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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于控制探针温度的方法-CN201910427559.5有效
发明人：杨晓峰;胡绘钧 -专利权人：季华实验室
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： G01Q70/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于控制探针温度的方法。探针包括悬臂部分、尖端以及控制器。尖端位于悬臂部分末端并从悬臂部分突出。尖端包括底座、针尖部和从底座延伸的多个支撑臂，各支撑臂在远离底座的端部连接至针尖部。底座内设有多个电极，多个电极包括加热电极和感测电极。本发明的方法，通过精确控制探针的温度，能够进行钝化层的无掩模图形化、高效快速、成本低、且工艺简化。
用于控制探针温度方法

[发明专利]在衬底材料的钝化层上形成三维图形结构的方法-CN201910427566.5有效
发明人：杨晓峰;胡绘钧 -专利权人：季华实验室
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种在衬底材料的钝化层上形成三维图形结构的方法。该方法包括以下步骤：在衬底上制备钝化层；提供探针，所述探针位于所述钝化层上方；加热所述探针至能将所述钝化层汽化的温度，并将所述探针靠近所述钝化层；根据预定的三维图形在所述钝化层上方移动所述探针以将所述钝化层的一部分汽化，从而在所述钝化层上形成三维图形。根据本发明的方法，能够进行钝化层的无掩模图形化、高效快速、成本低、且工艺简化。
衬底材料钝化形成三维图形结构方法

[发明专利]用于加工衬底材料的钝化层的探针-CN201910427571.6有效
发明人：杨晓峰;胡绘钧 -专利权人：季华实验室
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：本申请公开一种用于加工衬底材料的钝化层的探针。该探针包括：悬臂部分；尖端，所述尖端位于所述悬臂部分末端并从所述悬臂部分突出；所述尖端包括底座和从所述底座延伸的多个支撑臂，所述各支撑臂在远离所述底座的端部连接至针尖部；其中所述底座内设有多个电极，所述支撑臂内设有导线，所述导线用于将所述多个电极与所述针尖部连接。使用根据本发明的探针，能够通过加热汽化钝化层的材料而进行钝化层的无掩模图形化、高效快速、成本低、且工艺简化。
用于加工衬底材料钝化探针

[发明专利]用于加工衬底材料的钝化层的探针-CN201910427569.9有效
发明人：杨晓峰;胡绘钧 -专利权人：季华实验室
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：本申请公开一种用于加工衬底材料的钝化层的探针。该探针包括：悬臂部分；尖端，所述尖端位于所述悬臂部分末端并从所述悬臂部分突出；所述悬臂部分的一端固定至支架并从所述支架水平延伸，且所述尖端设置在所述悬臂部分的远离所述支架的所述末端。使用根据本发明的探针，能够精确地进行竖直方向的调整，能够进行钝化层的无掩模图形化、高效快速、成本低、且工艺简化。
用于加工衬底材料钝化探针

[发明专利]用于形成闪耀光栅的方法-CN201910427560.8有效
发明人： 胡绘钧;杨晓峰 -专利权人：复旦大学
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本申请公开一种用于形成闪耀光栅的方法，所述方法包括：在光栅衬底上制备钝化层；在所述钝化层上形成多个钝化层沟槽，所述多个钝化层沟槽沿高度方向宽度相同且彼此等距离间隔开；将所述钝化层上的图形转移至所述光栅衬底，从而在所述光栅衬底上形成多个衬底沟槽，所述多个衬底沟槽沿高度方向宽度相同且彼此等距离间隔开；用倾斜离子束轰击所述多个衬底沟槽一侧。根据本发明的方法，能够进行闪耀光栅的高集成度、高精度的制备，并能够实现衍射光栅衍射角的高精度制备。
用于形成闪耀光栅方法

[发明专利]具有法布里珀罗腔的闪耀光栅及其制造方法-CN201910427562.7有效
发明人： 胡绘钧;杨晓峰 -专利权人：复旦大学
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2020-07-21 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本申请公开了一种具有法布里珀罗腔的闪耀光栅。该闪耀光栅包括：光栅衬底、法布里珀罗腔和多个栅条。多个栅条设置在所述光栅衬底的上表面上并彼此平行且间隔开。法布里珀罗腔设置在所述光栅衬底的上表面上且所述法布里珀罗腔腔沿所述多个栅条方向的长度小于所述多个栅条的长度。本发明的具有法布里珀罗腔的闪耀光栅，能够增强衍射光强，增强光信号。
有法布里珀罗腔闪耀光栅及其制造方法

[发明专利]背极式硅基微型驻极体电容话筒-CN200510030144.2无效
发明人：夏钟福;沈绍群;王飞鹏;王丽;李军;胡绘钧 -专利权人：深圳市豪恩电声科技有限公司;同济大学;复旦大学
申请日： 2005-09-29 - 公布日： 2006-07-12 - 主分类号： H04R19/01 文献下载
摘要：本发明属传感器技术领域，具体为一种两片结构的背极式硅基微型驻极体电容话筒。其中，驻极体层位于带有背电极的固定背极板上，以单晶硅或多晶硅为振膜，振膜片上的振膜和硅框架以同种材料组成，以克服因应力不匹配导致的振膜高破损率；以二氯二甲基硅烷作为对氮氧化硅储电层的化学表面修正试剂，形成具有高抗湿能力的完善驻极体表面疏水层，通过调控栅控恒压或恒流电晕充电参数并组合热处理，以改善因包含大量声学孔的驻极体层所面临的电荷储存能力下降的问题。本发明大大提高了产品成品率。
背极式硅基微型驻极体电容话筒

[发明专利]单片硅基微型电容式麦克风及其制作方法-CN200510026626.0无效
发明人：沈绍群;夏钟福;王丽;李军;胡绘钧;胡宗保;冯艺;纪新明 -专利权人：复旦大学;深圳豪恩电声科技有限公司;同济大学
申请日： 2005-06-09 - 公布日： 2005-11-09 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明属电声技术领域，具体为一种结构新型的单片硅基微型电容式麦克风。其中，振膜采用弹性系数高的单晶硅膜制作，背极板采用聚酰亚胺厚膜制成，振膜电极和背电极均采用浓硼埋层电极引出，仅在热压脚上制作厚度大于1μm的金属层。在背极板上有微型声学孔。此外，在形成振膜的单晶硅衬底正面集成一个JFET源极跟随器，以达到阻抗变换的目的。单晶硅膜的释放采用HF汽相腐蚀工艺，在振膜与背极板之间不会产生粘连现象，使芯片成品率大大提高。本发明提出的单片硅基微型电容式麦克风，制作工艺简单，成品率高，生产成本低，适宜于大规模生产。
单片微型电容麦克风及其制作方法

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