专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]晶圆载具-CN201080048140.6无效
  • 林钟显;郑领哲;刘泳钟;金永均;崔铉喆 - EMP有限公司
  • 2010-08-26 - 2012-07-18 - H01L21/673
  • 本发明涉及一种晶圆载具,包括:一对侧板,所述一对侧板具有在其顶端形成的吊孔和插入孔;侧支撑杆,所述侧支撑杆固定在所述侧板的两侧,以使侧板相隔预定的距离,并且具有在内侧沿着长度方向由固定突出部形成的插槽;底部支撑杆,所述底部支撑杆固定在所述侧板的底部,以使侧板相隔预定的距离,并且具有在顶部沿着长度方向由固定突出部形成的插槽;及屏蔽杆,所述屏蔽杆可拆卸地插入所述插入孔中,并且具有在所述屏蔽杆的底部沿着长度方向由固定突出部形成的插槽;其中,形成所述插槽,以使所述插槽的中部低于在所述插槽的底表面的宽度方向上的两端。
  • 晶圆载具
  • [发明专利]基底处理装置-CN200610002822.9有效
  • 安基喆;郑领哲;河泰荣;张祯元;卢一镐;李承培 - 细美事有限公司
  • 2006-02-06 - 2006-10-04 - H01L21/677
  • 一种在用于有机发光二极管的基底上形成薄层的基底处理装置,该装置包括掩模安装室、沉积室和掩模拆卸室。所述掩模安装室、沉积室和掩模拆卸室的内部安装有传送导轨,而且,用于支撑基底的基底支架沿着传送导轨在这些室内或这些室之间移动。因此,缩短了用于处理基底的时间,并减小了上述装置所占的面积。另外,将上述这些室分成一个或多个组,并在分组的室之间安装闸门阀,以用于打开和关闭分组的室之间的通道。因此,在维修任意室时,其它室可以继续维持为真空状态。
  • 基底处理装置

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