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[发明专利]半导体工艺中的智能图像跟踪系统-CN201980069006.5在审
发明人：裵允晟;裵坰洙;洪光珍;李秀昌;金珉成;李昌雨 -专利权人：无尽电子有限公司;格林资讯及通信有限公司
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： G06T7/246 文献下载
摘要：本发明涉及一种半导体工艺中的智能图像跟踪系统。本发明包括：图像捕获单元，其包括布置在半导体装置的多个点处的相机，以捕获由半导体装置执行的对对象进行的处理过程；装置控制器，其被配置为控制半导体装置的操作并发送作为用于识别对象的信息的对象识别信息、对象的映射到时间信息的位置信息、以及指示半导体装置的当前操作状态的操作状态信息；以及网络图像记录设备，其被配置为执行控制以将相机识别信息添加到从图像捕获单元接收到的图像信息中并将添加有相机识别信息的图像信息存储在图像数据库中，并且被配置为执行控制以将从装置控制器接收到的包括对象识别信息、对象的映射到时间信息的位置信息以及操作状态信息的跟踪信息存储到跟踪数据库中，相机识别信息用于识别捕获图像信息的相机。本发明可以为用户提供支持，使得用户能够跟踪从作为半导体工艺的处理对象的晶片、批量等投入到子装置中直到完成半导体工艺为止的整个过程。
半导体工艺中的智能图像跟踪系统

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