专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]晶圆的外置夹持对中翻转机构-CN202321583510.7有效
  • 旷贤国;李佳晖;许祐诚 - 无锡芯运智能科技有限公司
  • 2023-06-21 - 2023-09-08 - H01L21/68
  • 本实用新型涉及晶圆加工制造技术领域,尤其是一种晶圆的外置夹持对中翻转机构,其包括支撑架,支撑架的中部设有翻转件,翻转件的中间开设有通孔,翻转件上通孔外侧依次设有支承组件和对中组件,对中组件具有相对设置的一组夹持块,夹持块的顶部设有呈弧形分布的夹持件,任一夹持块的侧壁通过连接杆连接有第一光电传感器,支撑架上对应通孔中间位置的顶部和底部相对设置有一组对射光电传感器,支撑架顶部并排安装有两个接近开关,靠近翻转件一端的支撑架上连接有限位块,限位块的两端各设有一第二光电传感器。本实用新型结构简单,体积小,易安装,能适应多种工况;在安装、调试及动作时更快捷、高效,稳定性高,对中效果好,自动化程度高。
  • 外置夹持翻转机构

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