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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基板干燥腔室-CN202010494273.1在审
发明人： 申傛湜 -专利权人：无尽电子有限公司
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种基板干燥腔室，包括：上壳体；下壳体；基板放置板，其与下壳体的底表面联接；上供给口，其形成为面对基板放置板并提供用于干燥的超临界流体的供给路径；和集成式供给和排出口，其从下壳体的侧表面延伸至下壳体的中心区域，形成为面对基板放置板，并提供用于初始加压的超临界流体的供给路径以及使用通过上供给口供给的用于干燥的超临界流体执行干燥后的、其中用于干燥的超临界流体中溶解了有机溶剂的混合流体的排出路径。根据本发明，当供给和排出超临界流体时，可以引导对称流以将超临界流体均匀地分散到腔室中以进行供给和排出，从而提高基板的干燥效率，并且当在完成干燥工序后打开腔室时，可以防止颗粒被引入腔室内的基板上。
干燥

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