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[发明专利]载物台移动结构、载物台装置以及真空设备-CN202110041148.X有效
发明人：刘伟基;蒋毅;范奕生;冀鸣;赵刚;易洪波 -专利权人：佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-01-13 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种载物台移动结构、载物台装置以及真空设备，载物台移动结构包括：置于真空腔室内部的机械臂结构，所述机械臂结构的一端安装在密封设计的安装座上；所述安装座设于所述真空腔室的一个面板上，所述安装座通过外置的驱动装置驱动所述机械臂结构转动；所述载物台设于所述机械臂结构的另外一端上，通过所述机械臂结构控制在水平面上移动。该技术方案，采用机械臂结构，降低了载物台移动结构标准件的要求，减少了丝杆和导轨等复杂配件的使用，而且机械臂结构通过外置的驱动装置驱动，减少了驱动装置的条件要求，节省了设备成本。
载物台移动结构装置以及真空设备

[发明专利]离子源的电源控制方法、系统及离子源装置-CN202010802515.9有效
发明人：冀鸣;刘运鸿;刘伟基;范奕生;赵刚;易洪波 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2020-08-11 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H01J27/14 文献下载
摘要：本申请涉及一种离子源的电源控制方法、系统及离子源装置，所述方法包括：根据电源系统输出的总电流值确定各个霍尔离子源的分支电流值；在各个所述霍尔离子源和中空阴极运行中，分别检测各个所述霍尔离子源的电流传感器反馈的实际电流值；将各个所述霍尔离子源对应的实际电流值与其设定的分支电流值的进行比对并计算气体流量控制参数；依据所述气体流量控制参数调整输入霍尔离子源的气体流量，以控制相应霍尔离子源的实际电流值与其设定的分支电流值相匹配。本申请实现了对多霍尔离子源工作时电流控制，能够对各个霍尔离子源的电流进行精确分配，优化了电源控制效果，提升了各个霍尔离子源的工作效果。
离子源电源控制方法系统装置

[实用新型]离子源装置-CN202021343045.6有效
发明人：冀鸣;刘运鸿;刘伟基;范奕生;赵刚;易洪波 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2020-07-09 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： H01J27/14 文献下载
摘要：本申请涉及一种离子源装置，包括：多个霍尔离子源，至少一个中空阴极以及基座；所述霍尔离子源分布安装在所述基座上，所述中空阴极设于距离所述霍尔离子一设定位置处；多个所述霍尔离子源同时进行覆盖，所述中空阴极为至少一个霍尔离子源提供中和电子，且至少一个中空阴极为多个霍尔离子源提供中和电子。本申请的技术方案，通过多个霍尔离子源的设计方案，可以提高覆盖范围，且采用共用中空阴极设计，也降低了设备成本。
离子源装置

[发明专利]离子源装置-CN202010659238.0在审
发明人：冀鸣;刘运鸿;刘伟基;范奕生;赵刚;易洪波 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2020-07-09 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： H01J27/14 文献下载
摘要：本申请涉及一种离子源装置，包括：多个霍尔离子源，至少一个中空阴极以及基座；所述霍尔离子源分布安装在所述基座上，所述中空阴极设于距离所述霍尔离子一设定位置处；多个所述霍尔离子源同时进行覆盖，所述中空阴极为至少一个霍尔离子源提供中和电子，且至少一个中空阴极为多个霍尔离子源提供中和电子。本申请的技术方案，通过多个霍尔离子源的设计方案，可以提高覆盖范围，且采用共用中空阴极设计，也降低了设备成本。
离子源装置

[实用新型]离子源装置及可活动射频扫描离子设备-CN201922500049.4有效
发明人：刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;曾文华;刘运鸿;吴秋生;范奕生 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本申请涉及一种离子源装置和可活动射频扫描离子设备，该离子源装置包括：射频匹配网络、射频离子源；其中，射频匹配网络为Π型结构的匹配网络；射频匹配网络的输入端连接射频源，射频匹配网络的输出端连接至射频离子源的射频线圈一端；射频离子源的射频线圈另一端接地；射频匹配网络通过输入端接入射频源，射频源通过输出端传输至射频离子源的射频线圈，射频线圈对通过气体管道进入电离室的气体进行电离产生离子，并通过屏极栅网的驱动产生离子束。上述离子源装置，简化了射频匹配网络的结构，便于移动使用。上述可活动射频扫描离子设备，离子源可以方便移动来实现镜面的扫描处理，提升了射频扫描离子设备使用效果。
离子源装置活动射频扫描离子设备

[发明专利]离子源装置及可活动射频扫描离子设备-CN201911417964.5在审
发明人：刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;曾文华;刘运鸿;吴秋生;范奕生 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本申请涉及一种离子源装置和可活动射频扫描离子设备，该离子源装置包括：射频匹配网络、射频离子源；其中，射频匹配网络为Π型结构的匹配网络；射频匹配网络的输入端连接射频源，射频匹配网络的输出端连接至射频离子源的射频线圈一端；射频离子源的射频线圈另一端接地；射频匹配网络通过输入端接入射频源，射频源通过输出端传输至射频离子源的射频线圈，射频线圈对通过气体管道进入电离室的气体进行电离产生离子，并通过屏极栅网的驱动产生离子束。上述离子源装置，简化了射频匹配网络的结构，便于移动使用。上述可活动射频扫描离子设备，离子源可以方便移动来实现镜面的扫描处理，提升了射频扫描离子设备使用效果。
离子源装置活动射频扫描离子设备