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- [发明专利]用于电子器件探针头的接触探针及相应的探针头-CN202180082978.5在审
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里卡尔多·维托里
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泰克诺探头公司
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2021-12-09
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2023-08-22
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G01R1/073
- 本发明公开了一种接触探针(20)，该接触探针具有第一端部(20A)和第二端部(20B)以及在第一端部(20A)和第二端部(20B)之间按照纵向发展轴(HH)延伸的探针主体(20C)，该第一端部的末端为适于紧贴在被测器件的接触垫上的接触尖端(20F)，该第二端部的末端为适于紧贴在测试设备的电路板的接触垫上的接触头(20E)，其特征在于，该接触探针包括弹性挡件(21)，该弹性挡件设置在探针主体(20G)的与第二端部(20B)相接布置的弹性部分中，所述弹性挡件(21)可在第一工作状态和第二工作状态之间弹性地变形，在第一工作状态下，该弹性挡件的横向直径(DG)大于探针主体(20C)的横向直径(DC)，在第二工作状态下，该弹性挡件的横向直径(DG')基本上与探针主体(20C)的横向直径(DC)相对应，术语横向直径是指根据与所述纵向发展轴(HH)正交的平面截取的截面最大横向尺寸，该截面甚至不是圆形的。
- 用于电子器件探针接触相应
- [发明专利]悬臂探针头和相应的接触探针-CN201980008173.9有效
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里卡尔多·维托里
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泰克诺探头公司
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2019-01-14
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2023-07-14
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G01R1/067
- 描述了一种悬臂探针头(30)，其包括与PCB板(33)相关联的支撑环(32)和以悬臂方式从支撑环(32)突出并且由与该支撑环(32)相关联的支撑件(34)保持的多个接触探针(31)，每个接触探针(31)具有棒状体和至少一个第一端部(31a)，该棒状体具有相对于相应于用悬臂探针头(30)测试的器件(35)的晶圆平面的参考平面(π)倾斜的纵向轴线(HH)，该第一端部(31a)设置在第一探针部(31b)中，第一探针部(31b)在被测器件(35)的晶圆的方向上从支撑件(34)突出，该第一端部(31a)相对于起始于弯曲点(PG1)并终止于适于抵靠在晶圆的被测器件(35)的接触垫(35A)上的接触探针(31)的接触尖端(36A)的纵向轴线(HH)弯曲，适当地，每个接触探针(31)还包括设置在第二探针部(31d)中的第二端部(31c)，该第二探针部(31d)在相对于第一探针部(31b)相反的方向上从支撑件(34)向PCB板(33)突出，第二端部(31c)相对于起始于另外的弯曲点(PG2)并终止于另外的适于抵靠在PCB板(33)的接触垫(33A)上的接触探针(31)的接触端(36B)的纵向轴线(HH)弯曲。
- 悬臂探针相应接触
- [发明专利]用于电子器件探针头的接触探针-CN202180058070.0在审
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里卡尔多·维托里
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泰克诺探头公司
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2021-08-03
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2023-05-16
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G01R1/073
- 本发明描述了一种接触探针(20)。该接触探针具有第一端部(20A)、第二端部(20B)以及杆状探针主体(20C)。该第一端部适于抵接被测器件的接触垫。该第二端部适于抵接测试装置的PCB板的接触垫。该探针主体在所述端部(20A，20B)之间沿纵向展开方向(z)延伸并设有至少一个开口(22)。该开口沿所述纵向展开方向(z)延伸并在所述探针主体(20C)中限定出至少一对臂(21a，21b)。适当地，所述至少一对臂中的每个臂(21a，21b)具有非恒定横向截面，该非恒定横向截面垂直于所述纵向展开方向(z)，沿着所述探针主体(20C)在不同点(A，B，C)具有不同的面积，以确保在通过接触探针(20)对被测器件进行测试操作期间，应力在探针主体(20C)弯曲过程中沿着探针主体分布。
- 用于电子器件探针接触
- [发明专利]用于测试包含集成光学元件的电子器件的探针头-CN202180052404.3在审
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里卡尔多·维托里;罗伯特·克里帕
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泰克诺探头公司
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2021-08-23
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2023-05-16
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G01R31/311
- 一种用于电子器件测试装置的探针头(10)，包括：多个接触探针(11)，适于电接触及机械接触被测器件(13)的接触垫(12a)；至少一个导引件(20)，设有多个导引孔(20h)，用于滑动地容纳所述接触探针(11)；容纳元件(40)，适于支撑所述导引件(20)并容纳至少一部分所述接触探针(11)，其中所述容纳元件(40)包括第一部分(40a)和第二部分(40b)，所述第二部分相对于所述第一部分(40a)能够移动；移动装置(60)，配置为相对于所述第一部分(40a)移动所述容纳元件(40)的第二部分(40b)；以及至少一个测试光信号分配元件(50)，配置为将测试光信号传输到所述被测器件(13)。适当地，所述测试光信号分配元件(50)与所述容纳元件(40)的第二部分(40b)相关联，并布置成通过所述移动装置(60)与所述第二部分一体地移动，所述移动装置(60)配置为允许所述测试光信号分配元件(50)对准。
- 用于测试包含集成光学元件电子器件探针
- [发明专利]用于高频应用的改进的探针卡-CN201880011989.2有效
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里卡尔多·维托里;斯太法罗·费利奇
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泰克诺探头公司
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2018-02-13
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2021-11-12
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G01R1/073
- 本发明提供了一种用于电子器件的测试装置的探针卡(20)，包括：测试头(21)，容纳有沿纵轴轴线(H‑H)在第一端部(24A)和第二端部(24B)之间延伸的多个接触元件(22)；支撑板(23)，第一端部(24A)适于抵靠在支撑板(23)上；以及柔性膜(25)，包括第一面(F1)和相对的第二面(F2)。便利地，柔性膜(25)的第一部分(25A)设置在至少一个支撑件(28)上并且包括在近端(27A)和远端(27B)之间延伸的多个带(27)，探针卡(20)还包括多个微接触探针(30)，这些微接触探针(30)包括沿纵轴轴线(H‑H)在第一端部(30A)和第二端部(30B)之间延伸的主体(30C)，每个接触元件(22)的第二端部(24B)在对应的带(27)的远端(27B)处抵靠在柔性膜(25)的第一面(F1)上，并且每个微接触探针(30)的第一端部(30A)在对应的接触元件(22)处抵靠在柔性膜(25)的第二面(F2)上，柔性膜(25)通过其第二部分(25B)电连接至支撑板(23)，微接触探针(30)的第二端部(30B)适于与待测器件的接触垫(32)接触，其中至少一个支撑件(28)包括用于容纳多个微接触探针(30)的多个导引孔(28h)。
- 用于高频应用改进探针
- [发明专利]用于高频应用的探针卡-CN201980045092.6在审
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里卡尔多·维托里
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泰克诺探头公司
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2019-07-02
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2021-02-19
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G01R1/073
- 描述了一种用于电子器件的测试装置的探针卡，包括至少一个支撑板(33)、以及柔性膜(32)和与该柔性膜的第一面(F1)相关联的多个接触探针(35)，所述多个接触探针(35)易于抵接在集成在半导体晶片(34)上的被测器件(34')的多个接触垫(34A)上并且易于携带高频信号，探针卡包括至少一个滑动接触接触区域(36)，该滑动接触区域包括形成在支撑板(33)上的第一接触垫(36A)、在柔性膜(32)的外围部分(32C)处形成在柔性膜(32)上的易于在滑动接触区域(36)处按压接触在支撑板(33)上的第二接触垫(36B)、以及在滑动接触区域(36)处按压接触在柔性膜(32)的外围部分(32C)上的至少一个按压元件(37)，以将第二接触垫(36B)按压接触在第一接触垫(36A)上来在柔性膜(32)和支撑板(33)之间提供电接触和机械接触。
- 用于高频应用探针
- [发明专利]高频高性能探针卡-CN201980032464.1在审
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里卡尔多·维托里
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泰克诺探头公司
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2019-05-14
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2020-12-22
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G01R1/073
- 一种用于电子器件的测试设备的探针卡，包括：支撑板(23)；适于在被测器件和支撑板(23)之间传送高频信号的柔性膜(24)，所述柔性膜(24)通过外围区域(24b)连接至支撑板(23)；布置在支撑板(23)和柔性膜(24)之间并适于缓冲对被测器件的抵靠的阻尼结构(21)；以及包括在第一端(26a)和第二端(26b)之间延伸的主体(26')的多个微接触探针(26)，所述第二端(26b)适于抵靠在被测器件的接触垫(27)上，其中，阻尼结构(21)和微接触探针(26)的第一端(26a)与柔性膜(24)的同一接触区域(24a)的相反两面(Fa，Fb)接触。适当地，柔性膜(24)包括至少一个弱化区域(24c)，其布置在接触区域(24a)和外围区域(24b)之间并与之相邻，所述弱化区域(24c)包括至少一个弱化元件(28)，其适于机械地弱化柔性膜(24)并局部增强其可变形性。
- 高频性能探针
- [发明专利]悬臂接触探针及相应的探针头-CN201980008644.6在审
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里卡尔多·维托里
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泰克诺探头公司
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2019-01-16
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2020-08-28
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G01R1/067
- 描述了一种悬臂接触探针(31)，包括包含在下倾的探针部(31b)和上倾的探针部(31c)之间的探针体(40)，当接触探针被安装在悬臂探针头(30)上时，该下倾的探针部(31b)沿着预先设定的纵向轴线(HH)延伸，该纵向轴线相对于参考平面(π)倾斜，该参考平面对应于被测器件(35)的晶圆的平面，该悬臂接触探针(31)还包括：形成在下倾的探针部(31b)中的至少一个端部(31a)，其相对于起始于弯曲点(PG1)并终止于适于抵靠在晶圆的被测器件(35)的接触垫(35A)上的悬臂接触探针(31)的接触尖端(36A)的纵向轴线(HH)弯曲，合适地，该探针体(40)被合适地构造成形并且包括至少一个基部(40a)，其设置有上部(40d)，该上部从基部(40a)开始，沿成形体(40)的纵向延伸轴线(AA)延伸，纵向延伸轴线(AA)正交于参考平面(π)和顶部(40e)，该顶部连接至上部(40d)并具有比上部(40d)的直径(D1)更大的直径(D2)，这些上部和顶部(40d，40e)基本上构造成T形，上部(40d)是T形的竖杆，而顶部(40e)是T形的横档。
- 悬臂接触探针相应
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