“深圳市科和盛业技术有限公司”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果9个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种磁场检测系统-CN202310741037.9在审
发明人：李细柳;朱正尧 -专利权人：东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01R33/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁场检测系统；包括磁性件固定机构、移动搭载机构和磁场检测装置；磁性件固定机构用于固定待检测磁场的磁性件，移动搭载机构设置在磁性件固定机构上，可相对于磁性件固定机构横向移动，磁场检测装置的检测探头设置在移动搭载机构上，检测探头随移动搭载机构移动，用于探测磁性件的磁场。将磁性件固定在磁性件固定机构上，将检测探头固定在移动搭载机构上，通过移动搭载机构搭载检测探头相对于磁性件固定机构进行移动，通过检测探头对磁性件的磁场进行检测，检测探头在对磁性件进行检测时，通过移动搭载机构限定了检测探头相对于磁性件的位置，使得检测探头与磁性件之间的距离相对恒定，由此能够提高对磁性件磁场检测的准确性。
一种磁场检测系统

[发明专利]一种回水装置及磁控溅射设备-CN202310741065.0在审
发明人：李细柳;朱正尧 -专利权人：东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种回水装置及及磁控溅射设备；回水装置包括回水管，以及位于回水管两端的第一连接端和第二连接端；回水管包括有进水孔和水管回水孔，进水孔贯穿回水管、第一连接端和第二连接端；第一连接端包括有第一外板和第一内板，第一外板和第一内板之间具有第一回水腔，第一外板的边沿设置有多个第一回水孔；第二连接端包括有第二外板和第二内板，第二外板和第二内板之间具有第二回水腔，第二外板上设置有第二回水孔；水流回流时依次经过第一回水孔、第一回水腔、水管回水孔、第二回水腔和第二回水孔流出。由于提高了水在密封壳体内的高度，使得水能够布满整个密封壳体，避免有空气残留在密封壳体内，从而提高对溅射阴极的降温效果。
一种回水装置磁控溅射设备

[发明专利]一种磁控溅射设备-CN202310740994.X在审
发明人：李细柳;朱正尧 -专利权人：东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁控溅射设备；包括溅射组件和偏压组件；溅射组件设置有两个，两个溅射组件相对设置，两个溅射组件的一侧设置偏压组件；溅射组件连接负极电源，偏压组件连接正极电源，偏压组件用于将溅射组件产生的溅射离子排斥到基材上。在溅射组件在进行溅射时，会同时具有溅射离子、溅射分子团和电子。相对设置的溅射组件将其产生的溅射离子、溅射分子团和电子向中间区域溅射，偏压组件将溅射离子排斥到基材上，将电子吸引到偏压组件上，溅射分子团留在两个溅射组件之间的区域内。由此即可只将溅射离子轰击到基材上，而避免溅射分子团和电子轰击到基材上，确保镀膜的均匀性，提高镀膜质量，减少基材温度升高的幅度。
一种磁控溅射设备

[实用新型]一种磁控溅射设备及其阳极-CN202223469321.5有效
发明人：李细柳;朱正尧 -专利权人：东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁控溅射设备；包括壳体，壳体具有腔体，壳体上设有开口，开口处设置有安装板，安装板密封开口，腔体内设置有靶材和阳极，安装板的内侧设置有绝缘体，阳极设置在绝缘体上，阳极邻近靶材，阳极包括阳极壳、磁靴和磁体，磁靴和磁体均设置在阳极壳内，磁体包括有多个，且间隔设置在磁靴上；阳极壳为导电材质接入电源的正极。磁控溅射设备在使用时，通过阳极的电场和磁场能够将大量的电子吸引向阳极，由此能够避免大量的电子轰击基材，降低基材的温度，确保工艺的稳定性。
一种磁控溅射设备及其阳极

[发明专利]多弧及磁控复合溅射阴极-CN202211446181.1在审
发明人：李细柳;杨江 -专利权人：东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了本发明优选实施例中公开了多弧及磁控复合溅射阴极，包括安装架、升降装置、阴极磁板和靶面板；所述升降装置包括安装板、联轴器、升降轴和升降头；所述安装板设置在所述安装架的底部；所述联轴器设置在所述安装板的底部；所述升降轴与所述联轴器传动连接；所述升降头螺纹传动设置在所述升降轴的顶部；所述阴极磁板活动设置在所述安装架的顶部，并且所述阴极磁板安装在所述升降头的顶部；所述靶面板架设在所述安装架的顶部，并且所述靶面板位于所述阴极磁板的上方。本发明通过调节阴极磁铁到靶面的距离，可以在一个阴极靶上实现多弧溅射及磁控溅射的工艺。
复合溅射阴极

[实用新型]多弧及磁控复合溅射阴极-CN202223077591.1有效
发明人：李细柳;杨江 -专利权人：东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了本实用新型优选实施例中公开了多弧及磁控复合溅射阴极，包括安装架、升降装置、阴极磁板和靶面板；所述升降装置包括安装板、联轴器、升降轴和升降头；所述安装板设置在所述安装架的底部；所述联轴器设置在所述安装板的底部；所述升降轴与所述联轴器传动连接；所述升降头螺纹传动设置在所述升降轴的顶部；所述阴极磁板活动设置在所述安装架的顶部，并且所述阴极磁板安装在所述升降头的顶部；所述靶面板架设在所述安装架的顶部，并且所述靶面板位于所述阴极磁板的上方。本实用新型通过调节阴极磁铁到靶面的距离，可以在一个阴极靶上实现多弧溅射及磁控溅射的工艺。
复合溅射阴极

[实用新型]磁场可调磁控溅射阴极-CN202222711386.X有效
发明人：李细柳;杨江 -专利权人：东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及磁控溅射技术领域，具体涉及磁场可调磁控溅射阴极，其包括法兰盘以及多个用于支撑法兰盘的支撑脚，法兰盘上设有支撑框，支撑框上设置有靶材，支撑框内设有磁背板，法兰盘底部设有多个用于调节磁背板与靶材之间距离的调节装置，调节装置包括设置在磁背板底部的调节螺杆，调节螺杆底部设有与其螺纹配合的自旋杆，自旋杆底部穿过法兰盘并与其转动连接，法兰盘底部设有驱动自旋杆转动的驱动件。
磁场可调磁控溅射阴极

[实用新型]一种带有偏压活性阳极的磁控溅射装置-CN202122770232.3有效
发明人：李轩;朱正尧 -专利权人：东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开一种带有偏压活性阳极的磁控溅射装置，包括溅射电源、偏压电源、阳极组件和阴极体，阳极组件位于阴极体的上方，阳极组件与阴极体之间连接有阴极接电柱，阳极组件的内部还安装有阳极接电压片和接电块，溅射电源的正极电连接至阳极接电压片，溅射电源的负极电连接至阴极接电柱，偏压电源的正极连接至接电块，偏压电源的负极连接至阳极接电压片，阳极组件的两端外侧设置有水接头。该装置通过在阳极与地电位进行绝缘，并且增加偏压电源，在偏压的过程中对电子增加吸引，使得阴极部分减少电子对基片的轰击，从而进一步降低基片的温度，达到低温处理的效果，同时也能保持高功率的磁控溅射，满足更大的沉积速率。
一种带有偏压活性阳极磁控溅射装置

[实用新型]一种带有可变电阻活性阳极的磁控溅射装置-CN202122770234.2有效
发明人：李轩;杨江 -专利权人：东莞市科盛机电设备有限公司;深圳市科和盛业技术有限公司
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开一种带有可变电阻活性阳极的磁控溅射装置，包括溅射电源、可变电阻、阳极组件和阴极体，阳极组件与阴极体之间连接有阴极接电柱，阳极组件的内部还安装有阳极接电压片和接电块，溅射电源的正极电连接至阳极接电压片，溅射电源的负极电连接至阴极接电柱，可变电阻具有两个电阻连接端，两个电阻连接端分别连接到接电块与阳极接电压片上，可变电阻上设置有调节键，调节键滑动在可变电阻上，阳极组件的两端外侧设置有水接头。该装置上增加可变电阻在阳极与地电位之间，在镀层的导电性能不佳时，通过调节键调节电阻的阻值，减少电荷的累积，防止电荷打火而掉渣落到基片的表面，有效提高基片膜层的质量。
一种带有可变电阻活性阳极磁控溅射装置

1
共 9 条