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- [发明专利]一种金属二次电子发射系数计算方法-CN202010124577.9有效
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胡笑钏;张瑞;谷文萍;张赞;徐小波
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长安大学
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2020-02-27
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2023-06-20
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G16C60/00
- 本发明公开了一种金属二次电子发射系数计算方法，考虑入射电子在材料中散射并激发内二次电子，内二次电子向表面运动，并发生级联散射，表面处的内二次电子越过表面势垒形成二次电子发射，建立依次考虑上述过程涉及的物理机制的金属二次电子发射系数半经验公式，对电子射程与内二次电子能量分布函数进行优化，并考虑了斜入射和背散射修正，获得金属的二次电子发射系数半经验公式，结果表明，优化公式计算结果与实验测量结果的相对误差不超过20％，相对于以往公式相对误差至少降低了10％，验证了优化公式的可靠性和普适性，本发明相对于其他传统的实验测量方法和蒙特卡洛计算方法，能够大幅缩短计算时间，使用更加简洁、方便，并且结果精准。
- 一种金属二次电子发射系数计算方法
- [发明专利]一种惰性离子清洗及热处理降低二次电子发射系数的方法-CN202010124556.7在审
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胡笑钏;张瑞;谷文萍;张赞
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长安大学
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2020-02-27
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2020-06-02
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B08B7/00
- 本发明公开了一种惰性离子清洗及热处理降低二次电子发射系数的方法，将待测样品分别在酒精和去离子水中超声清洗后采用惰性气体烘干，然后将烘干后的待测样品放置于真空室内，利用惰性气体填充真空室使真空室内气压维持至1.4×10‑4‑1.8×10‑4Pa；利用离子枪进行离子清洗，离子能量为900‑1000eV，离子枪发射电流为9‑11mA，离子清洗时间为10min至30min；离子清洗完成后，关闭离子枪电源，利用惰性气体充斥至少30min，完成利用惰性离子清洗降低二次电子发射系数，本发明可最大程度去除表面污染，并还原样品原有的表面状态，从而大幅降低二次电子发射系数，本发明能够在需要降低二次电子发射的领域中，以及希望获得平滑表面及准确二次电子发射特性的应用中，应当选取适当的离子清洗强度，避免过强离子清洗。
- 一种惰性离子清洗热处理降低二次电子发射系数方法
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