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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]侦测待测物表面的轮廓的测量方法-CN200710079125.8无效
发明人： 王幰彰 -专利权人：宏濑科技股份有限公司
申请日： 2007-02-13 - 公布日： 2008-08-20 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供一种侦测待测物表面的轮廓的测量方法，尤其是有关于一种利用干涉波包峰值侦测法侦测待测物表面的轮廓的测量方法。利用光测装置侦测待测物表面的轮廓以产生波纹，波纹分为非干涉波纹以及干涉波包，先在非干涉波纹中接连选取复数个样本光程差。接着计算所述样本光程差所对应光强度的平均值以及标准差，即得范围介于平均值加以及减标准差之间的门槛值范围。最后判断波纹中所对应的复数个光强度，在该门槛值范围外且连续的光强度所对应的波纹，即为一个干涉波包。通过本发明，可以有效分辨出不同的干涉波包，而选取正确的干涉波包的峰值，即使在待测物表面有透明薄膜的状态，也不至于误判待测物表面的轮廓。
侦测待测物表面轮廓测量方法

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