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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种基于无杆气缸晶圆上料装置-CN202223158854.1有效
  • 江秦波 - 上海交震半导体科技有限公司
  • 2022-11-28 - 2023-03-14 - B65G47/74
  • 本实用新型公开了一种基于无杆气缸晶圆上料装置，涉及半导体生产技术领域，包括设备舱门，所述设备舱门的底部安装有载荷承载面板支撑架，载荷承载面板支撑架用于固定晶圆，所述载荷承载面板支撑架内壁的一侧安装有无杆气动组件，所述无杆气动组件的内侧活动安装有推出用气动组件，所述设备舱门的正面活动安装有载荷承载台面，载荷承载台面用于放置晶圆，所述载荷承载台面的底部与推出用气动组件固定连接，本实用新型在设置有采用开门结构设计，当载荷传感器检测到无料或停止生产时，帮助EQ设备的进料舱门关闭，保证EQ内部洁净度，同时载荷传感器也可以实时监测物料情况，采用无杆气缸组件设计，有效压缩设备整体尺寸。
  • 一种基于气缸晶圆上料装置
  • [实用新型]一种基于伺服控制的晶圆研磨后清洗入盒装置-CN202223159054.1有效
  • 江秦波 - 上海交震半导体科技有限公司
  • 2022-11-28 - 2023-03-14 - B08B3/04
  • 本实用新型公开了一种基于伺服控制的晶圆研磨后清洗入盒装置，涉及晶圆研磨后清洗入盒装置技术领域，包括上料接料设备，上料接料设备的一侧壁上固接有清洗水槽，清洗水槽背离上料接料设备的一侧壁上固接有装料设备，所述上料接料设备上通过中空旋转、角度分割机构连接有毛胚料暂存转台，此基于伺服控制的晶圆研磨后清洗入盒装置，区别于现有技术，该基于伺服控制的晶圆研磨后清洗入盒装置，利用推片机构，将前道下片的硅片自动推入清洗槽内清洗；且通过卡夹提升机构能够对清洗后的晶圆自动装片，中空旋转、角度分割机构，伺服控制，保证定位精度，清洗滑道设计，滑入、清洗同步完成装料机构伺服控制，保证每层步进高度准确可靠。
  • 一种基于伺服控制研磨清洗盒装
  • [实用新型]一种基于步进电机控制的翻转执行机构-CN202223138999.5有效
  • 江秦波;单发晨 - 上海交震半导体科技有限公司
  • 2022-11-25 - 2023-03-10 - H01L21/687
  • 本实用新型公开了一种基于步进电机控制的翻转执行机构，涉及晶圆生产技术领域，包括底板和安装在底板上的翻转手臂，所述底板的正面固定安装有中空旋转机构，所述中空旋转机构的外侧分布有信号触发单元，所述中空旋转机构的转动端固定安装有气缸安装板，所述气缸安装板的一侧固定安装有气缸支架，所述气缸支架的一侧活动安装有翻转手臂，所述翻转手臂的内壁通过peek手指夹持有晶圆，本实用新型通过采用双向抓手夹紧气缸，采用同一气缸保证的两侧同时夹持，保证晶圆放入后保持卡死状态，不会因机构翻面而造成晶圆片掉落，而设置有高精密中空旋转机构带动夹持臂旋转，实现翻面功能，在夹持部位设置peek材质手指的应用。
  • 一种基于步进电机控制翻转执行机构
  • [实用新型]一种基于直线电机控制的半导体行走机构-CN202223139657.5有效
  • 江秦波;单发晨 - 上海交震半导体科技有限公司
  • 2022-11-25 - 2023-03-10 - H01L21/677
  • 本实用新型公开了一种基于直线电机控制的半导体行走机构，属于半导体技术领域，解决了传输效率低和运行精度无法保证的问题，其技术要点是：包括设备安装背板，设备安装背板上固定安装有壳罩，载物平台上固定安装有用于载物的载物架，载物平台与壳罩的连接处设置有磁浮运动单元和光栅组件，载物平台通过磁浮运动单元滑动连接于壳罩内，采用的磁浮运动单元为非接触电控设计，降低摩擦，显著减少发尘量，光栅组件采用的闭环光栅尺设计，可进一步提高设备运行精度，设备设计速度有质的提升，且噪音小，同时采用无尘拖链和喷油嘴喷出的润滑油脂，可有效减少内部的发尘，具有传输效率高、运行精度高、噪音小和不易发尘的优点。
  • 一种基于直线电机控制半导体行走机构
  • [实用新型]一种开放式卡夹上料机构-CN202223240470.4有效
  • 江秦波;喻志鹏 - 上海交震半导体科技有限公司
  • 2022-12-05 - 2023-03-10 - H01L21/677
  • 本实用新型公开了一种开放式卡夹上料机构，涉及晶圆制造技术领域，包括侧板，所述侧板的底部设有两组对称设置的调平机构，两组调平机构分别连接在调平架的两侧，调平架固接在支撑架的底部，支撑架的顶部固接有载台，载台上开设有多个定位槽，定位槽内安装有载荷传感器，载台上通过定位槽放置有开放式卡夹，载台的顶部通过两个扭矩铰链活动铰接有保护盖，保护盖的正面安装有翻盖把手，此开放式卡夹上料机构，区别于现有技术，形成带缓冲功能的上翻盖设计，降低操作者作业强度，增加翻盖设计，降低外界环境对于设备内部的污染，可避免因漏放卡夹或者卡夹放置不到位带来的设备运行风险，设备水平调试更简单，精度更高。
  • 一种开放式卡夹上料机构
  • [实用新型]基于直线电机控制龙门双驱检测设备-CN201922471841.1有效
  • 谢磊;江秦波;沈正骏;唐凯 - 上海三佑科技发展有限公司
  • 2019-12-31 - 2020-10-16 - B25H1/00
  • 基于直线电机控制龙门双驱检测设备，包括主框架、Y轴大理石基底、Y轴运动机构、X轴大理石承载台、X轴运动机构、Z轴大理石承载台、Z轴运动机构；Y轴运动机构包括Y轴导轨、Y轴滑块、Y轴主动轴直线电机定子、Y轴主动轴直线电机动子、Y轴从动轴直线电机定子、Y轴从动轴直线电机动子、Y轴光栅尺、Y轴光栅尺读数头；X轴运动机构包括X轴导轨、X轴滑块、X轴直线电机定子、X轴直线电机动子、X轴光栅尺、X轴光栅尺读数头。采用直线电机驱动龙门取代传统的旋转电机驱动丝杆，提高了设备的运行速度和运行效率；采用光栅尺检测位移，提高了设备整体的重复定位精度；优化了Y轴控制方式，提高了设备运行稳定性及报警的响应性。
  • 基于直线电机控制龙门检测设备
  • [发明专利]基于直线电机控制龙门双驱检测设备-CN201911414157.8在审
  • 谢磊;江秦波;沈正骏;唐凯 - 上海三佑科技发展有限公司
  • 2019-12-31 - 2020-05-01 - B25H1/00
  • 基于直线电机控制龙门双驱检测设备，包括主框架、Y轴大理石基底、Y轴运动机构、X轴大理石承载台、X轴运动机构、Z轴大理石承载台、Z轴运动机构；Y轴运动机构包括Y轴导轨、Y轴滑块、Y轴主动轴直线电机定子、Y轴主动轴直线电机动子、Y轴从动轴直线电机定子、Y轴从动轴直线电机动子、Y轴光栅尺、Y轴光栅尺读数头；X轴运动机构包括X轴导轨、X轴滑块、X轴直线电机定子、X轴直线电机动子、X轴光栅尺、X轴光栅尺读数头。采用直线电机驱动龙门取代传统的旋转电机驱动丝杆，提高了设备的运行速度和运行效率；采用光栅尺检测位移，提高了设备整体的重复定位精度；优化了Y轴控制方式，提高了设备运行稳定性及报警的响应性。
  • 基于直线电机控制龙门检测设备
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