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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]具有高动态范围的流量传感组件-CN201710229089.2有效
发明人：欧兰·斯尔帕柴;彭南洲;赵阳;肖素艳 -专利权人：新纳传感系统有限公司
申请日： 2017-04-10 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01F7/00 文献下载
摘要：本发明揭露了一种流量传感组件，其包括：本体部、集成到所述本体部内的第一流量传感器和第二流量传感器。所述本体部包括第一主流体通道、与第一主流体通道连通的第一旁路流体通道、位于第一主流体通道内的第二主流体通道、与第二主流体通道连通的第二旁路流体通道。第一流量传感器用于感应第一旁路通道内的流体的流量或流速得到第一测量值，第二流量传感器用于感应第二旁路通道内的流体的流量或流速得到第二测量值。结合两个或多个流量传感器的测量值得到流量传感组件的最终测量值，从而可以使得流量传感组件整体上获得非常高的动态范围。
具有动态范围流量传感组件

[发明专利]热式流量传感器结构-CN202211427848.3在审
发明人： 肖素艳 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2022-11-15 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G01F1/692 文献下载
摘要：本发明涉及一种热式流量传感器结构，结构包括：衬底，具有相对的第一表面和第二表面；薄膜，设置在衬底的第一表面上，薄膜包括第一介质层，设置在衬底的第一表面上，第一介质层具有有效压应力；第二介质层，设置在第一介质层远离衬底的一侧表面上，第二介质层具有第一有效拉应力；第三介质层，设置在第二介质层远离第一介质层的一侧表面上；热敏电阻，设置在第三介质层远离第二介质层的一侧表面上；第四介质层，设置在第三介质层远离第二介质层的一侧上并且包覆热敏电阻；其中，第二介质层的第一有效拉应力的绝对值大于第一介质层的有效压应力的绝对值，不同介质层之间具有一定的相互作用力，从而尽量阻止热敏电阻与介质层之间的剥离。
流量传感器结构

[实用新型]流体传输模组及流量测量装置-CN202221289614.2有效
发明人：齐冠鸣;肖素艳 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2022-05-26 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： G01F15/10 文献下载
摘要：本申请公开了一种流体传输模组及流量测量装置。所述流体传输模组包括主体以及设置在所述主体内的流体通道；所述流体通道包括主通道、设置在所述主通道两端的第一过渡通道和第二过渡通道、通过所述第一过渡通道与所述主通道相连通的流体入口、以及通过所述第二过渡通道与所述主通道相连通的流体出口；其中，所述第一过渡通道和所述第二过渡通道均具有弧形结构的缓冲区段。本申请所公开的技术方案通过在第一过渡通道以及第二过渡通道设置弧形结构的缓冲区段，解决了现有模组流道的进出口普遍存在较大的流速冲击，影响流量测准确性的问题。
流体传输模组流量测量装置

[实用新型]传感器装置及管道监测系统-CN202221136971.5有效
发明人： 肖素艳 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种传感器装置及管道监测系统，其中传感器装置包括基底以及壳体，基底具有相对的第一侧以及第二侧并且位于壳体的腔体内，壳体具有能够使气体流动穿过的气流通道；其中，基底的第一侧上设置有第一传感器，第一传感器能用于感测在气流通道内流动的气体的流速，基底的第二侧上设置有第二传感器，第二传感器能用于感测在气流通道内流动的气体的压力，当将本实用新型中的传感器装置用于管道监测系统时，实现了流速以及压力的多参数测量，可以全面了解管道的工况信息。
传感器装置管道监测系统

[发明专利]流量传感器封装结构及封装方法-CN202210495867.3有效
发明人： 肖素艳 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： G01F1/684 文献下载
摘要：本发明提供了一种流量传感器封装结构及封装方法，其中封装结构包括：流量传感器、基板以及流道盖板，基板与流量传感器固定连接，流道盖板与基板固定连接，其中，流量传感器嵌入到通孔内，并且流量传感器的感测表面与流道盖板远离基板的一侧表面平齐。在本发明所提供技术方案中，由于流量传感器的感测表面与流道盖板远离基板的一侧表面平齐，在流量传感器的感测表面附近，流体的流动是平稳的，从而避免由于流量传感器的感测表面附近流体波动所导致的流量传感器的测量精度、稳定性及量程比降低的情况。
流量传感器封装结构方法

[实用新型]流体传输管路-CN202220402967.2有效
发明人： 肖素艳 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2022-02-24 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： G01F1/684 文献下载
摘要：本申请公开了一种流体传输管路。本申请有效解决了热式流量传感器很难同时对流动的流体实现流体流量测量和流体属性监测的问题。通过第一测量组件与流体介质的流动方向平行来监测流体介质的特性变化，第二测量组件与流体介质的流动方向垂直来测量流体介质的流量，在流体介质的特性发生变化时，利用第一测量组件得到的特性值对所述第二测量组件得到的流量进行校正，从而得到流体介质的当前质量流量。通过在主通道内安装挡板，便于流体的充分置换，减小了流体介质的流动对第一测量组件带来的干扰。通过置换区段的横截面积大于旁路流道的横截面积，保证流体介质先充分置换再缓慢通过旁路流道，充分过滤紊流，从而提高流量的测量精度。
流体传输管路

[发明专利]流体传输管路及流量测量方法-CN202210171546.8在审
发明人： 肖素艳 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2022-02-24 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： G01F1/684 文献下载
摘要：本申请公开了一种流体传输管路及流量测量方法。本申请有效解决了热式流量传感器很难同时对流动的流体实现流体流量测量和流体属性监测的问题。通过第一测量组件与流体介质的流动方向平行来监测流体介质的特性变化，第二测量组件与流体介质的流动方向垂直来测量流体介质的流量，在流体介质的特性发生变化时，利用第一测量组件得到的特性值对所述第二测量组件得到的流量进行校正，从而得到流体介质的当前质量流量。通过在主通道内安装挡板，便于流体的充分置换，减小了流体介质的流动对第一测量组件带来的干扰。通过置换区段的横截面积大于旁路流道的横截面积，保证流体介质先充分置换再缓慢通过旁路流道，充分过滤紊流，从而提高流量的测量精度。
流体传输管路流量测量方法

[发明专利]微流量传感器及其制备方法-CN202210139896.6在审
发明人： 肖素艳 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2022-02-16 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G01F15/00 文献下载
摘要：本发明公开了微流量传感器及其制备方法，属于传感器技术领域，包括第一基底和第二基底；在第一基底内设置第一空腔，在第二基底内设置第二空腔和第三空腔；第二空腔通过第一空腔与第三空腔连通形成微流道，用于流体的流入和流出，简化了传统的传感器结构。通过第一基底和第二基底键合为一体式结构，在一体式结构中设置封闭式微流道，实现结构一体化。本发明的微流量传感器的制备方法，将第一基底和第二基底键合，实现微流道和传感器芯片的一次成型，形成一体式结构；微流道密封通过晶圆级封装实现，工艺简单；通过微纳加工技术融合技术，解决了传统流道和封装复杂性和一致性问题。
流量传感器及其制备方法

[实用新型]传感器结构及电子设备-CN202122086230.2有效
发明人： 肖素艳;穆培祥;胡维 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种传感器结构及电子设备，该传感器结构包括：硅基底；设置在硅基底一侧的膜层结构，其中，硅基底远离膜层结构的一侧设置有空腔；封装基板，封装基板设置在硅基底远离膜层结构的一侧；连接层，设置在硅基底与封装基板之间，连接层中形成有第一空隙，第一空隙用于连通空腔与传感器结构之外的环境。本申请实施例提供的传感器结构能够简化工艺、提高生产效率以及降低成本。
传感器结构电子设备

[实用新型]传感器结构及电子设备-CN202122087845.7有效
发明人： 肖素艳;穆培祥;胡维 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种传感器结构及电子设备，该传感器结构包括：硅基底；设置在硅基底一侧的膜层结构，其中，硅基底远离膜层结构的一侧设置有空腔，硅基底包括第一部分和第二部分，第一部分与空腔相邻，第一部分远离膜层结构的表面与第二部分远离膜层结构的表面不在同一水平面上，且第一部分的厚度小于第二部分的厚度，以形成连通空腔与传感器结构之外的环境的通道。本申请实施例提供的传感器结构能够简化工艺、提高生产效率。
传感器结构电子设备

[实用新型]流量传感器检定系统-CN202121709491.9有效
发明人： 肖素艳;穆培祥;胡维 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： G01F25/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种流量传感器检定系统，解决了现有技术中的单一流量控制器无法实现宽量程比的待测流量计以及单一检测系统无法实现不同类型气体流量计的检定的问题。流量传感器检定系统包括管道回路，以及设置于管道回路中的标准组件；标准组件包括选通组件和与选通组件连接的多个标准流量计，选通组件用于选择多个标准流量计之一与管道回路连通，多个标准流量计的量程不同。
流量传感器检定系统

[发明专利]传感器结构及其制备方法、电子设备-CN202111014713.X在审
发明人： 肖素艳;穆培祥;胡维 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种传感器结构及其制备方法、电子设备，该传感器结构包括：硅基底；设置在硅基底一侧的膜层结构，其中，硅基底远离膜层结构的一侧设置有空腔；封装基板，封装基板设置在硅基底远离膜层结构的一侧；连接层，设置在硅基底与封装基板之间，连接层中形成有第一空隙，第一空隙用于连通空腔与传感器结构之外的环境。本申请实施例提供的传感器结构能够简化工艺、提高生产效率以及降低成本。
传感器结构及其制备方法电子设备

[发明专利]传感器结构及其制备方法、电子设备-CN202111014721.4在审
发明人： 肖素艳;穆培祥;胡维 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种传感器结构及其制备方法、电子设备，该传感器结构包括：硅基底；设置在硅基底一侧的膜层结构，其中，硅基底远离膜层结构的一侧设置有空腔，硅基底包括第一部分和第二部分，第一部分与空腔相邻，第一部分远离膜层结构的表面与第二部分远离膜层结构的表面不在同一水平面上，且第一部分的厚度小于第二部分的厚度，以形成连通空腔与传感器结构之外的环境的通道。本申请实施例提供的传感器结构能够简化工艺、提高生产效率。
传感器结构及其制备方法电子设备

[发明专利]流量传感器检定系统-CN202110845124.X在审
发明人： 肖素艳;穆培祥;胡维 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： G01F25/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种流量传感器检定系统，解决了现有技术中的单一流量控制器无法实现宽量程比的待测流量计以及单一检测系统无法实现不同类型气体流量计的检定的问题。流量传感器检定系统包括管道回路，以及设置于管道回路中的标准组件；标准组件包括选通组件和与选通组件连接的多个标准流量计，选通组件用于选择多个标准流量计之一与管道回路连通，多个标准流量计的量程不同。
流量传感器检定系统

[实用新型]MEMS热式流量传感器-CN202020713583.3有效
发明人： 肖素艳;胡维;张永强 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2020-04-30 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： G01F1/684 文献下载
摘要：本实用新型提供一种MEMS热式流量传感器，其包括：半导体衬底，所述半导体衬底具有第一表面及第二表面；热敏层，设置在所述半导体衬底的第一表面，所述热敏层包括依次设置的第一介质层、图案化的热敏电阻层及第二介质层，所述第一介质层与所述第二介质层的厚度相同，且所述第一介质层与所述第二介质层的形成方法及材料均相同；保护层，覆盖所述热敏层；导电连接件，贯穿所述保护层及第二介质层，并与所述热敏电阻层的焊盘电连接；热隔离腔，自所述半导体衬底的第二表面向所述第一表面延伸。本实用新型优点是工艺简单、成本低、可靠性高。
mems 流量传感器

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