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[发明专利]消色差光栅波导、近眼显示设备和近眼显示系统-CN202310432789.7在审
发明人： 蔡茂琦;李恒博;刘颖;洪义麟 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G02B6/124 文献下载
摘要：本公开提供了一种消色差光栅波导、近眼显示设备和近眼显示系统。消色差光栅波导包括：光波导；以及耦入光栅，设置在光波导上，适用于接收信号光，其中，信号光为外部光源单元发出的具有不同颜色的单色光，耦入光栅包括三个叠设的子光栅，子光栅适用于分别调制红光、绿光和蓝光、并将调制后的红光、绿光和蓝光耦入光波导；其中，经耦入光栅调制后的红光、绿光和蓝光的衍射角相同，且具有相同或相近的衍射效率，以消除信号光耦入光波导的色差。
色差光栅波导显示设备系统

[发明专利]一种基于纳米环形阵列的近红外带通滤波器及制备方法-CN202110654487.5在审
发明人： 蔡茂琦;邱克强;刘正坤;徐向东;洪义麟;付绍军 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于纳米环形阵列的近红外带通滤波器，由基底和具有环形槽结构的Au膜构成，Au膜附着于基底表面之上；基底厚度为1mm，材料为熔石英，折射率为1.548@1.5um；Au膜表面通过工艺制备纳米环形阵列，Au膜厚度为100nm，折射率为0.18+i10.0@1.5um，Au膜表面粗糙度RMS小于2nm；纳米环形阵列的结构参数包括阵列周期P、外环半径R、环宽度W和环深度H，取值范围分别是P为550nm‑900nm、R为150nm‑250nm，W为80nm‑100nm，H为60nm‑150nm。本发明具有大尺寸兼容(优于100mm×100mm)、均匀性好、可重复、制作效率高和低成本的优势。
一种基于纳米环形阵列红外带通滤波器制备方法

[发明专利]基于离子轰击技术的亚波长表面纳米结构及其制备方法-CN202010063145.1在审
发明人：刘颖;杨高元;蔡茂琦;洪义麟 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2020-01-19 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：一种基于离子轰击技术的亚波长表面纳米结构及其制备方法，该制备方法包括：在一基底上涂覆光刻胶，经固化得到光刻胶薄膜样品；对所述光刻胶薄膜样品进行离子束轰击，在光刻胶表面形成亚波长纳米结构；刻蚀去除所述亚波长纳米结构底层的剩余光刻胶，将所述光刻胶薄膜样品刻蚀至基底，得到具有亚波长纳米结构的光刻胶掩模；将所述光刻胶掩模的亚波长纳米结构转移到基底上，去除图形转移后的剩余光刻胶掩模，得到基底上的亚波长表面纳米结构。本发明利用离子轰击技术在固体表面诱导产生自组织纳米结构的原理并结合掩模刻蚀方法，可在多种材料表面制备亚波长表面纳米结构，具有特征尺寸小、工艺简单、加工效率高的优势。
基于离子轰击技术波长表面纳米结构及其制备方法