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- [发明专利]布线电路基板及其制造方法-CN201711066323.0有效
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山内大辅;田边浩之
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日东电工株式会社
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2017-11-02
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2022-05-24
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H05K1/02
- 本发明提供布线电路基板及其制造方法。布线电路基板包括绝缘层和配置于绝缘层的厚度方向一侧面的导体层。绝缘层连续具有:第1绝缘部;第2绝缘部,其具有比第1绝缘部的厚度薄的厚度;以及第3绝缘部,其配置于第1绝缘部和第2绝缘部之间,并具有自第1绝缘部朝向第2绝缘部逐渐变薄的厚度。导体层连续具有:第1导体部,其配置于第1绝缘部的厚度方向一侧面;以及第2导体部,其配置于第2绝缘部的厚度方向一侧面,并具有比第1导体部的厚度薄的厚度。第1导体部还配置于第2绝缘部和第3绝缘部的厚度方向一侧面,或者,第2导体部还配置于第1绝缘部和第3绝缘部的厚度方向一侧面。
- 布线路基及其制造方法
- [发明专利]布线电路基板及其制造方法-CN201710224810.9有效
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杉本悠;田边浩之;藤村仁人
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日东电工株式会社
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2017-04-07
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2022-05-03
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H05K1/02
- 本发明提供一种布线电路基板的制造方法,其是包括绝缘层和导体图案的布线电路基板的制造方法,具备:工序(1),设置具有斜面的绝缘层;工序(2),在至少绝缘层的表面设置金属薄膜;工序(3),在金属薄膜的表面设置光致抗蚀剂层;工序(4),将光掩模配置为将光致抗蚀剂层中的应设置导体图案的第1部分被遮光,隔着光掩模对光致抗蚀剂层进行曝光;工序(5),除去第1部分,使金属薄膜的与第1部分相对应的部分暴露;工序(6),在金属薄膜的从光致抗蚀剂层暴露出来的部分的表面设置导体图案,斜面具有能够使由金属薄膜反射的反射光到达第1部分的第2部分,在工序(4)中,将光掩模配置为将光致抗蚀剂层的与第2部分相对的部分遮光。
- 布线路基及其制造方法
- [发明专利]配线电路基板的制造方法-CN201710526969.6有效
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杉本悠;田边浩之;藤村仁人
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日东电工株式会社
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2017-06-30
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2021-08-06
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H05K1/02
- 本发明提供一种配线电路基板的制造方法,包括:设置绝缘层的工序1;设置金属薄膜的工序2;设置光致抗蚀剂的工序3;配置光掩模并隔着光掩模对光致抗蚀剂进行曝光的工序4;将光致抗蚀剂的第1曝光部分和第2曝光部分去除的工序5;在金属薄膜的表面设置第1配线和第2配线的工序6。在工序4中,在假定为在金属薄膜处反射的反射光聚光于光致抗蚀剂中的位于第1曝光部分和第2曝光部分之间的部分的情况下,斜面具有光致抗蚀剂中的因聚光而要在工序5中去除的部分与第1曝光部分以及第2曝光部分连续的方式俯视时向一方向弯曲的弯曲部。第2曝光部分在俯视时连续地具有回避弯曲部的回避部和与斜面中的除了弯曲部以外的至少一部分重叠的重叠部。
- 配线电路基制造方法
- [发明专利]布线电路基板的制造方法-CN201710422592.X有效
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杉本悠;田边浩之;藤村仁人
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日东电工株式会社
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2017-06-07
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2021-08-06
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H05K3/10
- 本发明提供布线电路基板的制造方法,该布线电路基板包括绝缘层和相互隔有间隔且相邻的第1布线及第2布线。包括:工序1,设置具有斜面的绝缘层;工序2,在绝缘层的表面设置金属薄膜;工序3,在金属薄膜的表面设置光致抗蚀剂层;工序4,将光掩模配置为,光致抗蚀剂层中的与第1布线相对应的第1曝光部分和与第2布线相对应的第2曝光部分能够被曝光,隔着光掩模对光致抗蚀剂层进行曝光;工序5,使金属薄膜的与第1曝光部分及第2曝光部分相对应的部分暴露出来;工序6,在金属薄膜的表面设置第1布线及第2布线。斜面具有俯视大致圆弧状。光致抗蚀剂层的第2曝光部分具有与斜面相对的相对部分。以满足条件A~C的方式配置光掩模。
- 布线路基制造方法
- [发明专利]配线电路基板及其制造方法-CN201710173470.1有效
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杉本悠;藤村仁人;田边浩之
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日东电工株式会社
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2017-03-22
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2021-04-06
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H05K1/02
- 本发明提供配线电路基板及其制造方法。具有绝缘层和导体图案的配线电路基板的制造方法包括:设置具有斜面的绝缘层的工序(1);至少在绝缘层的斜面设置金属薄膜的工序(2);在金属薄膜的表面设置光致抗蚀剂的工序(3);将光掩模的遮光部分配置成光致抗蚀剂中的应设导体图案的第1部分被遮光、隔着光掩模对光致抗蚀剂进行曝光的工序(4);将光致抗蚀剂的第1部分去除的工序(5);在金属薄膜的表面设置导体图案的工序(6)。斜面具有俯视大致圆弧形状,在工序(4)中,由金属薄膜中的与圆弧相对应的部分反射的反射光向光致抗蚀剂的与沿着圆弧的假想圆的中心相对应的部分聚光,将光掩模的遮光部分配置成偏离中心、至少与假想圆重叠。
- 配线电路基及其制造方法
- [发明专利]配线电路基板的制造方法-CN201611207609.1有效
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杉本悠;田边浩之
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日东电工株式会社
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2016-12-23
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2021-02-05
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H05K3/06
- 本发明提供一种配线电路基板的制造方法,其是具有绝缘层和设置在绝缘层之上的导体图案的配线电路基板的制造方法。包括如下工序:设置绝缘层的第1工序;在绝缘层的倾斜面之上设置金属薄膜的第2工序;在金属薄膜之上设置光致抗蚀剂的第3工序;以光致抗蚀剂中的应该设置导体图案的部分被遮光的方式配置光掩模、隔着光掩模对光致抗蚀剂进行曝光的第4工序;将光致抗蚀剂的被光掩模遮光的部分去除而使金属薄膜的与所述部分相对应的部分暴露的第5工序;在金属薄膜的从光致抗蚀剂暴露的部分之上设置导体图案的第6工序。在对光致抗蚀剂进行曝光时,减少由金属薄膜的位于倾斜面之上的部分反射而朝向所述部分的光。
- 配线电路基制造方法
- [发明专利]带电路的悬挂基板及其制造方法-CN201610140525.4有效
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田边浩之;杉本悠;藤村仁人
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日东电工株式会社
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2016-03-11
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2020-06-02
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G11B5/48
- 本发明提供一种带电路的悬挂基板及其制造方法。带电路的悬挂基板包括:第1层,其由金属支承基板构成;第2层,其具有绝缘性,设于第1层的厚度方向的一侧;第3层,其设于第2层的厚度方向的一侧,由铜或铜合金形成。第1层具有沿着厚度方向贯穿第1层的第1开口部。在第1开口部设置有在沿着与厚度方向正交的方向进行投影时与第1层重叠的导体层。导体层包括由铜或铜合金形成的第1导体电路,该第1导体电路具有用于与第1电子零部件电连接的第1电子零部件连接端子。第3层包括第2导体电路,该第2导体电路具有用于与第2电子零部件电连接的第2电子零部件连接端子。
- 电路悬挂及其制造方法
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