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- [发明专利]一种半导体激光清洗机-CN202310949963.5在审
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阙进林;李永祥
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苏州亚信华电子科技有限公司
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2023-07-31
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2023-10-27
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H01L21/02
- 本发明属于激光清洗技术领域，具体的说是一种半导体激光清洗机，包括支撑板，所述支撑板上固接有两个传送夹板，所述传送夹板顶面滑动设置有移动板，所述移动板顶面转动连接有置物机构，所述置物机构顶面放置有需要清洗的陶瓷圆片，所述传送夹板上固接有驱动组件，两个所述传送夹板之间转动连接有用于传送置物机构的动力滚筒，所述支撑板一侧通过横板固接有用于传送置物机构的倾斜下移机构，所述倾斜下移机构下部一侧设置有循环取放机构，所述循环取放机构上方设置有激光清理组件，激光清理组件即可不用进行多次启动及关闭，实现了连续工作，同时激光清理组件不会将激光照射在任何设备上，避免激光损坏设备。
- 一种半导体激光清洗
- [实用新型]一种基于半导体清洗的快排阀门-CN202321026434.X有效
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阙进林;李永祥
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苏州亚信华电子科技有限公司
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2023-05-04
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2023-10-20
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F16L55/07
- 本实用新型涉及阀门设备技术领域，且公开了一种基于半导体清洗的快排阀门，包括清洗加工台，清洗加工台的顶部设置有清洗池，清洗池的底部固定连接有排水管，排水管的下端设置有排水组件，清洗加工台内部设置有集水桶，排水组件包括密封筒和排水阀，密封筒与排水阀可拆卸安装，排水阀的下端设置有过滤机构，过滤机构包括滤水座、过滤件、连接件和缓冲板，过滤件内部设置有滤芯。本实用新型缓冲板开设的分水孔用于对高压排水减小缓冲，使排放的水呈伞状向下洒落到过滤件处，以此对过滤件中的滤芯提供缓冲保护，后期若缓冲板表面残留杂质或对过滤件的滤芯更换时，只需要将固定底板从滤水座处拆卸掉即可。
- 一种基于半导体清洗阀门
- [实用新型]一种半导体产品刻蚀用清洗设备-CN202320949199.7有效
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阙进林;李永祥
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苏州亚信华电子科技有限公司
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2023-04-24
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2023-10-13
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H01L21/67
- 本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，且公开了一种半导体产品刻蚀用清洗设备，包括清洗台，所述清洗台的顶部开设有清洗槽，所述清洗槽设置有两组，所述清洗台顶部设置有液箱，所述清洗台的顶部设置有清洗机构，所述清洗机构包括过滤篮、固定杆和承载板，所述固定杆的尾端插接有定位件，所述定位件的内侧下端固定连接有承载板，所述清洗槽顶部安装有过滤篮。本实用新型通过在清洗台的顶部开设两组清洗槽，向清洗槽内部灌入清洗水，同时使用液箱向清水中添加清洗液，手动将过滤篮由上向下搭接在清洗槽上端，通过这种循环使用方式，避免了单一清洗池内堆积杂质导致其余未清洗的半导体刻蚀清洗不干净的问题。
- 一种半导体产品刻蚀清洗设备
- [实用新型]一种半导体清洗专用感温探头-CN202320967281.2有效
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阙进林;李永祥
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苏州亚信华电子科技有限公司
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2023-04-26
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2023-08-29
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G01K1/14
- 本实用新型涉及清洗设备技术领域，且公开了一种半导体清洗专用感温探头，包括顶盖，顶盖的一侧设置有放置仓，顶盖的底部设置有装置本体，装置本体的底部固定连接有连接管，连接管内部开设有空腔，连接管下端设置有连接机构，连接机构包括连接板、连接座和限位件，连接板侧边开设有凹口，连接板顶部固定连接有固定块，固定块开设有活动槽，活动槽内部活动连接有活动块。本实用新型通过在连接管与延伸管的连接处设置连接板和连接座，连接板的顶部通过设置固定块、复位件、连接座和限位杆，依靠限位件上端开设的U型槽对限位杆搭接，通过这种安装方式，安装与拆卸方式简单，且不受长时间拆装的影响导致连接座出现倾斜的情况发生。
- 一种半导体清洗专用探头
- [实用新型]一种石英管的烘干设备-CN202123447056.6有效
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阙进林;李永祥
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苏州亚信华电子科技有限公司
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2021-12-30
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2022-10-21
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F26B15/12
- 本实用新型公开了一种石英管的烘干设备，包括架体，所述架体的顶端固定连接有安装座，所述安装座的顶端固定连接有输送台。该石英管的烘干设备通过在输送台两端的两侧分别固定连接有固定架，在使用时将固定架分别固定连接在输送台两端的两侧，并将限位架设置在固定架内部的顶端，并且将连接插杆贯穿预留槽的内部，将锁紧转盘套接在连接插杆的外部并固定，以此达到了将限位架进行稳固的目的，并通过推动连接插杆在预留槽的内部前后移动达到了对限位架之间的距离进行调节的目的，从而可通过限位架以及其一端固定连接的防护垫对石英管进行限位稳定的目的，防止其掉落损毁，解决了不能在输送烘干时的石英管进行限位的问题。
- 一种石英管烘干设备
- [实用新型]一种基于半导体清洗的快排阀门-CN202221016344.8有效
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阙进林;李永祥
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苏州亚信华电子科技有限公司
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2022-04-28
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2022-10-21
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F16K1/36
- 本实用新型公开了一种基于半导体清洗的快排阀门，阀体所在底部向下端部伸出并形成气腔室，且气腔室所在的侧边分别设置有与外部连通的第一通气口和第二通气口，阀体的顶部设置有连接口，且位于阀体所在的中部位置设置为向外连通的腔体结构；活塞件位于气腔室内，且第一通气口和第二通气口分别位于气腔室内的活塞件上下两侧位置，并通过控制第一通气口和第二通气口的进出气量实现活塞件在气腔室内的上下方向活动，活塞件顶部伸出气腔室向上与封堵件连接，并通过活塞件带动封堵件对连接口位置形成开合。通过第一通气口和第二通气口实现气动控制活塞的升降活动，进而控制封堵件对连接口位置的开合作业，控制的精准度自动化程度高。
- 一种基于半导体清洗阀门
- [发明专利]一种石英舟清洗设备及其使用方法-CN202210509524.8在审
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阙进林;李永祥
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苏州亚信华电子科技有限公司
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2022-05-11
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2022-08-30
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B08B3/08
- 本发明公开了一种石英舟清洗设备及其使用方法，包括承载机构、酸洗机构、水洗机构、循环机构，承载机构用于承载待清洗硅片；酸洗机构包括酸洗槽、设置与酸洗槽上的盖板，酸洗槽内盛放有酸洗液，并且盖板翻转式罩盖在酸洗槽上部的开口位置；水洗机构包括水洗槽、出水口，在水洗槽的内壁设置有出水口，通过出水口位置对承载机构上的待清洗硅片进行喷淋式水洗操作；所述循环机构与酸洗机构内部连通，从而控制酸洗机构内承装的酸洗液进行回流循环操作。本装置采用酸洗机构与循环机构相互配合，当不需要进行酸性清洗时，将酸洗液直接回收到循环机构内，避免酸洗液长期暴露在敞开式的环境下影响其酸度，进而影响对待清洗硅片的清洗效率。
- 一种石英清洗设备及其使用方法
- [实用新型]一种晶圆片的碱洗装置-CN202123251006.0有效
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阙进林;李永祥
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苏州亚信华电子科技有限公司
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2021-12-22
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2022-06-28
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B08B3/02
- 本实用新型公开了一种晶圆片的碱洗装置，包括连接座，所述连接座的顶端设置有清洗箱，所述清洗箱的顶端安装有支撑架，所述清洗箱的内部设置有放置架。该晶圆片的碱洗装置通过设置有过滤箱、分管、限位杆和过滤网，第二水泵通过连接水管把碱液箱内部的碱液抽取到分管的内部，然后在通过喷头喷淋到晶圆片上对晶圆片表面的杂质进行清理，喷淋的碱液会进入清洗箱的内部，打开阀门，清洗箱内部的碱液会进入过滤箱的内部，过滤箱内部另一侧的过滤网则会对碱液中的杂质进行过滤，过滤之后的碱液会通过第一水泵和连接管抽取到碱液箱的内，解决的是不能对使用过的碱液进行再次利用，浪费成本且工作效率较低的问题。
- 一种晶圆片装置
- [实用新型]一种晶圆片的氮气盛放箱-CN202123251007.5有效
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阙进林;李永祥
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苏州亚信华电子科技有限公司
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2021-12-22
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2022-06-28
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B65D81/20
- 本实用新型公开了一种晶圆片的氮气盛放箱，包括箱体，所述箱体内部的两侧之间横向设置有托板，所述箱体的一侧安装有氮气发生器，所述氮气发生器的顶端和箱体一侧的顶端之间固定连接有导管，所述托板的顶端设置有便于拿取物料结构。该晶圆片的氮气盛放箱通过设置有物料架板、内槽、转辊和橡胶皮带，使用时，将晶圆片打包好后一一嵌入支架中，并将支架摆放在物料架板上，物料架板上的三组橡胶皮带划分了三组摆放区域，当需要拿取对应橡胶皮带上的晶圆片组时，只需抓住支架向外拖动，转辊旋转，橡胶皮带向外滚动，减少了使用者拿取时花费的力气，实现了便于拿取物料的功能，解决的是装置不具备便于拿取物料的功能的问题。
- 一种晶圆片氮气盛放
- [实用新型]一种石英管的炉管式喷淋设备-CN202123391025.3有效
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阙进林;李永祥
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苏州亚信华电子科技有限公司
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2021-12-30
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2022-06-28
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C03C23/00
- 本实用新型公开了一种石英管的炉管式喷淋设备，包括管体和支腿，所述管体底端两侧的两端分别固定连接有一组支腿，所述管体两侧的顶端分别活动铰接有一组盖板。该石英管的炉管式喷淋设备通过设置有导水腔，先将水源接入水泵的内部，再启动水泵将水通过导水管导入导水腔的内部，导水腔通过底端的多组喷淋口将水喷出，启动第一驱动电机带动转盘转动，转盘通过驱动块带动活动槽不断的往复运动，活动槽推动齿条板运动的同时带动底端的连接齿轮往复运动，齿条板外部的限位套板与齿条板限位，保证运动的稳定性，连接齿轮再带动导水腔运动，使导水腔对底端进行全方位地喷淋，解决的是喷淋范围小导致喷淋不全面的问题。
- 一种石英管炉管喷淋设备
- [实用新型]一种液晶平板清洗设备-CN202122362086.0有效
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阙进林;成林;李永祥
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苏州亚信华电子科技有限公司
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2021-09-28
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2022-02-18
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B08B1/04
- 本实用新型公开了一种液晶平板清洗设备，所述液晶平板清洗设备包括底座，底座上安装有控制组件和夹持组件；清洗擦干组件，清洗擦干组件安装于底座上，清洗擦干组件包括安装板、支撑块、清洗辊、擦干辊和驱动电机，安装板安装于底座上方，且两组支撑块对称固定安装于安装板下侧侧壁上，清洗辊和擦干辊分别转动连接于两组支撑块上，两个驱动电机分别固定安装于其中两个支撑块上，且清洗辊和擦干辊的一端分别与两个驱动电机的输出端固定连接，本实用新型通过控制组件控制安装板上的清洗辊和擦干辊沿着液晶平板横向移动，在一边对液晶平板进行清洗的同时，一边对其水渍进行擦干，大大提高了工作效率，降低了工作人员的劳动强度。
- 一种液晶平板清洗设备
- [实用新型]液体清洗机-CN202022676020.4有效
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阙进林;李永祥;成林
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苏州亚信华电子科技有限公司
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2020-11-18
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2022-02-08
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B08B3/10
- 本实用新型公开了一种液体清洗机，壳体的上表面设置有水入口，外壳体的内部包含上层空间和下层空间，上、下层空间之间由斜板分割而成，斜板上设置有若干通孔，水入口通过管道连通上层空间；在下层空间中设置有工作台和N个驱动装置、设置于工作台上的N个清洗槽，在每个清洗槽均设置有中伸入清洗槽中的搁物架，每个驱动装置用于驱动唯一的搁物架做上下方向的运动；搁物架由左竖板、后竖板、右竖板和前竖板相互连接而成的框型结构，前竖板和后竖板中相对的内侧面均设置有若干相对设置的凹槽，凹槽贯穿前、后竖板的上表面；在每个清洗槽中均设置有清洗液提供装置，清洗液提供装置为若干管体组成的管状物体，在管状物体上设置有若干与管体内部贯通的通孔，清洗液提供装置设置有清洗液入口；从而提供了一种清洗板状物的清洗机。
- 液体清洗
- [实用新型]清洗机排水阀-CN202122239302.2有效
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阙进林;成林;李永祥
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苏州亚信华电子科技有限公司
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2021-09-14
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2022-01-28
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F16K1/00
- 本实用新型公开了一种清洗机排水阀，包括中空的阀座和封闭头，所述阀座内还设置有气动腔，所述封闭头的底部设置有滑动连接在气动腔内的隔板，该隔板将气动腔分隔成第一腔和第二腔，通过第一腔和第二腔内的压强差带动封闭头做相对滑动运动，以闭合与阀座相连接的出水口，所述隔板与气动腔底部的内壁之间设置有支撑装置，所述支撑装置包括转动杆以及驱动部，本实用新型的清洗机排水阀通过驱动部带动转动杆转动，使转动杆的两端分别转动至与所述隔板以及气动腔底部的内壁相抵，达到稳定支撑封闭头与阀座相连接的出水口紧密相抵，保证了清洗机排水阀的密封性，从而保证了清洗机的清洗效果。
- 清洗水阀
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