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- [发明专利]基板搬出方法-CN201880032386.0有效
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远藤朋也
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东京毅力科创株式会社
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2018-05-01
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2023-10-27
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H01L21/677
- 基板搬出方法包括以下工序：第一移动工序，在向搬送机构发出开始搬出被载置于载置台的基板的指令从而搬送机构向载置台移动的期间，在基板被从载置台突出的销抬起的状态下，使摄像机移动至应存在基板的周缘部的规定区域的上方；第一摄像工序，使在第一移动工序中进行了移动的摄像机拍摄应存在基板的周缘部的规定区域；以及第一检测工序，基于在第一摄像工序中由摄像机拍摄到的图像来检测被销抬起的基板的位置偏离以及/或者倾斜。
- 搬出方法
- [发明专利]检查装置和检查装置的清洁化方法-CN201910625558.1有效
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远藤朋也;小西显太朗
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东京毅力科创株式会社
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2019-07-11
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2022-10-04
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G01R31/26
- 本发明提供一种检查装置和检查装置的清洁化方法。在不使检查装置大型化的情况下提高其清洁度。一种进行被检査体的检查的检查装置，具备：检查部，其对所述被检査体进行电气特性的检查；气流源，其设置于所述检查部的内部，用于产生冷却该检查部的内部的气流；对位部，其载置所述被检査体，进行所载置的该被检査体与所述检查部之间的对位；壳体，其将所述检查部和所述对位部收容于同一空间内；以及循环机构，其利用所述气流源使气体在所述空间内的所述对位部所位于的区域与所述检查部的内部之间循环，并且该循环机构具有：冷却部，其冷却循环着的气体；以及异物去除部，其自所述循环着的气体去除异物。
- 检查装置清洁方法
- [发明专利]载置台装置和探针装置-CN201680055595.8有效
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远藤朋也
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东京毅力科创株式会社
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2016-08-05
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2022-04-08
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H01L21/68
- 载置台装置(11)的驱动部(33)具有：俯视时为矩形的箱体(35)；基台(37)；一对X轴直线电动机(39、39)；和一对Y轴直线电动机(41、41)。X轴定子分别配置于箱体(35)的彼此相对的2个X轴方向侧壁(43)，将各X轴动子向X轴定子侧(Y轴方向)吸引的磁引力在一对X轴直线电动机(39)之间相互抵消。Y轴定子分别配置在彼此相对的2个Y轴壁体(37b)的内侧，将各Y轴动子向Y轴定子侧(X轴方向)吸引的磁引力在一对Y轴直线电动机(41)之间相互抵消。
- 载置台装置探针
- [发明专利]检查装置以及检查装置的控制方法-CN202110320970.X在审
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远藤朋也
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东京毅力科创株式会社
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2021-03-25
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2021-10-26
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G01R31/26
- 本发明提供一种提高使载置于对准器之上的晶圆向接触探针卡的探针的位置移动时的位置精度的检查装置。其执行包括如下工序的处理:通过对准载物台侧的第一坐标取得部,取得探针卡的卡重心坐标；通过第一坐标取得部取得设于弹簧框架的基准目标的目标坐标系中的基准目标坐标；取得弹簧框架侧的第二取得部与第一取得部的对准坐标；通过第二取得部取得晶圆重心坐标；通过包括基于卡重心坐标、对准坐标和晶圆重心坐标求得的接触坐标的指令使对准器移动,从而通过第一取得部取得第一坐标取得部实际接触坐标；以及基于以基准目标坐标为基准计算的第一坐标取得部目标接触坐标与第一坐标取得部实际接触坐标的位置偏移对对准器的位置进行校正。
- 检查装置以及控制方法
- [发明专利]探测器装置-CN200910180185.8有效
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山田浩史;矢野和哉;远藤朋也;山县一美;中矢哲
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东京毅力科创株式会社
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2009-11-16
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2010-07-07
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G01R31/28
- 本发明提供一种探测器装置。该探测器装置在载置台上载置基板，使探测卡的探针与基板的电极焊盘接触而测定芯片的电特性，其中，通过削减在进行上述拍摄之前实施的拍摄作业所需的区域而使整个装置小型化。该探测器装置包括：下侧摄像部，设置在晶圆卡盘的侧部；上侧摄像部，用于拍摄探测卡时在与载物单元的移动区域重合的位置拍摄晶圆卡盘上的晶圆；移动机构，用于使上侧摄像部在拍摄晶圆时的位置、与盖板中的形成在载物单元的移动区域的上方侧且脱离探测卡的位置的退避区域、即凹部之间移动；自壳体的X-Y平面上去除上侧摄像部的退避区域而减小壳体，使探测器装置小型化。
- 探测器装置
- [发明专利]探测装置-CN200910169081.7有效
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远藤朋也;山田浩史;山县一美
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东京毅力科创株式会社
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2009-09-21
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2010-03-31
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G01R31/26
- 本发明提供探测装置，目的在于，在使检测头从上侧与探测卡接触、使探测卡的探测器与基板的电极垫电接触而测定该基板的电气特性时，高尺寸精度使检测头下降，使检测器与探测卡可靠地电接触，此外达到探测装置的小型化。该探测装置中，在保持检测头的保持部设置有对该检测头向上侧施力的气体弹簧，在探测卡的上方，在检测头成为水平的水平位置，凸轮随动件沿锥状的边沿部相对上升，从而使检测头下降，其中，边沿部在检测头的下表面的针的侧周面，在周方向上形成于多个位置，凸轮随动件在顶板上设置为围绕铅直轴自由旋转的滑动环的内周侧，在周方向上设置在多个位置。
- 探测装置
- [发明专利]被检查体的交接机构-CN200910151871.2无效
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赤池由多加;山田浩史;远藤朋也
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东京毅力科创株式会社
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2009-07-01
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2010-01-06
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G01R1/06
- 本发明提供了不会产生电噪声和热斑的能够高精度地进行高可靠性的检查的被检查体的交接机构。本发明的交接机构(10)构成为具备相互隔开规定的间隔横切载置台(20)(载置体22)地配置的两根具有绝缘性和耐热性的线材(11)、将上述线材(11)分别相对于载置体(22)的载置面平行地拉伸设置并且在载置体(22)的水平方向外侧分别配置的两对支承体(12)、收纳由上述支承体(12)分别拉伸设置的各线材(11)地在载置体(22)的载置面分别形成的两个槽(13)、使各线材(11)在载置体(22)的上方和各槽(13)之间升降的升降驱动机构(23)，经由两根线材(11)在晶片搬运机构(40)和载置体(22)之间交接半导体晶片W。
- 检查交接机构
- [发明专利]探针装置和接触位置的修正方法-CN200910140798.9有效
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山田浩史;远藤朋也;小泉慎也
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东京毅力科创株式会社
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2009-05-15
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2009-11-18
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G01R1/073
- 本发明提供一种即使在检查时界面部分出现变形也能够将载置台的现在的过驱动量修正为本来需要的规定的过驱动量的探针装置。本发明的探针装置(10)包括载置台(11)、探测卡(13)、头板(15)以及控制装置(16)，该装置在测试头(18)与探测卡(13)电连接的状态下，使载置台(11)过驱动并使半导体晶片(W)和多个探测卡(13A)电接触，进行电特性检查。在测试头(18)上设置测定载置台(11)的现在的过驱动量的距离测定器(19)，控制装置(16)对由距离测定器(19)测定的现在的过驱动量和预先设定的规定的过驱动量进行比较，基于该比较结果将现在的过驱动量修正为规定的过驱动量。
- 探针装置接触位置修正方法
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