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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]旋转支撑轴及具有其的硅片覆膜烘烤用送料机构-CN202122499508.9有效
发明人：苏永东 -专利权人： 苏州施迈尔工程陶瓷有限公司
申请日： 2021-10-18 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了旋转支撑轴及具有其的硅片覆膜烘烤用送料机构，旋转支撑轴包括陶瓷轴和陶瓷支撑环，陶瓷支撑环固定于陶瓷轴的一端，二者具有相同的中轴线，陶瓷支撑环上成型有用于支撑工件的支撑面，且陶瓷支撑环或陶瓷轴上位于支撑面的一侧设有用于防止工件偏移出支撑面的限位环，当陶瓷轴旋转带动陶瓷支撑环转动时，支撑面绕陶瓷支撑环的中轴线自转对工件进行送料。本实用新型旋转支撑轴为陶瓷材质，其在较高温度下具有较好的保型性，其结构及形状不受温度影响，且由于陶瓷支撑环与陶瓷轴同轴设置，二者的旋转同步性较好，因此可以较为平稳的对覆膜后的硅片进行送料。
旋转支撑具有硅片烘烤用送料机构

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