09-07 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种添加旋转运动的喷墨喷嘴模块，其为在喷嘴向基板喷出油墨的喷墨喷嘴模块，上述喷墨喷嘴模块的特征在于，包括：XYZ载台，通过3轴运动移动到上述基板的上侧空间位置；旋转载台，与上述XYZ载台结合，改变相对于喷嘴尖端的Z轴位置；及喷嘴座，与上述旋转载台结合，供上述喷嘴安装和拆卸。
添加旋转运动喷墨喷嘴模块包括修复装置

[发明专利]利用激光的光刻胶图案修整方法-CN202080003351.1在审
发明人：朴在雄;朴勋;金甫谦;卢俊亨;全在赫;金仙株 -专利权人：株式会社考恩斯特
申请日： 2020-09-14 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用激光的光刻胶图案修整方法，包括：检查在工艺基板的加工对象物质层上形成的光刻胶图案而检测图案异常的步骤；限定于包括作为图案异常的光刻胶图案被破坏部分的部分，通过图案印刷来再形成光刻胶层的步骤；在所设计的图案以外的部分通过激光照射来去除光刻胶层的步骤；在光刻胶图案存在下实施蚀刻工艺等后续工艺的步骤。根据本发明，通过对在包括曝光和显影的光刻胶图案形成工艺中形成的光刻胶图案进行检查，在发生异常图案时，通过由限定于包括断线的图案异常部分的图案印刷的光刻胶层再形成及借助激光照射的加热、去除，在不进行另外的掩模曝光或显影工艺的情况下，形成光刻胶正常图案，从而能够低廉且简单地解决在光刻胶图案形成过程中的不良。
利用激光光刻图案修整方法

[发明专利]低辐射玻璃热处理方法以及系统-CN201710405277.6有效
发明人： 金仙株;金学范;吴庸寿;金贤泰;朴在雄 -专利权人：株式会社COWINDST
申请日： 2017-05-31 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： C03B32/00 文献下载
摘要：本发明公开了低辐射玻璃热处理方法以及系统。低辐射玻璃热处理方法包括如下的步骤：将在一面形成有金属膜的玻璃板装载于传送装置的一侧；在从传送装置的一侧向另一侧的传送方向的第一区域中使用第一温度的微波首次选择性热处理金属膜至固定深度以下；在使用微波热处理的步骤之前或者之后，在传送方向的第二区域中用第二温度的激光束选择性热处理金属膜，其中该第二区域位于第一区域的前端或者后端。
辐射玻璃热处理方法以及系统

[发明专利]激光退火装置-CN201880095618.7在审
发明人： 金仙株;河载均;苏裕真 -专利权人：株式会社考恩斯特
申请日： 2018-09-06 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种激光退火装置，其包括：激光光源，其放射激光；激光整形部，其接收从所述激光光源放射的激光，并以既定的大小及形态的线光束整形；成像光学系统，其使整形的激光通过后集束，并向退火对象物基板照射；基台，其装载所述基板并使其与基板面平行地在平面上移动，并且，还包括激光补正部，其检查从所述激光光源放射的激光到达至所述基板的激光状态及路径，并根据检查结果补正激光的状态及路径。根据本发明能够补正在激光光源及路径上的光学要素的不稳定性引起的激光的路径或状态的变化，从而，能够准确地在基台上的基板的准确位置进行为激光退火的光照射。
激光退火装置

[发明专利]使用导电性油墨的显示器修理装置及方法-CN201580045984.8有效
发明人： 金仙株;李胜照;金贤泰 -专利权人：苏州科韵激光科技有限公司
申请日： 2015-03-25 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： B05B5/00 文献下载
摘要：本发明涉及使用导电性油墨的显示器修理装置及方法。本发明中的使用导电性油墨的显示器修理装置，包括：一压力控制部，其对储存导电性油墨的油墨储存部施加压力，提供所述导电性油墨；一喷嘴，其排出所述导电性油墨；一操作台，其设置有将所述排出的导电性油墨涂布在其上的衬底；及一电压控制部，其向所述喷嘴施加直流电压(DC Voltage)，将导电性油墨以线状(line type)涂布在所述衬底上，再向所述喷嘴施加脉冲电压(Pulse Voltage)，将所述导电性油墨，以滴状(drop type)涂布在经过所述线状涂布的导电性油墨上。
使用导电性油墨显示器修理装置方法

[发明专利]像素重新生成设备和使用该设备的像素重新生成方法-CN201210149047.5有效
发明人： 金仙株;李浚政;元载雄;柳旲坤;韩己善;宋宙延;沁明星;李真远;李天载;李孝成;朴愿绪 -专利权人：株式会社COWINDST
申请日： 2012-05-14 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种像素重新生成设备和使用该设备的像素重新生成方法。根据本发明的重新生成有机发光二极管的像素的方法，包括：第一步，将包括第一电极和第二电极的有机发光二极管排列在平台上，第一电极和第二电极形成于基板上，以将有机发光层置于其间，并彼此交叉；和第二步，通过使用像素重新生成设备将激光照射到第一电极和第二电极之间的有机发光层中存在的导电粒子的区域。本发明的优势在于由于导电粒子造成的AMOLED的像素的缺陷区域可通过将激光照射到该区域上而被重新生成，从而能够保证产品的可靠性，并提高生产量。
像素重新生成设备使用方法