|
钻瓜专利网为您找到相关结果 7个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]基片处理装置-CN200580007956.3无效
-
远藤民夫;大藏领一;吉田达朗;泷川喜重
-
禧沛股份有限公司
-
2005-03-07
-
2007-03-14
-
H01L21/304
- 在使被保持的被处理基片旋转,向被处理基片上提供多种药液,并把因旋转机构而从被处理基片飞溅的药液按照其种类分别回收于各回收槽(16~19)的同时,在用某个回收槽回收该药液时是在关闭其他回收槽入口的状态下进行回收,在对为进行这种回收而划定回收槽(16~19)的各栅栏(3a~3d)的升降动作进行控制的升降机构中,具备设有与各栅栏(3a~3d)接合而使该栅栏升降的台阶部(29a)的栅栏升降板(29),利用电机(34)使该栅栏升降板(29)在该栅栏升降板(29)的圆周方向旋转以进行各栅栏(3a~3d)的升降动作,而且需要回收的药液不混入其他回收槽中。
- 处理装置
|