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[实用新型]一种用于镀膜机的工艺腔笼架结构及镀膜机-CN202321034357.2有效
发明人：李龙哲;沈聚丰;夏伟;朱显君;李花;周征华;马玉升 -专利权人：上海哈呐技术装备有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于镀膜机的工艺腔笼架结构及镀膜机，所述笼架结构包括第一转盘、第二转盘、驱动装置以及若干固定件，所述第一转盘设置在所述镀膜室内靠近顶壁的位置，所述第二转盘朝向所述第一转盘远离所述顶壁一侧设置；驱动装置的驱动轴依次穿过所述第一转盘和所述第二转盘，并与所述第一转盘和所述第二转盘固定连接；若干固定件包括设置在所述第一转盘上的固定件以及设置在所述第二转盘上的固定件，设置在所述第一转盘上的固定件与设置在所述第二转盘上的固定件一一对应，待镀膜产品或工装板固定于相对应的所述固定件，能够在固定待镀膜产品时避免使用多余工具，提高了便捷性以及工作效率。
一种用于镀膜工艺腔笼架结构

[实用新型]一种用于镀膜机的工艺腔可变笼架结构及镀膜机-CN202321034456.0有效
发明人：李龙哲;沈聚丰;夏伟;朱显君;李花;周征华;马玉升 -专利权人：上海哈呐技术装备有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于镀膜机的工艺腔可变笼架结构及镀膜机，所述可变笼架结构包括：转盘、驱动装置、固定模组及顶层隔板，所述转盘的数量为两个且两个所述转盘相互平行；所述驱动装置的驱动轴分别穿过两个所述转盘并将两者固定连接，所述驱动装置驱动所述驱动轴时，所述驱动轴带动两个所述转盘同步转动；所述固定模组的数量为两套，两套所述固定模组分别可拆卸安装于两个所述转盘上，待镀膜产品或者工装板两端分别设置在两个所述转盘的所述固定模组上；所述顶层隔板可拆卸设置于至少一个所述转盘一侧，且设置在所述转盘上的所述顶层隔板的延伸方向远离另一个所述转盘，能够针对不同种类及形状的待镀膜产品的固定方案做出调整，实用性很强。
一种用于镀膜工艺可变结构

[实用新型]一种用于镀膜机的换板结构及单体连续磁控溅射镀膜机-CN202320700777.3有效
发明人：李龙哲;沈聚丰;夏伟;朱显君;李花;周征华;马玉升 -专利权人：上海哈呐技术装备有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于镀膜机的换板结构及单体连续磁控溅射镀膜机，所述换板结构包括可移动支架，活动安装在镀膜机内可沿所述镀膜机的镀膜室出入；电磁发生装置，其设置在可移动支架上；若干磁性件，均设在用于放置待镀膜产品的工装板上，且所述磁性件与所述电磁发生装置相配合；可移动支架移动至第一预设位置时，电磁发生装置通电，能够使工装板固定吸附至可移动支架，从而使待镀膜产品能够通过可移动支架进入镀膜室进行镀膜工作；可移动支架移动至第二预设位置时，电磁发生装置断电，能够使工装板从可移动支架拆下，用户可通过对电磁发生装置通电状态的调整来实现拿取工装板及镀膜产品的目的，无需耗费多余人力装拆工装板，提升了效率。
一种用于镀膜板结单体连续磁控溅射

[实用新型]一种磁控溅射机-CN202222671300.5有效
发明人：周征华;夏伟;沈聚丰;周显君;李花 -专利权人：上海哈呐技术装备有限公司
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜用的磁控溅射机。为保证磁控溅射机的镀膜质量，本实用新型提出一种磁控溅射机，该磁控溅射机的镀膜腔的侧壁上设置有多个抽气口，所述抽气口靠近所述磁控溅射机中的溅射靶位，且所述抽气口与抽气系统连通。本实用新型磁控溅射机中的镀膜腔上的抽气口靠近溅射靶位并与抽气系统连通，抽气系统在进行抽真空工作时，可通过抽气口将镀膜腔中的气体抽出，从而可使得溅射靶位周围的气氛保持一致，即使溅射靶周围的气氛保持一致，进而可提高本实用新型磁控溅射机的镀膜质量。
一种磁控溅射

[实用新型]一种具有绝缘结构的镀膜传动装置-CN202222319067.4有效
发明人：夏伟;朱显君;沈聚丰;马玉升;李花;周征华 -专利权人：上海哈呐技术装备有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有绝缘结构的镀膜传动装置，包括支架、工装、驱动装置、电源装置和绝缘件。支架包括相对设置的上支撑架和下支撑架。工装用以安装待镀膜产品。所述工装连接于上支撑架和所述下支撑架。驱动装置设于上支撑架和/或下支撑架。电源装置用以电连接于工装。绝缘件设于上支撑架、下支撑架和工装的连接处。在镀膜过程中，驱动装置驱动上支撑架、下支撑架和工装旋转，且电源装置输出电流向工装供电，绝缘件在工装通电的情况下保持上支撑架和下支撑架绝缘。其通过在上支撑架、下支撑架以及工装的连接处设置绝缘件，使上支撑架与下支撑架在工装通电的情况下保持绝缘状态，提升产品的镀膜效果。
一种具有绝缘结构镀膜传动装置

[实用新型]一种具有辅助靶的磁控溅射镀膜装置-CN202222321816.7有效
发明人：周征华;夏伟;李花;朱显君;沈聚丰;李龙哲 -专利权人：上海哈呐技术装备有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有辅助靶的磁控溅射镀膜装置，包括真空仓、磁控溅射靶、磁控辅助靶、仓门以及工装总成。磁控溅射靶呈纵向地设于真空仓侧壁面。磁控辅助靶呈横向地设于真空仓的上壁面和/或下壁面。仓门可转动地安装于真空仓的开口处。工装总成包括驱动组件、转轴和支架。转轴设于仓门上。支架设于转轴上，用以安装待镀膜产品。驱动组件用以在镀膜过程中驱动转轴带动支架转动，及磁控溅射靶和磁控辅助靶朝向待镀膜产品溅射靶原子，使靶原子在待镀膜产品上沉积形成厚度一致的膜层。其通过设置磁控辅助靶，提高镀膜装置对于具有弧形结构的待镀膜产品镀膜的均匀性和一致性，结构简单，且能够一定程度上提高产品镀膜的良品率。
一种具有辅助磁控溅射镀膜装置

[实用新型]一种改进蒸散电极接触性能的装置-CN201821670949.2有效
发明人： 沈聚丰;李龙哲;周征华;夏伟;金虎;李花;朱小凤;王田英 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及蒸散镀膜机技术领域，具体地说是一种改进蒸散电极接触性能的装置，包括两个电极的电极接触面、气缸，其特征在于：所述的气缸设有两个，所述气缸水平向设置，气缸的安装端面分别固定在直角安装座的垂直面上；两个气缸的伸缩杆分别贯穿直角安装座的垂直面后固定连接一个接触块；两个所述接触块分别与相应的电极接触面一一对应。本实用新型与现有技术相比，电极接触性能稳定，减少输出电压的丢失，提高蒸散稳定性，且控制灵活；进一步的还可以方便调整电极接触面，方便更换电极接触面。
电极接触面气缸电极接触本实用新型直角安装安装端面方便更换气缸水平输出电压垂直面镀膜机伸缩杆电极改进垂直贯穿灵活

[实用新型]一种工艺调节格栅及真空镀膜机-CN201821670994.8有效
发明人：夏伟;李龙哲;沈聚丰;周征华;金虎;李花;朱小凤;王田英 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种工艺调节格栅及真空镀膜机，其包括嵌设在真空镀膜机的壳体通风孔内的固定框、设在固定框内的若干格栅片，其特征在于，还包括：总连动杆；若干格栅片转动连杆，格栅片转动连杆的一端旋转连接在总连动杆上，且若干格栅片转动连杆沿总连动杆的长度方向均布；所述格栅片的两端分别一体式设有轴部，两轴部分别与固定框的两侧壁旋转连接，且格栅片的一个轴部还轴接相应的格栅片转动连杆的另一端；任意格栅片的轴部的外端还与电机的输出轴轴接。本实用新型与现有技术相比，可以任意调节格栅片的开启角度，既可提高抽气速率，还可减少内部污染。
格栅片真空镀膜机转动连杆固定框连动杆轴部本实用新型工艺调节旋转连接格栅轴接壳体通风孔任意调节两侧壁输出轴抽气均布两轴外端电机污染

[实用新型]一种真空镀膜机冷冻钟罩放水单元-CN201821671002.3有效
发明人：周征华;李龙哲;沈聚丰;夏伟;金虎;李花;朱小凤;王田英 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种真空镀膜机冷冻钟罩放水单元，包括用于设在冷冻钟罩的下钟罩上的第一放水阀，其特征在于，还包括：储水箱，其上设有储水箱进水口；进水阀，设在所述储水箱进水口上，与所述第一放水阀相连；第二放水阀，设在储水箱的壳体上；加热器，所述加热器上设有用于输入高压气的高压气进气口及出气口；冷冻钟罩进气口，设在冷冻钟罩的壳壁上；进气阀门，其进气端连接所述冷冻钟罩进气口；高压气进气管，其一端连接加热器的出气口，其另一端用于连接进气阀门的进气端。本实用新型与现有技术相比，通过高温高压气体减少冷冻钟罩内化冰时间，加速排气，使其内部水滴快速吹干，减少再积冰状态，提高抽气速率。
钟罩冷冻进气口加热器真空镀膜机放水阀储水箱进水口本实用新型进气阀门出气口储水箱高压气进气端放水积冰高温高压气体输入高压一端连接进气管进水阀水滴抽气吹干壳壁壳体内化排气

[实用新型]工装轴装置及双轴真空镀膜机快速装件用夹具装置-CN201821671003.8有效
发明人：李龙哲;沈聚丰;周征华;夏伟;金虎;李花;朱小凤;王田英 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种工装轴装置及双轴真空镀膜机快速装件用夹具装置，其中工装轴装置包括固定架、顶部贯穿固定架的顶面的工装轴、由外至内依次嵌设在固定架与工装轴之间的上轴套和上轴承、套设在工装轴底端且由驱动机构驱动旋转的链轮，其特征在于：所述链轮采用带凸台的链轮，链轮的凸台面朝向驱动机构；所述链轮的凸台面固定装配有安装法兰，安装法兰的底面固定设有用于与驱动机构装配连接用的连接轴；所述链轮与工装轴之间装配有单向轴承。本实用新型与现有技术相比，在现有结构上改造十分方便，且结构简单；驱使工装轴旋转的方式十分灵活机动，既可采用电机，也可采用人工手动旋转。
工装轴链轮真空镀膜机驱动机构固定架本实用新型安装法兰夹具装置凸台面双轴装件单向轴承固定装配驱动旋转人工手动装配连接连接轴上轴承上轴套底端底面凸台装配电机灵活贯穿改造

[实用新型]一种真空镀膜机自动加硅油系统-CN201721576015.8有效
发明人： 沈聚丰;李龙哲;周征华;夏伟;李花;金虎;朱小凤;王田英 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种真空镀膜机自动加硅油系统，包括真空镀膜机的控制系统、包括工作状态呈负压的硅油罐，其特征在于：所述的硅油罐上设有进油接口、出油接口，所述的进油接口连接进油管的一端，所述的进油管上设有电磁阀；所述的出油接口连接出油管的一端，出油管的另一端连接真空镀膜机的供油管的一端，供油管的另一端设有供油接口。本实用新型与现有技术相比，利用真空镀膜机工作时硅油灌的自身负压，通过控制电磁阀来实现自动吸入及吸入量，不容易溢出，节省劳动力，提高工作效率。
真空镀膜机本实用新型出油接口进油接口出油管供油管硅油罐进油管油系统负压加硅控制电磁阀工作效率控制系统一端连接电磁阀吸入量供油硅油吸入溢出

[实用新型]一种在公转齿轮设耐磨片的真空镀膜机-CN201721576052.9有效
发明人：李龙哲;沈聚丰;夏伟;周征华;李花;孙海澄;王田英;朱小凤 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种在公转齿轮设耐磨片的真空镀膜机，包括门、腔体、蒸散装置、设在腔体内的支撑座、设在支撑座上的支撑轴承、公转齿轮，所述的公转齿轮的下端面抵接在支撑轴承上；所述的门包括门外壳及设置在其内的门内衬，其特征在于：在公转齿轮的下端面上固定耐磨片。本实用新型与现有技术相比，在公转齿轮下面增加了一个耐磨热处理后形成的耐磨片，以提高硬度，达到耐磨的效果；而如果经过长时间的使用后，耐磨片有一定的磨损，但耐磨片加工工艺较简单，加工方便，更换也方便，可以随时更换，保证齿轮长时间使用保持转动顺畅。
公转齿轮耐磨片真空镀膜机本实用新型支撑轴承支撑座耐磨加工方便热处理门内衬门外壳下端面齿轮抵接腔体下端磨损转动体内保证

[实用新型]一种设快插式门内衬的真空镀膜机门-CN201721576065.6有效
发明人：金虎;李龙哲;沈聚丰;周征华;李顺玉;刘强;王田英;朱小凤 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-07-03 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种设快插式门内衬的真空镀膜机门，包括门外壳，贴合嵌设于门外壳内壁上的门内衬，其特征在于：所述门内衬的上下边缘与门外壳的内壁之间采用卡条可拆卸式连接。本实用新型与现有技术相比，只需上下增加两个卡条，实现门内衬抽屉式卡嵌的操作，拆装方便。
门内衬真空镀膜机本实用新型快插式门外壳卡条内壁可拆卸式连接拆装方便上下边缘抽屉式卡嵌嵌设贴合与门

[实用新型]一种设检修人孔的镀膜机-CN201721576119.9有效
发明人：夏伟;李龙哲;沈聚丰;周征华;李顺玉;刘强;王田英;朱小凤 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-07-03 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体地说是一种设检修人孔的镀膜机，包括壳体、门盖、格栅、控制系统、电连接控制系统的显示设备，其特征在于：在近高压阀端处的所述壳体上设有带法兰部的检修轴孔；检修轴孔的法兰部一侧采用铰链铰接检修人孔的一侧；铰链外的检修人孔与检修轴孔的法兰部之间沿圆周布置若干旋转式快速搭扣连接；在远离铰链侧的检修人孔的近边缘处还设有接近开关，所述的接近开关的信号端电连接控制系统的一个信号端。本实用新型与现有技术相比，在位于高压阀端侧的镀膜机的后侧壳体上开了检修人孔，无需打开镀膜机门盖及拆除格栅，提高了检修效率；检修人孔用铰链连接，省时省力；检修人孔用接近开关保护，保证检修人员的安全。
检修人孔镀膜机检修轴孔接近开关控制系统法兰部本实用新型电连接高压阀信号端格栅壳体门盖检修铰链铰接铰链连接近边缘处显示设备圆周布置侧壳体铰链侧旋转式搭扣铰链省力省时拆除安全保证

[实用新型]一种设有辅助铜棒的蒸散镀膜设备-CN201721575944.7有效
发明人：李龙哲;沈聚丰;周征华;夏伟;李花;金虎;朱小凤;王田英 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-07-03 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种设有辅助铜棒的蒸散镀膜设备，包括第一蒸散铜棒与第二蒸散铜棒，还增设一根辅助铜棒，第一蒸散铜棒的顶端与第一输入电极连接，辅助铜棒的顶端与第二输入电极连接，而辅助铜棒的底端与第二蒸散铜棒的底端之间形成导电连接。本实用新型与现有技术相比，改造方便，改造成本低廉，结构简单；通过增设的一根辅助铜棒，使进入的电压更稳定，不会产生压差现象，保证了各加热丝的加热效果。
铜棒本实用新型镀膜设备输入电极底端增设真空镀膜机导电连接加热效果加热丝压差改造保证

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