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[发明专利]一种雾化辅助CVD薄膜制备装置雾流控制方法-CN202310625458.5在审
发明人：肖黎;樊俊良;秦源涛;严昊;龚恒翔 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明公开了一种雾化辅助CVD薄膜制备装置雾流控制方法，使载气按照预设速率进入雾化源系统，然后携带前驱体气溶胶颗粒进入反应腔室，进入反应腔室的导流细通道内的雾流流速不断提升，雾流在导流细通道内参与反应沉积薄膜；接着抽气泵工作抽离残余气体，使反应腔室出口端抽离气体速率高于经过导流细通道进入反应腔室出口端的雾流速率，通过压差计示数反馈，调整载气供给系统的质量流量计预设速率与抽气泵功率，使压差计示数维持在规定范围，开始薄膜生长。本发明通过改善雾化辅助CVD装置中雾流的流动状态，从而使进入反应腔室中的气溶胶颗粒能够以更平稳的状态参与反应，减小了紊流对薄膜制备的不利影响，提高薄膜制备的结晶质量与表面形貌。
一种雾化辅助 cvd 薄膜制备装置控制方法

[发明专利]一种立式雾化辅助CVD薄膜制备装置-CN202310693972.2在审
发明人：肖黎;樊俊良;秦源涛;龚恒翔 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2023-07-20 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种立式雾化辅助CVD薄膜制备装置，包括安装架、雾化源组件、反应腔体组件、衬底调节组件，反应腔组件包括沿竖直方向设置的反应腔体，反应腔体的下端与雾化源组件的出口端连通，在反应腔体外套设有加热腔体，加热腔体内均匀分布有碘钨灯；衬底调节组件包括沿竖直方向活动连接在安装架上的衬底托杆，衬底托杆的下端连接衬底托，衬底托和衬底托杆的至少部分位于反应腔体内，动力源与衬底托杆之间通过同步带连接，以驱动衬底托杆旋转。本方案的衬底托能够旋转，衬底的位置能够在反应腔室的不同位置进行调节，气溶胶到达衬底托表面由于附着力的作用会随着衬底托一起转动，从而影响衬底周围的流场，使流场更加均匀，进而提升薄膜的均匀性。
一种立式雾化辅助 cvd 薄膜制备装置

[发明专利]一种α相氧化镓单晶薄膜的制备方法-CN202310428219.0在审
发明人：肖黎;樊俊良;秦源涛;龚恒翔 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： C30B25/18 文献下载
摘要：本发明公开一种α相氧化镓单晶薄膜的制备方法，其特征在于包括如下步骤，S1：取有机镓源分散于酸稀释溶液中充分溶解，获得反应前驱体溶液，将前驱体溶液置于雾化辅助化学气相沉积设备的雾化罐中待用；S2：将衬底基板清洗干净，彻底干燥后置于雾化辅助化学气相沉积设备反应腔体内的衬底模板中；S3：将反应腔室温度上升至420‑550℃，同时调整尾气抽速速率保持系统压差在10pa‑40pa；S4：通入N2与O2的混合气体作为载气，设定载气速率，待腔体内气氛稳定后，通入雾化后的反应前驱体溶液，在衬底上进行α相氧化镓单晶薄膜的沉积生长。本工艺方法不需要结合真空技术，可在常压环境进行，也就不要抽真空等设备，可降低约50％的能耗成本，而且制备方法得到大幅简化。
一种氧化镓单晶薄膜制备方法

[发明专利]一种圆管外壁镀膜装置-CN202210391457.4有效
发明人：陈刚;唐毅;秦源涛;黄俊宇;龚恒翔;肖黎 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2022-04-14 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： B05B17/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种圆管外壁镀膜装置，包括控制箱和设于该控制箱上的升降单元、雾化单元和反应单元，圆管衬底可转动地设于所述升降单元上；所述反应单元包括置于所述控制箱上的金属均热板，该金属均热板通过均匀分布在其上的碘钨灯进行加热，所述金属均热板上设石英腔体，所述圆管衬底位于该石英腔体内，所述石英腔体内设有热电偶，该热电偶通过导线与所述控制箱电连接，溶液在所述雾化单元内雾化后进入所述石英腔体，实现在所述圆管衬底上进行镀膜。本发明以超声雾化热解喷涂为薄膜沉积原理，实现了管状样品外壁薄膜制备，尤其是氧化物薄膜制备，具有结构简单合理、操作维护方便、环境污染小和综合成本低的特点，解决了圆管外壁薄膜生长的难点。
一种圆管外壁镀膜装置

[实用新型]一种管状薄膜样品切割装置-CN202222171091.8有效
发明人： 秦源涛;唐毅;瞿小林;龚恒翔;肖黎 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2022-08-17 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B26D1/15 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种管状薄膜样品切割装置，包括底板，该底板上设升降台和支撑板，升降台上设有样品切割模块，支撑板上设有切割机构；样品切割模块包括设于升降台上的第一安装板，该第一安装板上沿X向活动设有第二安装板，第二安装板上设样品轴向切割模块和样品径向切割模块，切割机构能够对位于样品轴向切割模块和样品径向切割模块上的样品进行切割。本方案可以通过垂直升降、水平左右移动以及水平前后移动来调节样品管和磨片的相对位置，方便不同长度和管径的样品管进行切割，且既能对轴向进行切割又能对径向进行切割；同时本方案采用了自定心圆锥将轴向切割时的样品管固定起来，能够适应大小差别比较大的样品管。
一种管状薄膜样品切割装置