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- [发明专利]一种电子级溶液的充装系统-CN201510385999.0有效
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贺平;万群平
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福建永晶科技有限公司
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2015-06-30
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2017-03-15
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B67C3/30
- 本发明涉及一种电子级溶液的充装系统,包括预处理机构、风淋机构和充装机构,所述预处理机构包括预处理室和吹扫装置,所述风淋机构包括风淋室、干燥空气加热装置和第一风机,所述充装机构包括充装室、进风装置、进液装置和充装装置,所述进风装置包括第二风机、初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器,所述进液装置包括充装管路、高纯水管路、导气管路和废液抽排管路,所述充装装置包括机械夹具和充装接头,所述预处理室、风淋室和充装室依次连通设置。本发明的电子级溶液的充装系统,尤其适用于电子级氢氟酸的充装;具有合理有效、有效提高待充装的空桶的内部和外部洁净程度、充装方便、以及有效避免溶液污染的有益效果。
- 一种电子溶液系统
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