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- [发明专利]一种半导体晶片上蜡机-CN202310262646.6有效
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赵云
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江苏晶工半导体设备有限公司
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2023-03-17
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2023-10-20
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B05C5/00
- 本发明公开了一种半导体晶片上蜡机，包括操作主体，所述操作主体包括粘接平台，所述粘接平台内部连接有粘蜡组件，所述粘接平台顶部固定连接有卡块，所述卡块内侧卡合连接有与粘蜡组件外侧紧密贴合的密封板，本发明涉及半导体晶片加工技术领域。该一种半导体晶片上蜡机，能够有效地解决现有技术中，半导体硅片、晶片等在进行研磨、抛光前，需要使用上蜡机，将粘接蜡加热至合适温度熔点，然后涂抹在承载盘上面，放入晶片，最后在晶片施加适当压力冷却至室温，既可以进行抛光加工或者其他表面加工过程。但是承载盘上面的粘接蜡实际涂覆层厚度难以控制，而且蜡层厚度的均匀性存在偏差，进而影响晶片抛光精度的问题。
- 一种半导体晶片上蜡
- [实用新型]一种半导体晶圆倒角工装-CN202320224307.4有效
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王英
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江苏晶工半导体设备有限公司
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2023-02-16
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2023-06-27
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B24B41/06
- 本实用新型涉及半导体加工技术领域，且公开了一种半导体晶圆倒角工装，其包括第一支撑架和第二支撑架，第二支撑架位于第一支撑架的上方，且第二支撑架两侧竖直部的底端分别固定安装在第一支撑架顶部的两端，在第一支撑架横直部的底部固定安装有电机，电机的输出端贯穿第一支撑架，且在电机的输出端上固定安装有底板，在第二支撑架横直部的顶部固定安装有第一液压杆，第一液压杆的伸缩端贯穿第二支撑架，且在第一液压杆的伸缩端上转动安装有顶板，本实用新型，能够对待加工的半圆体晶圆进行位置的矫正，使晶圆位于底板的正中心位置上，然后利用顶板对晶圆进行夹持固定，最后运转电机带动底板和顶板一同转动，从而带动晶圆进行旋转。
- 一种半导体倒角工装
- [实用新型]一种晶圆单片的干燥装置-CN202320224301.7有效
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王英
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江苏晶工半导体设备有限公司
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2023-02-16
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2023-06-27
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F26B11/18
- 本实用新型涉及晶圆加工技术领域，且公开了一种晶圆单片的干燥装置，其包括底座和晶片，底座顶部的两端均固定安装有直角梯形的支撑板，两个支撑板均位于内侧，在两个支撑板的顶部均固定安装有侧板，晶片位于底座顶部两侧支撑板和侧板之间，在底座的顶部开设有第一凹槽，在第一凹槽的内部设置有能够转动的转动辊，本实用新型，通过将待干燥的晶片放在支撑板和侧板之间，并使晶片的底部与转动辊的顶部接触，然后运转电机，电机通过传动组件带动转动辊在第一凹槽内转动，而转动辊旋转的时候，因为其表面的橡胶层与晶片之间存在较大的摩擦力，从而能够带动晶片进行转动，这样便能够让晶片的侧壁暴露出来，从而便于晶片进行干燥处理。
- 一种单片干燥装置
- [实用新型]一种半导体晶片磨边装置-CN202222176572.8有效
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黄毅
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江苏晶工半导体设备有限公司
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2022-08-17
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2023-04-28
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B28D5/00
- 本实用新型公开了一种半导体晶片磨边装置，包括用于对半导体晶片固定的加紧旋转机构、用于对半导体晶片打磨的打磨机构和用于对半导体晶片磨边装置稳定的第一固定架，所述第一固定架内部设置有所述加紧旋转机构，所述第一固定架下方开设有凹槽，所述第一固定架的凹槽后方设置有引流板，所述加紧旋转机构两侧设置有所述打磨机构，还包括用于对半导体晶片切割冷却的切割冷却机构,本实用新型利用切割的同时水箱里的水通过水管流到半导体晶片上，对半导体晶片进行润滑使得切割时半导体晶片不易被切碎，再者对半导体晶片进行磨边的同时水管再次喷水避免磨边产生的碎屑到处飞溅，达到提高磨边质量的作用。
- 一种半导体晶片磨边装置
- [实用新型]一种全自动单片清洗机-CN202222856031.X有效
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王婉婷
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江苏晶工半导体设备有限公司
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2022-10-28
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2023-03-28
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B08B3/02
- 本实用新型公开一种全自动单片清洗机，属于单片清洗机技术领域，包括柜体，其顶端安装有水箱，内部顶面固定有第一轴承和驱动电机并设有移动板和直板，所述第一轴承连接有螺杆，所述螺杆上固定有第一齿轮并与所述移动板螺纹连接，所述移动板底端通过两根直杆固定有两个喷头，所述直板顶端固定有防护箱并通过两个第二轴承连接有两根转轴，所述转轴上固定有第一斜面齿轮并且另一端固定有转盘，所述防护箱两侧均开有槽口，内部设有双轴电机，所述双轴电机两输出端均通过所述圆杆固定有第二斜面齿轮，所述驱动电机输出端连接有第二齿轮；使用该清洗机，所述喷头能够自由移动，对不同尺寸的晶圆片均能进行彻底清洗，满足了企业多样化清洗要求。
- 一种全自动单片清洗
- [实用新型]一种晶圆单片清洗机的清洗篮-CN202222621793.1有效
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王婉婷
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江苏晶工半导体设备有限公司
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2022-09-30
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2023-01-31
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B08B3/04
- 本申请涉及晶圆清洗设备技术的领域，尤其涉及一种晶圆单片清洗机的清洗篮，其包括第一底板、第二底板、把手和夹持组件，第一底板和第二底板之间设有用于调节两者之间距离的调节组件，把手连接于第二底板的侧边，夹持组件在第一底板和第二底板上分别设有一组，夹持组件包括安装座、转轴、转动板、弹性压块、转动杆和限位块，安装座在第一底板和第二底板上分别设置有一个，转轴转动连接于安装座上，转轴穿过转动板的端部，弹性压块连接于转动板上，转动杆转动连接于安装座上，限位块连接于转动杆的端部，转动板上开设有供限位块穿过限位孔。本申请具有使晶圆清洗花篮符合实验使用要求，适用于多种尺寸的晶圆，提高实验效率和清洗效果的作用。
- 一种单片清洗
- [发明专利]一种用于清洗固体结晶物堆积的装置-CN202211170327.4在审
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陈珂珂
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江苏晶工半导体设备有限公司
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2022-09-23
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2023-01-03
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B08B1/04
- 本发明公开了一种用于清洗固体结晶物堆积的装置，包括清洗箱，所述清洗箱顶部固定连接有进料斗，所述清洗箱顶部固定连接有进水管，所述进水管侧壁固定连接有进水阀门，所述清洗箱底部固定连接有连接箱，所述连接箱底部固定连接有四个连接腿，所述清洗箱侧壁贯穿并转动连接有调节绞龙。本发明，因驱动蜗杆与两个固定蜗轮和连接蜗轮共同啮合，使得两个固定蜗轮带动清洗滚辊进行旋转，从而对分散的固定结晶进行清洗，同时连接蜗轮也带动连接绞龙进行旋转，使得连接绞龙对清洗的结晶向上送料，从而再次分散，减少清洗箱内底部发生堆积，使得可以对固体结晶充分的清洗，并且减少固体结晶的堆积，提高使用效果。
- 一种用于清洗固体结晶堆积装置
- [发明专利]一种减少晃动与振动的机械手臂装置-CN202211162794.2在审
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丁李
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江苏晶工半导体设备有限公司
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2022-09-23
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2022-11-29
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B25J9/00
- 本发明公开了一种减少晃动与振动的机械手臂装置，包括安装座，所述安装座顶部固定连接有安装机械手臂，所述安装机械手臂末端固定连接有连接头，所述连接头底部设置有安装加工头，所述连接头和安装加工头之间设置有缓冲组件，所述安装座底部设置有连接座，所述安装座外侧壁四周均连接有第一支块。本发明，因活动齿轮与移动齿板啮合，使得活动齿轮推动移动齿板，方便移动齿板带动移动滑块和移动弹簧在移动槽内部滑动，并且移动弹簧阻止移动滑块上的移动齿板发生位移，跟着连接座上的安装座进行复位，使得机械手臂上的安装座和连接座之间具有减震结构，延长机械手臂的使用寿命，提高使用效果。
- 一种减少晃动振动机械手臂装置
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