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[发明专利]一种在AlN陶瓷基体表面多弧离子镀钛膜的方法-CN202011188809.3在审
发明人：何霞文;李杨;张尚洲;叶倩文;毕永洁;王政伟;李永康;邵明昊;郭恒蛟 -专利权人：东莞市烽元科技有限公司;烟台大学
申请日： 2020-10-30 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种在AlN陶瓷表面多弧离子镀沉积钛膜的方法，该方法通过调节工作气体压强、温度、时间、功率等工艺条件，在AlN上沉积钛膜层。使用本方法制得具有良好的膜基结合力，导电性，和耐磨性的金属膜层，该膜层结构均匀致密，与基材的结合强度高，硬度高，同时膜层具有良好的电学性能可以为AlN表面改性提供重要的参考依据。
一种 aln 陶瓷基体表面离子镀方法

[发明专利]离子渗氮磁场辅助设备、处理系统及方法-CN202110874697.5在审
发明人：李杨;何永勇;邵明昊;张哲浩;王政伟;高雪鹏;卢金鹏;郭恒蛟;董永康;赵亚晴 -专利权人：烟台大学
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： C23C8/36 文献下载
摘要：本公开提出了一种离子渗氮磁场辅助设备、处理系统及方法，设备包括：绝缘壳体，适于放置于离子渗氮炉内，绝缘壳体为密闭壳体，用于屏蔽离子渗氮炉内的高压电场；和多个绕线方式相同且沿绝缘壳体的周向均布于绝缘壳体内的电磁铁组，各电磁铁组包括若干电磁铁，且相邻的两个电磁铁的绕线方式相反，通过多个电磁铁组在离子渗氮炉内形成可控的磁场，以改变金属工件表面电子的运动轨迹和金属工件的磁畴。系统包括：离子渗氮炉、离子渗氮磁场辅助设备、变压器、真空泵、供气瓶和电气控制柜。方法包括向炉体内通入含有氮元素的气体，并向金属工件提供间断的磁场。本公开可提高离子渗氮炉内的离子体密度，有效增加渗氮层厚度，以此提高渗氮质量。
离子磁场辅助设备处理系统方法