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- [发明专利]微电子弹性接触元件-CN97190567.3无效
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B·N·艾尔里格;I·Y·汉德罗斯;G·L·马思乌;D·V·佩德尔森
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福姆法克特公司
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1997-05-15
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2004-01-14
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G01R1/067
- 在衬底的表面上淀积掩模层,并确定掩模层中的开口,再把至少一层金属材料淀积到开口中以制作弹性接触元件,而所述衬底可以是电子元件,例如有源半导体器件。每个弹性接触元件都具有一基端,一接触端和主体部分。该接触端在Z-轴方向偏移(在不同高度)并至少在X和Y方向中一个方向偏离该基端。用这种方法,就可以在该衬底上制作彼此之间具有规定的空间关系的大量弹性接触元件。该弹性接触元件可以制成与其它电子元件的端子暂时(即:压力)或永久(例如:可以用焊接或钎焊或用导电粘合剂)的连接,以实现它们之间的电连接。在一典型的应用中,该弹性接触元件配置在位于半导体晶片上的半导体器件上,以制成与该半导体器件的暂时连接,用于老化和/或试验该半导体器件。
- 微电子弹性接触元件
- [发明专利]微电子接触构件及其制造方法-CN97190854.0无效
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I·Y·汗德罗斯;B·N·埃尔德里奇;G·L·马蒂厄;G·W·格鲁贝
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福姆法克特公司
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1997-05-15
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1998-10-28
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G01R1/067
- 采用在一个消耗基底上形成的开口中沉积至少一层金属材料的方法制造弹簧接触元件。开口可以在基底的表面内,或在基底表面上沉积的一层或多层之中。每个弹簧接触元件都有基座端部分,接触端部分,和中心体部分。接触端部分在Z-轴方向偏离(在不同高度)中心体部分。基座端部分优选沿Z-轴在相反方向上偏离中心体部分。用该方法,就在消耗基底上按规定的彼此空间关系制造出多个弹簧接触元件。弹簧接触元件适合通过它们的基座端部分安装到电子部件上相应的端子上,例如空间变压器或半导体器件,随后除去消耗基底,因此弹簧接触元件的接触端在电子部件的表面上方延展。在典型的应用中,将弹簧接触元件放置在探针板组件的空间变压器上,因而它们的接触端实现了与另一个电子部件上的相应端子的压力连接,从而达到探测该电子部件的目的。
- 微电子接触构件及其制造方法
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