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[实用新型]一种晶圆托盘和一种晶圆加工设备-CN202222504842.3有效
发明人： 王昕超;贾闯;李云红;胡玉;戚艳丽 -专利权人：拓荆科技（上海）有限公司
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆托盘和一种晶圆加工设备。该圆托盘包括：托盘本体，以其正面承载晶圆，并开设有通孔；顶针，设于该托盘本体的背面，其第一端设有限位部，而其第二端支持经由该通孔沿该托盘本体的轴向位移，并越过该托盘本体的正面，以顶起该托盘本体上的晶圆；以及弹簧，其第一端连接该顶针的限位部，而其第二端连接该托盘本体的背面，用于在该顶针的第二端经由该通孔越过该托盘本体的正面时，向该限位部提供朝向该托盘本体的背面的弹力。通过使用上述晶圆托盘和晶圆加工设备，在完成晶圆加工后，顶针能够快速且主动地回落复位，而无需借助外部重锤的自重进行降落，有效避免了被动降落可能导致的顶针无法回落原位的问题。
一种托盘加工设备

[实用新型]一种室内排水吊卡底座预埋件-CN202222510785.X有效
发明人：许金飞;杜广强;王昕超;邱建迎;王会师;季晨;陈蕾;李强;魏玉梅;贾茹 -专利权人：临沂市政集团有限公司
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： F16L3/11 文献下载
摘要：本实用新型属于吊卡技术领域，公开了一种室内排水吊卡底座预埋件，包括预埋箱，所述预埋箱的上端中部穿插固定连接有预埋机构，所述预埋箱的下箱壁中部开有限位槽，所述预埋箱的左箱壁中部与有右箱壁中部之间共同固定连接有调节机构，所述调节机构的下端固定连接有连接杆，所述连接杆的下端穿插固定连接有上半卡圈，所述上半卡圈的下端左部和下端右部均螺纹连接有螺栓，所述上半卡圈的下端左部与下端右部之间通过两个螺栓固定连接有下半卡圈。本实用新型所述的一种室内排水吊卡底座预埋件，通过设置预埋机构和加固件，安装效果好，能提高安装效率及精度，通过设置调节机构，可调节吊卡的安装位置，满足了功能要求，适合广泛使用。
一种室内排水底座预埋件

[发明专利]晶圆支撑组件及晶圆加工装置-CN202211133817.7在审
发明人： 王昕超;胡玉;戚艳丽 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2022-09-19 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆支撑组件及晶圆加工装置，涉及晶圆加工技术领域。该晶圆支撑组件包括支撑盘、顶针和管状的保护套；支撑盘设有穿孔，保护套包括顶端，保护套的顶端固定于穿孔的内壁上；顶针设于穿孔和保护套内，且顶针能够升降；顶针的位于穿孔内的侧壁上设有沿其周向延伸的限位凸起，限位凸起用于在顶针下降时与保护套的顶端抵接。本发明的晶圆支撑组件可以在顶针下降后通过顶针的限位凸起和保护套的顶端相抵接而封闭保护套和顶针之间的空隙，从而可以在沉积薄膜的过程中，防止支撑盘穿孔的被保护套遮挡处的内壁上积累薄膜，可以降低支撑盘穿孔内壁的粗糙度，使得顶针能够在穿孔内顺利升降。
支撑组件加工装置

[发明专利]一种可实现激励频率慢变的试验设备及其试验方法-CN202111555736.1在审
发明人：罗跃纲;路晓北;孙嘉恒;周涛;王昕超;韩云腾;童宇航 -专利权人：大连民族大学
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种可实现激励频率慢变的试验设备及其试验方法，涉及旋转机械参数慢变影响试验方法，包括转子‑轴承试验台、激励频率慢变模拟装置、传动组件，所述转子‑轴承试验台通过传动组件与激励频率慢变模拟装置连接，激励频率慢变模拟装置进行转速调节，通过传动组件向转子‑轴承试验台传递扭矩，以使转子‑轴承试验台产生激励频率慢变；可为研究含激励频率慢变转子‑轴承系统的动态特性的试验提供有效的试验装置，验证计算机仿真结果的正确性。
一种实现激励频率试验设备及其方法

[发明专利]针对转子-轴承试验台可实现激励幅值慢变的专用夹具-CN202111553595.X在审
发明人：罗跃纲;路晓北;孙嘉恒;周涛;王昕超;韩云腾;童宇航 -专利权人：大连民族大学
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种针对转子‑轴承试验台可实现激励幅值慢变的专用夹具，涉及旋转机械参数慢变影响试验方法，包括安装在转子‑轴承试验台上的转盘、安装在转盘上的夹具、以及活动连接于夹具上的偏心质量螺钉，所述转盘带动夹具转动，偏心质量螺钉在夹具上的位置发生改变，从而形成激励幅值慢变。
针对转子轴承试验台实现激励幅值慢变专用夹具