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[发明专利]干式蚀刻气体组合物及干式蚀刻方法-CN201880014921.X有效
发明人：加藤惟人;池谷庆彦;涩泽幸伸;清水久志 -专利权人：关东电化工业株式会社
申请日： 2018-04-02 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：使用含有通式(1)：CxHyFz所示的饱和或不饱和的氢氟碳化合物的干式蚀刻气体组合物，但1,1,2,2,3‑五氟环丁烷及1,1,2,2‑四氟环丁烷除外，式中，x、y及z为满足2≤x≤4、y+z≤2x+2及0.5＜z/y＜2的整数。通过使用所述含有氢氟碳的蚀刻气体组合物，可以相对于硅氧化膜、非硅系掩模材料或多晶硅膜、选择性地对含(b1)含氮的硅系膜进行蚀刻。
蚀刻气体组合方法

[发明专利]包含具有不饱和键的含硫碳氟化合物的干蚀刻气体组合物和使用其的干蚀刻方法-CN201980070061.6在审
发明人： 清水久志;加藤惟人 -专利权人：关东电化工业株式会社
申请日： 2019-10-25 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：提供：包含含硫不饱和化合物的、对硅系膜的层叠结构体的蚀刻用途有用的新型蚀刻气体组合物。一种干蚀刻气体组合物，其包含用通式(1)：CxFySz(式中，x、y和z为2≤x≤5、y≤2x、1≤z≤2)表示的、具有不饱和键的含硫碳氟化合物。
包含具有不饱和含硫碳氟化蚀刻气体组合使用方法

[发明专利]包含含硫碳氟化合物的干蚀刻气体组合物和使用其的干蚀刻方法-CN201980070063.5在审
发明人： 清水久志;加藤惟人 -专利权人：关东电化工业株式会社
申请日： 2019-10-25 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：提供：包含含硫化合物的、相对于低介电常数材料(低‑k材料(SiON、SiCN、SiOCN、SiOC))能对SiO2选择性地进行蚀刻的新型蚀刻气体组合物。一种干蚀刻气体组合物，其包含用通式(1)：CxFySz(式中，x、y和z为2≤x≤5、y≤2x、1≤z≤2)表示的、饱和且环状的含硫碳氟化合物。
包含含硫碳氟化蚀刻气体组合使用方法

[发明专利]半导体装置的制造方法和蚀刻气体-CN201980059146.4在审
发明人：石野嵩弥;佐佐木俊行;下田光春;清水久志 -专利权人：铠侠股份有限公司;关东电化工业株式会社
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明提供能够合适地对膜进行蚀刻的半导体装置的制造方法和蚀刻气体。根据一个实施方式，该半导体装置的制造方法包括：使用包含CxHyFz(C表示碳，H表示氢，F表示氟，x表示3以上的整数，且y和z分别表示1以上的整数)所示的链状烃化合物的蚀刻气体对膜进行蚀刻。进而，上述CxHyFz是碳链上的各末端的碳原子仅与氢原子和氟原子中的氟原子键合的链状烃化合物。
半导体装置制造方法蚀刻气体

[发明专利]玻璃纤维补强的聚丙烯类树脂组合物及其成形体-CN201480018598.5在审
发明人： 清水久志;铃木章宽 -专利权人：日本聚丙烯株式会社
申请日： 2014-03-26 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： C08L23/10 文献下载
摘要：本发明提供：显示出高刚性和高冲击强度、同时成形期间的耐模具污染性和脱模性优良、并提供具有优良外观、耐金属腐蚀性和耐高温渗出性的成形体的玻璃纤维补强的聚丙烯类树脂组合物；和玻璃纤维补强的聚丙烯类树脂组合物的成形体。本发明涉及：玻璃纤维补强的聚丙烯类树脂组合物，其特征在于包含35-98.99重量份的组分A、1-50重量份的组分B和0.01-15重量份的组分C(组分A、组分B和组分C的总量为100重量份)，并且每100重量份的组分A、组分B和组分C的总量还包含0.15-0.4重量份的组分D和0.01-0.4重量份的组分E；和玻璃纤维补强的聚丙烯类树脂组合物的成形体等。组分A：聚丙烯类树脂，组分B：玻璃纤维，组分C：改性聚烯烃，组分D：具有酯键的草酰胺类金属减活剂，组分E：脂肪酸酰胺。
玻璃纤维聚丙烯树脂组合及其成形

[发明专利]转移的方法-CN03147894.8有效
发明人：大谷知行;田村基;中岛亚纪子;清水久志;佐藤隆明 -专利权人：株式会社NTT都科摩
申请日： 1997-12-25 - 公布日： 2004-05-12 - 主分类号： H04Q7/20 文献下载
摘要：公开一种移动通信系统，包括由至少一个交换中心和一组基地台构成的网络以及同时与所述基地台通信的移动台。该系统允许根据对移动台可提供的服务种类改变在交换中心与基地台之间的传输延迟。本发明的目的是提供一种通信，其中，允许根据当前采用的服务种类改变传输延迟，故即使发生失步状态也能快速地恢复同步状态。为了达到该目的，存储装置(移动交换中心处理器32)存储与可提供给移动台的服务对应的传输延迟特征。而且，通信定时设置装置(分集转移中继线34)根据基于服务选择的传输延迟特征来确定基地台的通信定时。
转移方法

[发明专利]转移的方法-CN97193860.1有效
发明人：大谷知行;田村基;中岛亚纪子;清水久志;佐藤隆明 -专利权人：株式会社NTT都科摩
申请日： 1997-12-25 - 公布日： 2004-01-14 - 主分类号： H04Q7/22 文献下载
摘要：公开一种移动通信系统，包括由至少一个交换中心和一组基地台构成的网络以及同时与所述基地台通信的移动台。该系统允许根据对移动台可提供的服务种类改变在交换中心与基地台之间的传输延迟。本发明的目的是提供一种通信，其中，允许根据当前采用的服务种类改变传输延迟，故即使发生失步状态也能快速地恢复同步状态。为了达到该目的，存储装置(移动交换中心处理器32)存储与可提供给移动台的服务对应的传输延迟特征。而且，通信定时设置装置(分集转移中继线34)根据基于服务选择的传输延迟特征来确定基地台的通信定时。
转移方法