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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种高密度清洗设备-CN202211139683.X在审
发明人： 邵良武;张福刚;张勋泽;凌龙兴;杨昊;王召波 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;武汉京东方光电科技有限公司
申请日： 2022-09-19 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种高密度清洗设备，该设备中设置有用于传送基板的清洗通道；清洗通道沿传送方向包括依次连接的液洗段和干燥段；在液洗段设置有液洗组件，在干燥段设置有干燥组件和导流组件；干燥组件被配置为，输出用于干燥基板的第一气流；第一气流的输出方向与基板的传送平面之间呈第一夹角，第一夹角为锐角；第一气流在基板上形成干燥作用区，以干燥液洗组件在基板表面产生的液体；导流组件被配置为，输出用于引导第一气流方向的第二气流；第二气流与第一气流相交，以增加干燥作用区的宽度和/或干燥作用区气流对基板表面液体的剪切应力。本发明的高密度清洗设备能够增强对基板表面的干燥效率，降低了Open类不良的发生率。
一种高密度清洗设备

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共 1 条

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