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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]注射泵、基板处理装置以及基板处理方法-CN200710088631.3有效
  • 福地毅;高木善则 - 大日本网目版制造株式会社
  • 2007-03-16 - 2007-10-17 - B05C11/10
  • 本发明提供一种注射泵、使用了注射泵的基板处理装置以及基板处理方法，除去附着在活塞的侧面上的处理液和颗粒，并且能够维持活塞与密封部件之间的润滑性。基板处理装置(1)的注射泵(8)，在缸体(81)的后部侧形成的后方室(85)内，将清洗液供给到活塞(82)的侧面上。因此，在活塞(82)的侧面所附着的抗蚀液和颗粒被清洗液冲洗掉，而被从活塞(82)的侧面除去。此外，向后方室85内供给的清洗液的一部分，附着在第一密封部件(83b)、第二密封部件(87b)、以及活塞(82)的表面上，发挥润滑剂的作用。因此，维持着第一密封部件(83b)以及第二密封部件(87b)与活塞(82)之间的润滑性。
  • 注射处理装置以及方法
  • [发明专利]基板处理装置及送液装置-CN200410028733.2有效
  • 高木善则;福地毅;北泽裕之;安藤美奈子 - 大日本屏影象制造株式会社
  • 2004-03-12 - 2004-09-22 - B05C5/02
  • 提供一种不产生颗粒，将处理液高精度地送液的装置。在将抗蚀剂液(处理液)向狭缝喷嘴(41)送液的送液机构(80)中设有抗蚀剂液泵(81)和驱动机构(82)。此外，在抗蚀剂液泵(81)上设有小直径的第1波纹管、大直径的第2波纹管、第1波纹管与第2波纹管的结合部件及构成抗蚀剂液的流路的管。通过驱动机构(82)向图3中下方向移动结合部件，管的内部容积减少，管内的抗蚀剂液被向狭缝喷嘴(41)送液。此外，通过驱动机构(82)向图3中下方向移动结合部件，管的内部容积增加，将抗蚀剂液向抗蚀剂液泵(81)吸引。
  • 处理装置
  •  1 
  • 共 3 条
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